OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明.docx

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OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明

OPTORUN离子源的维护保养说明

1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法　

长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。

石英杯的清扫周期通常是50~100小时。

（根据使用状况更改维护的周期）。

　　注意：

请注意石英杯很容易损坏。

　　　　在对石英杯进行打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2MＰａ的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。

1．1绝缘子的清洁

长时间使用后，GridAssy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。

并会出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。

由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。

注意：

确认各Grid间，2000Vdc时须20MΩ以上。

1维护和交换时期

各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。

Grid维护周期为每50~100小时确认其外观?

绝缘，如有异常请及时清扫或交换。

如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。

（例如：

t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。

）

注意：

请注意绝缘子很容易碎裂。

1．2Grid的清洁

长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是DecelGrid膜层很容易被剥离，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。

ACCGrid和SCRGrid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。

注意：

Grid的分解和组装方法请参考添附资料。

1）浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡5~10小时。

（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。

）

或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。

注意：

BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。

　　　用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。

2）边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。

3）用干燥机干燥。

4）利用Grid固定夹具（参考照片1，2），并使用#300的砂纸摩擦Grid表面直到表面的赃物和变色消失为止。

注意：

不要使Grid变形。

　　　照片１　Grid固定夹具（凸侧）　　　　　　　　　　　　照片2Grid固定夹具（凹侧）

5）再用热水清洗并用清洁布擦洗Grid表面，约洗20分钟以上，洗净附着的NaOH和赃物等。

6）用AirGun吹散Grid上的水分。

注意：

使用AirGun时注意使用不含油的清洁空气。

压力在0.05～0.1Mpa之间以防Grid变形。

7）用干燥机干燥后，维护清洗结束。

注意：

作业中须谨慎，以防止Grid的变形和破损。

本清洗仅对酸化膜（SiO2、Ta2O5）有效，因使用状态不同，也会出现洗不净的场合。

2．中和器的维护方法

（1）放电室（陶瓷放电室、陶瓷盘）的清扫

　　　长时间运转后，放电室内会被镀上导电性膜，因此会引起放射电流下降需较高RF输出,此时用打砂的方式去除膜层。

但要注意不要损伤陶瓷放电室和陶瓷盘的接触面，以免漏气。

打砂时请注意用胶带等进行保护。

注意：

有关分解，组装请参考添附资料。

　　　　　　请注意不要破坏放电室上绕着的线圈的形状，转动放电室然后再取下。

（2）RFN收集器（Collector）的清扫

　　　长时间运转后，collector表面被氧化或形成其它绝缘膜，因此会引起发射电流下降,并且启动困难，此时用打砂的方式去除膜层。

　　注意：

不要使收集器（Collector）变形。

组装时要尽量减少陶瓷放电室和collector之间的缝隙。

（3）Keeper和中和器主体的清扫

　　　长时间运转后，keeper表面形成绝缘膜，因此会使动作不安定。

请使用测试仪确

认附资料1离子源Grid的分解和组装方法

※请参照添附图纸进行作业。

分解１

拆下GridMountAssy.

GridMountAssy.

作业内容

注意点

从离子源主体上拆下GridMountAssy.

分解２

　拆下QuartzChamber

QuartzChamber

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　MountRing　　　　　　　　　　

作业内容

注意点

先拆下六角螺钉，然后拆下石英杯QuartzChamber和MountRing。

请注意石英杯很容易碎裂。

分解３

　拆下GridAssy.1

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　六角螺母（M4）

六角螺钉　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　GridMountPlate

　　　（M5×L8―４个）

六角螺钉（M4×L6）

作业内容

注意点

拆下六角螺钉和六角螺母后再将GridMountPlate拆下。

分解４

　拆下GridAssy.2

GridRetainer

Plate

六角螺钉（M4×L6）

作业内容

注意点

拆下六角螺钉後，再拆下GridAssy.和GridRetainerPlate.

分解５

　Grid的分解

　六角螺母（M4）

　六角螺母（M3）和六角螺钉（M3×L5）

作业内容

注意点

拧松GridAssy.的六角螺母后，分解Grid。

拆下ACCGrid的ACCConnector。

请注意Grid很容易变形。

分解６

Grid的说明

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　GRID　№

校正孔

校正孔

GridNo.

S○○○:

ScreenGrid　

A○○○:

AccGrid

D○○○:

DecelGrid

（○○○为制造番号）　　　　　　　　　只有1个地方方向不同１个所のみ向きが违います。

作业内容

注意点

Grid如上所示注有标记。

组装时请注意。

组装１

　Grid的组装1

六角螺钉（M4×L20）

Insulator2

作业内容

注意点

将Grid组装夹具水平放置，装上六角螺钉和Insulator2。

组装2

　Grid的组装2

DecelConnector

作业内容

注意点

DecelConnector如图放置。

对准Grid组装夹具和DecelConnector的孔。

组装3

　Grid的组装3

对准孔的方向不同DecelGrid

作业内容

注意点

DecelGrid的凸面向下，对准孔的位置。

（発散GRID的场合）

収束Grid的凸面向上放置。

组装4

　Grid的组装4

　ShieldInsulatorGridInsulator1（t=1.0）　　　

作业内容

注意点

ShieldInsulator和GridInsulator1如图放置。

请注意GridInsulator的厚度有两种（t＝1.0、1.2）。

组装5

　Grid的组装5

六角螺钉（M3×L5）和六角螺母（M3）

　AccConnector　　　　　AccGrid

　　　　　　　　（根据组装夹具的孔决定方向）

作业内容

注意点

将AccGrid如图安装，注意对准孔的位置。

（根据组装夹具的孔决定AccConnector的方向，然后再安装。

组装夹具的孔和AccConnector孔要对准。

组装6

　Grid的组装6

　　　　ShieldInsulator　　　　　GridInsulator2（t=1.2）

作业内容

注意点

将ShieldInsulator和GridInsulator2如图放置。

注意GridInsulator的厚度有2种（t=1.0,1.2）

组装7

　Grid的组装7

　　　　　　　　　对准孔　　　　　　　　　　　　　　　　ScreenConnector

对准孔　　ScreenGrid

作业内容

注意点

如图所示，根据4个对准孔放置ScreenGrid。

组装8

　Grid的组装8

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　六角螺母（M4）　　　平型垫圈（4）和波形垫圈（4）　　　　　Insulator1

作业内容

注意点

Insulator1，平型垫圈（4）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用六角螺母固定。

组装9

　Grid的组装9

对准钉

作业内容

注意点

将对准钉插入Grid的对准孔。

若对准钉不能向下插入，说明Grid安装错误，请再度确认。

对准钉穿过后，旋转对准钉，确认各对准钉并不是强行才能旋转。

组装10

　Grid的组装10

1

8

4

5

6

3

2

7

作业内容

注意点

如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。

确认各Grid之间的ShieldInsulator和GridInsulator没有重叠。

组装11

　GridRetainerPlate的安装

　　　　　　　　GRID　ASSY

六角螺钉（M4×L6）ScreenConnector

　平型垫圈（4）　　　　　　　　　GridRetainerPlate　　　　　

作业内容

注意点

如图所示将ScreenConnector和GridAssy.,GridRetainerPlate组合。

组装12

GridMountPlate的安装

AccTouchFlake

AccConnector

DecelConnectorGridMountPlate

波型垫圈（12）

作业内容

注意点

如图所示将AccConnector和DecelConnector组合後，将GridAssy.装在GridMountPlate上，然后装上AccTouchFlake和绝缘子。

确认波型垫圈（12）是否装上。

组装13

　QuartzChamber的组装

　　　　　　　　　　　　QuartzChamber

　　　　　　　　　　　　　　　MountRing

作业内容

注意点

组装QuartzChamber和MountRing。

组装14

　导通?

绝缘测试

　　　　　　　　　　　　DecelGrid–AccGrid:

绝缘

AccGrid–ScreenGrid:

绝缘

ScreenGrid–DecelGrid:

绝缘

DecelGrid–GridMountPlate:

绝缘

ScreenGrid–GridRetainerPlate:

绝缘

AccTouchFlake–AccGrid:

导通

作业内容

注意点

组装完成后，使用测试仪进行导通?

绝缘测试。

上记测试，如有异常时，请再次确认。

添附资料2中和器分解?

组装方法

　　※请参照添附图纸进行分解?

组装作业。

分解1

　Keeper的分解

　KeeperNut（2pcs）Keeper

作业内容

注意点

拆下KeeperNut和Keeper。

分解2

　拆下Shroud

六角螺钉（M3×L5）、平型垫圈各４个

作业内容

注意点

先拆下六角螺钉（M3×L5），然后再分解MountFlange和InsulatorPlate。

分解３

InsulatorPlate的分解和清洗

六角螺钉（M3×L84个）

作业内容

注意点

先拆下六角螺钉，然后再分解MountFlange和InsulatorPlate。

如InsulatorPlate附有赃物，请用打砂纸去除。

InsulatorPlate很容易碎裂。

分解4

　Collector的分解和清洁

螺母（M4）Collector

作业内容

注意点

拆下六角螺母後，分解Collector。

如Collector附有赃物，请用打砂纸去除。

Collector很容易变形。

分解5

　DischargeChamber分解和清洗

DischargeChamber

作业内容

注意点

如DischargeChamber附有赃物，请用打砂纸去除。

DischargeChamber很容易碎裂。

组装1

　确认内部端子

KeeperRFGNDRFCollector

作业内容

注意点

确认内部的端子部（Keeper,RFGND,RF,Collector），各螺钉，各螺母是否有松弛。

组装2

Collector,DischargeChamber的安装

CollectorDischargeChamberCoil螺母（M4）

作业内容

注意点

用螺母（M4）固定Collector,DischargeChamber。

Coil容易变形。

组装3

　InsulatorPlate的组装

MountFlangeInsulatorPlate

注意平整度

作业内容

注意点

用六角螺钉（M３×L８）组装MountFlange和InsulatorPlate

*InsulatorPlate无前后之分，可任意选择安装方向。

InsulatorPlate容易碎裂，注意不要用力过度或拧得太紧。

组装4

Shroud的安装

Shroud六角螺钉（M3×L5）、平型垫圈各４个

作业内容

注意点

安装Shroud。

组装5

KeeperPlate的安装

　KeeperNutKeeper

作业内容

注意点

安装KeeperPlate。

组装6

　导通和绝缘测试

KeeperLeadRFLead

RFLead–KeeperLead:

绝缘

KeeperLead–CollectorLead:

绝缘

Keeper–中和器主体：

绝缘

　　　　　　CollectorLead–RFLead:

绝缘

KeeperLead–KeeperPlate：

导通

RFLead–中和器主体：

导通

CollectorLead

作业内容

注意点

组装完成后，使用测试仪做导通和绝缘测试。

测试中如有异常，请再度确认。

添附资料3故障处理

No.

项目

原因

处理方法

１

即使Source按钮，也不能启动。

被设定成Interlock。

确认真空度的InterlockCable的连接情况。

２

Source按钮On之后，RFNPower不能切换成0W。

RF电源AX-300Ⅲ的表示呈Analog或Manual，（若显示RS232应属正常）。

重新打开控制器的电源。

３

Source按钮On之后，RFNPower不能从0W上升到100W。

（即持续为0W）

RF电源AX-300Ⅲ的Alarm点灯。

按Reset按钮後解除Alarm。

４

中和器不能启动。

中和器的罩子没有拆下。

拆下中和器的罩子。

GasLine没有被打开。

打开GasLine。

气体流量低（不满5SCCM）。

提高气体流量（大约7~8SCCM）。

反射大。

调整射频电源（MatchingBox）。

确认RFCoil是否短路。

Keeper被弄脏。

清洗Keeper。

Collector被弄脏。

清洗Collector。

Lead线的导通?

绝缘不良。

用测试仪确认导通?

絶縁。

电源的保险丝被切断。

更换保险丝。

５

控制器上有中和器正启动着，实际上其并没有放电。

Collector短路。

用测试仪确认後，分解修理。

６

RFPower的反射大，无法匹配。

离子源罩子没有取下。

取下离子源罩子。

射频电源（MatchingBox）的电源OFF。

打开射频电源（MatchingBox）的电源。

RFCoil和GND之间短路。

用测试仪确认後，修理。

RFFeedthrough和GND之间短路。

用测试仪确认後，修理。

No.

项目

原因

处理方法

７

离子源不能启动。

GasLine没有打开。

打开GasLine。

Gas流量低（O2：

40SCCM未満）

增大Gas流量（O2：

50～60SCCM左右）

　　　　　（Ar：

20SCCM未満）

　　　　　　（Ar：

25～30SCCM左右）

Pulse设定电压过低（500V程度）

增大Pulse设定电压（1000V左右）

AccGrid和ScreenGrid之间短路。

用测试仪确认并修理。

QuartzChamber污染。

清洗QuartzChamber。

中和器的Emission和Power过低。

调整设定Emission：

800mA、Power：

50W左右

电源的保险丝断了。

更换保险丝。

８

即使按了Beam按钮，指示灯也不亮。

离子源没有进入准备状态。

等进入准备状态後再按按钮。

９

Beam按钮On後，Acc电流值显示0ｍＡ。

Acc的电极部份无接触。

用测试仪确认并修理。

1０

BeamOn後，Beam仍停止（显示E010）。

Grid污染。

清洗Grid。

QuartzChamber污染。

清洗QuartzChamber。

Grid间的绝缘子污染。

更换绝缘子。

1１

BeamOn後，中和器仍停止（显示E011）。

Keeper污染。

清洗Keeper。

Collector污染。

清洗Collector。

固定Collector的螺母有松懈。

拧紧螺母。

GasLine的接头松懈。

拧紧街头。

1２

Acc电流值过高。

Grid的组装不良。

重新组装Grid。

GridInsulator的组装有错误（厚度）。

重新组装Grid。

1３

Grid清洗後，BeamON时Grid表面异常放电。

Grid清洗不充分。

暖机不够。

低电压，RFPower的环境下，让其短时间热运转。

重新清洗。

表面绝缘状态。

用砂纸去除膜层。

请每batch镀膜结束后都清洗。