IGZO的可靠性提高word版.docx

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IGZO的可靠性提高word版

【SID】氧化物TFT的可靠性提高，用于有机EL基板的案例纷纷亮相

2014/06/24

       显示器领域规模最大的学会“SID”本来就比较偏重于展会，很多VIP的参会目的都是进行商务洽谈。

但是，“Oxidevs.LTPSTFTsI,II,III”这样的议题恐怕也是其他学会不可能设置的。

除了技术方面的讨论之外，还要进行应用方面的讨论，这一点倒是很像SID的风格。

“WearableDisplaysI,II,III”分会也不错，最终产品的概念非常明确，容易定下目标。

       氧化物TFT方面，与有机EL（OLED）组合使用试制面板方面的演讲比较多，内容上偏重于提高氧化物TFT的可靠性及性能。

反言之，这也证明氧化物TFT的可靠性已提高至足以供有机EL面板使用的水平。

松下在4K有机EL上采用氧化物TFT技术

       松下在“OLEDTV”会议上介绍了4K有机EL电视已采用的可提高氧化物TFT可靠性的技术（论文编号：

58.3）。

虽然是最后一天的最后一场演讲，但仍有很多听众一直热心聆听到最后的提问环节。

不满足于演讲和提问的技术人员还在开发者见面会上排队向演讲者提

问，笔者也是其中之一。

       松下首先指出，IGZO靶材间距造成的不均是显示不均的原因之一。

与靶材的距离会导致有些区域的Ga不足，因而会造成特性与其他区域不同。

针对这一点，该公司通过控制溅射工艺中的离子冲击方向，解决了该问题。

       而且，松下还通过以下两项措施大幅提高了氧化物TFT的可靠性：

（1）通过对前通道进行NH3等离子体处理，形成富氮SiO界面，从而改善了PBTS；

（2）通过对背通道进行N2O等离子体处理，减少了Vo（缺氧），从而改善了NBTS。

       松下的报告非常令人感兴趣。

而且，当笔者询问“是否通过优化退火温度提高了可靠性”时，松下回答称，“退火温度当然也是非常重要的参数，但采用上述等离子体处理技术的效果更好。

”

用于有机EL电视的氧化物TFT的构造和特点

       友达光电截至目前已经开发出了多款由氧化物TFT驱动的有机

EL电视。

该公司在“OLEDTV”会议上介绍了此前的开发流程（论文编号：

53.1）。

友达光电对氧化物TFT的构造特点进行了对比，对比表格一目了然，表1是从中摘选出的主要项目的比较。

       据友达光电介绍，ITZO与IGZO相比，耐蚀刻性高，不会被铝或铜的蚀刻液侵蚀，因此非常适合BCE（背通道蚀刻）型构造。

而且，ITZO的载流子迁移率为30cm3/Vs以上，高达IGZO的3倍左右，因此适合4K以上的高精细化及高帧频驱动，还有利于降低耗电量。

该公司将来的目标是开发出通过降低寄生电容来减少掩模数量的自对准顶栅型构造。

表1氧化物TFT的构造和特点

笔者根据友达光电的发布资料制作。

（点击放大）

氧化物TFT的主要目标是什么

   笔者认为，要扩大有机EL电视市场，必须满足以下两个条件：

（1）确保背板的氧化物TFT的可靠性并降低成本（提高成品率和生产效率）；

（2）开发低成本的大型有机EL工艺并确保可靠性。

       笔者对“Oxidevs.LTPSTFTs”这一议题的理解是，“要扩大有机EL电视的市场，只能将氧化物TFT作为新一代高精细背板的事实标准技术，包括液晶面板在内，进行大量生产，以实现背板的大众化”。

从这一意义上来说，京东方等进取型市场参与者的出现应该受到业界的热烈欢迎，LG集团通过组合使用目前可以量产的技术来降低成本的战略也是非常正确的。

另一方面，即便在必须追求性能极限的移动设备领域与LTPS进行竞争，恐怕也无法完全发挥出氧化物TFT的优势。

开发者见面会上备受关注的演讲

       下面介绍一下笔者在开发者见面会上比较感兴趣的演讲，其中也有氧化物TFT之外的技术。

夏普的TN模式液晶面板用大视角光学薄膜（论文编号：

4.1）

右为贴了薄膜的屏幕。

从视频后半部分可以看出，倾斜方向的显示特性得到改善。

（参阅本站报道）

夏普的可实现独特边框造型的液晶显示器（论文编号：

49.1）

       正如下图中电脑屏幕上显示的图形那样，像素内部配置了多个扫描驱动器。

扫描驱动器由多个TFT组合构成，但通过在每个像素中分散配置一个TFT，使扫描驱动器可以配置在阵列内。

优点是不会对显示带来影响。

可以实现无边框的独特造型。

真是一项有趣的创意。

（参阅本站报道）

（点击放大）

日本半导体能源研究所的SideRoll触摸显示器（论文编号：

11.1）

 采用把有机EL柔性显示器和柔性触摸面板重叠在一起的构造，可弯曲半径为4mm。

能够一直显示到侧面，可能会实现前所未有的全新便携产品造型。

日本显示器的7英寸WUGA（1200×1920像素）反射型液晶面板（论文编号：

9.2）

       采用了RGBW像素。

只要很好地利用外部光线，就能显示出非常清晰的彩色图像。

（点击放大）

半导体能源研究所的氧化物TFT驱动型13.3英寸8K有机EL面板＜第三天的演示＞（论文编号：

44.1）

       通过“白色有机EL+彩色滤光片”方式实现了664ppi高精细度。

虽然该公司为试制出超高精细8K面板而做出的努力值得称赞，但对比度较低，画面较暗，色彩表现范围较小，存在多种不均和缺陷，很遗憾未能发挥出有机EL的优势。

可能是因为彩色滤光片的配置错位，导致像素内出现了混合色。

（特约撰稿人：

松枝洋二郎，NLT科技）

（点击放大）

（本资料素材和资料部分来自网络，仅供参考。

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）