OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明.docx

1、OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明OPTORUN离子源的维护保养说明1离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。石英杯的清扫周期通常是50100小时。（根据使用状况更改维护的周期）。注意：请注意石英杯很容易损坏。 在对石英杯进行打砂时，请使用粒度100的Al粒子，并保持0.10.2M的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。11 绝缘子的清洁长时间使用后，Grid Assy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用

2、。并会出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。 注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20M以上。1 维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。Grid维护周期为每50100小时确认其外观?绝缘，如有异常请及时清扫或交换。如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。12 Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是 Decel Grid膜层很容易被剥离

3、，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。ACC Grid和SCR Grid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。1) 浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡510小时。（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。 用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。2) 边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。3) 用干燥机干燥。4) 利用Grid固定夹具（参考照片1，2），并

4、使用#300的砂纸摩擦Grid表面直到表面的赃物和变色消失为止。注意：不要使Grid变形。照片Grid固定夹具(凸侧)照片2 Grid固定夹具(凹侧)5) 再用热水清洗并用清洁布擦洗Grid表面，约洗20分钟以上，洗净附着的NaOH和赃物等。6) 用Air Gun吹散Grid上的水分。注意：使用Air Gun时注意使用不含油的清洁空气。压力在0.050.1Mpa之间以防Grid变形。7) 用干燥机干燥后，维护清洗结束。注意：作业中须谨慎，以防止Grid的变形和破损。本清洗仅对酸化膜(SiO2、Ta2O5)有效，因使用状态不同，也会出现洗不净的场合。2中和器的维护方法（1） 放电室（陶瓷放电室、

5、陶瓷盘）的清扫 长时间运转后，放电室内会被镀上导电性膜，因此会引起放射电流下降需较高RF输出,此时用打砂的方式去除膜层。但要注意不要损伤陶瓷放电室和陶瓷盘的接触面，以免漏气。打砂时请注意用胶带等进行保护。注意：有关分解，组装请参考添附资料。请注意不要破坏放电室上绕着的线圈的形状，转动放电室然后再取下。（2） RFN收集器(Collector)的清扫 长时间运转后，collector表面被氧化或形成其它绝缘膜，因此会引起发射电流下降,并且启动困难，此时用打砂的方式去除膜层。 注意：不要使收集器(Collector)变形。组装时要尽量减少陶瓷放电室和collector之间的缝隙。（3） Keepe

6、r和中和器主体的清扫 长时间运转后，keeper表面形成绝缘膜，因此会使动作不安定。请使用测试仪确认附资料1 离子源 Grid的分解和组装方法 请参照添附图纸进行作业。分解拆下Grid Mount Assy. Grid Mount Assy.作业内容注意点从离子源主体上拆下Grid Mount Assy.分解拆下Quartz Chamber Quartz Chamber Mount Ring作业内容注意点先拆下六角螺钉，然后拆下石英杯Quartz Chamber和Mount Ring。请注意石英杯很容易碎裂。分解拆下Grid Assy. 1六角螺母（M4）六角螺钉Grid Mount Plat

7、e（M5L8个）六角螺钉（M4L6）作业内容注意点拆下六角螺钉和六角螺母后再将Grid Mount Plate拆下。分解拆下Grid Assy. 2 Grid Retainer Plate 六角螺钉（M4L6）作业内容注意点拆下六角螺钉後，再拆下Grid Assy. 和Grid Retainer Plate. 分解Grid的分解 六角螺母（M4）六角螺母（M3）和六角螺钉（M3L5）作业内容注意点拧松Grid Assy.的六角螺母后，分解Grid。拆下ACC Grid 的ACC Connector。请注意Grid很容易变形。分解Grid的说明GRID 校正孔 校正孔Grid No. S: Sc

8、reen Grid A: Acc GridD: Decel Grid（为制造番号）只有1个地方方向不同个所向违。作业内容注意点Grid如上所示注有标记。组装时请注意。组装Grid的组装 1六角螺钉（M4L20）Insulator2 作业内容注意点将Grid组装夹具水平放置，装上六角螺钉和Insulator2。组装 2Grid的组装 2Decel Connector作业内容注意点Decel Connector如图放置。对准Grid组装夹具和Decel Connector 的孔。组装 3Grid的组装 3对准孔的方向不同 Decel Grid作业内容注意点Decel Grid的凸面向下，对准孔的位

9、置。（発散GRID的场合）収束Grid的凸面向上放置。组装 4Grid的组装 4 Shield Insulator Grid Insulator1(t=1.0)作业内容注意点Shield Insulator和Grid Insulator1如图放置。请注意Grid Insulator的厚度有两种（t1.0、1.2）。组装 5Grid的组装 5六角螺钉（M3L5）和六角螺母（M3）Acc ConnectorAcc Grid（根据组装夹具的孔决定方向）作业内容注意点将Acc Grid如图安装，注意对准孔的位置。（根据组装夹具的孔决定Acc Connector的方向， 然后再安装。组装夹具的孔和Acc

10、 Connector孔要对准。组装 6Grid的组装 6Shield InsulatorGrid Insulator2 (t=1.2)作业内容注意点将Shield Insulator和Grid Insulator2如图放置。注意Grid Insulator的厚度有2种（t= 1.0, 1.2）组装 7Grid的组装 7 对准孔Screen Connector对准孔 Screen Grid作业内容注意点如图所示，根据4个对准孔放置Screen Grid。组装 8Grid的组装 8六角螺母（M4） 平型垫圈（4）和波形垫圈（4）Insulator1 作业内容注意点Insulator1，平型垫圈（4

11、）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用六角螺母固定。组装 9Grid的组装 9 对准钉作业内容注意点将对准钉插入Grid的对准孔。若对准钉不能向下插入，说明Grid安装错误，请再度确认。对准钉穿过后，旋转对准钉，确认各对准钉并不是强行才能旋转。组装 10Grid的组装 1018456327作业内容注意点如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。确认各Grid之间的Shield Insulator 和Grid Insulator没有重叠。组装11Grid Retainer Plate的安装GRIDASSY六角螺钉（M4L6） Screen Connector平型垫圈（4） Grid Re

12、tainer Plate作业内容注意点如图所示将Screen Connector和Grid Assy.,Grid Retainer Plate组合。组装12Grid Mount Plate的安装Acc Touch Flake Acc Connector Decel Connector Grid Mount Plate 波型垫圈（12）作业内容注意点如图所示将Acc Connector和Decel Connector组合後，将Grid Assy.装在Grid Mount Plate上，然后装上Acc Touch Flake和绝缘子。确认波型垫圈（12）是否装上。组装13Quartz Chambe

13、r的组装Quartz ChamberMount Ring作业内容注意点组装Quartz Chamber和Mount Ring。组装14 导通?绝缘测试Decel Grid Acc Grid: 绝缘 Acc Grid Screen Grid: 绝缘 Screen Grid Decel Grid: 绝缘 Decel Grid Grid Mount Plate: 绝缘 Screen Grid Grid Retainer Plate: 绝缘 Acc Touch Flake Acc Grid: 导通作业内容注意点组装完成后，使用测试仪进行导通?绝缘测试。上记测试，如有异常时，请再次确认。添附资料2 中和

14、器 分解?组装方法 请参照添附图纸进行分解?组装作业。分解1 Keeper的分解Keeper Nut(2pcs) Keeper作业内容注意点拆下Keeper Nut和Keeper。分解2拆下Shroud六角螺钉（M3L5）、平型垫圈 各个作业内容注意点先拆下六角螺钉（M3L5），然后再分解Mount Flange和Insulator Plate。分解 Insulator Plate的分解和清洗六角螺钉（M3L8 4个）作业内容注意点先拆下六角螺钉，然后再分解Mount Flange和Insulator Plate。如Insulator Plate附有赃物，请用打砂纸去除。Insulator P

15、late很容易碎裂。分解4Collector的分解和清洁 螺母（M4） Collector作业内容注意点拆下六角螺母後，分解Collector。如Collector附有赃物，请用打砂纸去除。Collector很容易变形。分解5Discharge Chamber分解和清洗Discharge Chamber作业内容注意点如Discharge Chamber附有赃物，请用打砂纸去除。Discharge Chamber很容易碎裂。组装 1确认内部端子 Keeper RF GND RF Collector作业内容注意点确认内部的端子部（Keeper, RF GND, RF, Collector），各螺钉

16、，各螺母是否有松弛。组装2 Collector, Discharge Chamber的安装 Collector Discharge Chamber Coil 螺母（M4）作业内容注意点用螺母（M4）固定Collector, Discharge Chamber。Coil容易变形。组装3 Insulator Plate的组装 Mount Flange Insulator Plate 注意平整度作业内容注意点用六角螺钉（ML）组装Mount Flange和Insulator Plate* Insulator Plate 无前后之分，可任意选择安装方向。Insulator Plate容易碎裂，注意不要

17、用力过度或拧得太紧。组装4 Shroud的安装 Shroud 六角螺钉（M3L5）、平型垫圈 各个作业内容注意点安装Shroud。组装5Keeper Plate的安装 Keeper Nut Keeper作业内容注意点安装Keeper Plate。组装 6导通和绝缘测试Keeper Lead RF Lead RF Lead Keeper Lead: 绝缘 Keeper Lead Collector Lead: 绝缘 Keeper 中和器主体：绝缘 Collector Lead RF Lead: 绝缘 Keeper Lead Keeper Plate：导通 RF Lead 中和器主体：导通Coll

18、ector Lead作业内容注意点组装完成后，使用测试仪做导通和绝缘测试。测试中如有异常，请再度确认。添附资料3 故障处理No.项目原因处理方法即使Source按钮，也不能启动。被设定成Interlock。确认真空度的Interlock Cable的连接情况。Source按钮On之后，RFN Power不能切换成0W。RF电源AX-300的表示呈Analog或Manual，（若显示RS232应属正常）。重新打开控制器的电源。Source按钮On之后，RFN Power不能从0W上升到100W。(即持续为0W)RF电源AX-300的Alarm点灯。按Reset按钮後解除Alarm。中和器不能启动

19、。中和器的罩子没有拆下。拆下中和器的罩子。Gas Line没有被打开。打开Gas Line。气体流量低（不满5SCCM）。提高气体流量（大约78SCCM）。反射大。调整射频电源(Matching Box)。确认RF Coil是否短路。Keeper被弄脏。清洗Keeper。Collector被弄脏。清洗Collector。Lead线的导通?绝缘不良。用测试仪确认导通?絶縁。电源的保险丝被切断。更换保险丝。控制器上有中和器正启动着，实际上其并没有放电。Collector短路。用测试仪确认後，分解修理。RF Power的反射大，无法匹配。离子源罩子没有取下。取下离子源罩子。射频电源(Matching

20、 Box)的电源OFF。打开射频电源(Matching Box)的电源。RF Coil和GND之间短路。用测试仪确认後，修理。RF Feedthrough和GND之间短路。用测试仪确认後，修理。No.项目原因处理方法离子源不能启动。Gas Line没有打开。打开Gas Line。Gas流量低（O2：40SCCM未満）增大Gas流量（O2：5060SCCM左右）（Ar：20SCCM未満）（Ar：2530SCCM左右）Pulse设定电压过低（500V程度）增大Pulse设定电压（1000V左右）Acc Grid和Screen Grid之间短路。用测试仪确认并修理。Quartz Chamber污染。

21、清洗Quartz Chamber。中和器的Emission和Power过低。调整设定Emission：800mA、Power：50W左右电源的保险丝断了。更换保险丝。即使按了Beam按钮，指示灯也不亮。离子源没有进入准备状态。等进入准备状态後再按按钮。Beam按钮On後，Acc电流值显示0。Acc的电极部份无接触。用测试仪确认并修理。1BeamOn後，Beam仍停止（显示E010）。Grid污染。清洗Grid。Quartz Chamber污染。清洗Quartz Chamber。Grid间的绝缘子污染。更换绝缘子。1BeamOn後，中和器仍停止（显示E011）。Keeper污染。清洗Keeper。Collector污染。清洗Collector。固定Collector的螺母有松懈。拧紧螺母。Gas Line的接头松懈。拧紧街头。1Acc电流值过高。Grid的组装不良。重新组装Grid。Grid Insulator的组装有错误（厚度）。重新组装Grid。1Grid清洗後，Beam ON时Grid表面异常放电。Grid清洗不充分。暖机不够。低电压，RF Power的环境下，让其短时间热运转。重新清洗。表面绝缘状态。用砂纸去除膜层。请每batch镀膜结束后都清洗。