清洗制绒设备操作规程.docx
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清洗制绒设备操作规程
RENA制绒
设备操作规程v09.10.01
序言
为更好地加强制绒设备生产与维修，保障设备开机效率以及设备完好状态，结合制绒使用说明书及车间使用经验，特制订编制本手册，以达到操作标准化为目的，同时为设备队伍的培训提供教材参考。
凡操作人员必须经过培训，且熟练掌握设备操作规程，方可对设备进行操作!
目录
一、目的
二、适用范围
三、主要技术性能
四、结构特征
五、使用前的准备
六、设备的操作
七、更换化学药品时的安全操作规范
八、安全操作规范
九、设备常见故障及简单解决方法
十、操作和维护注意事项及维护表
十一、常用化学药品特性及处理预案
十二、安全标识
一、目的：
硅片在切割过程中会在表面形成大约10μm厚的损伤层，这一层因为与硅片基体的状态已经不同，基本上已经剥离于集体，会严重影响半导体器件（太阳电池）的性能。
清洗工序制绒工艺就是利用硅片的这一层损伤层，通过硝酸对其氧化制绒，形成高低不平的表面，大大增加电池片表面的受光面积，减少反射，从而提高太阳电池的转换效率。
二、适用范围：
RENAInlineTextureEtching060309------CSC05（100MW车间制绒北侧设备）
RENAInlineTextureEtching060308------CSC06（100MW车间制绒中部设备）
RENAInlineTextureEtching060310------CSC07（100MW车间制绒南侧设备）
三、主要技术性能：
1、使用环境条件
a）环境温度：
0℃～40℃
b）相对湿度：
＜85%、无凝露
c）周围环境：
无腐蚀性气体
2、附属设施消耗
电池车间100MWp制绒工序基础设施消耗
设备名称
数量
连接功率kW
额定功率kW
纯水L/M
冷却水L/M
压缩空气L/M
废水排放L/M
废气排放m3/h
电压V
单台
合计
单台
合计
单台
合计
单台
合计
单台
合计
单台
合计
单台
合计
5道硅片清洗机
2
380五线
19.5
39
19.5
39
20
40
43
86
3683
7366
DN50DN40DN20
4670
9340
8道硅片清洗机
1
380五线
32
32
32
32
30
30
43
86
5883
5883
DN50DN40DN20
7140
7140
四、结构特征：
上图为RENAInlineTextureEtching060309设备外形
Station1:
腐蚀槽Station5：
HF/HCL润洗
Station2：
冲洗1槽Station6:
冲洗3槽
Station3：
KOH润洗Station7:
气刀风干
Station4：
冲洗2槽
RENAInlineTextureEtching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH润洗→冲洗2→HF/HCl润洗→冲洗3→气刀风干→下料。
五、使用前的准备：
附属设施准备条件：
“InTex”5道链式制绒清洗线设施需求
1.HF氢氟酸：
套管1”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量1.8Nm3/h；平均流量8,5l/h。
2.HNO3硝酸：
套管1”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量1.8Nm3/h；平均流量7.3l/h。
3.KOH（20-40%）氢氧化钾：
套管¾”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量1.5Nm3/h；平均流量0.4l/h。
4.HCl盐酸：
套管¾”/63DN50；材质PFA/PPgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量1.5Nm3/h；平均流量1l/h。
5.纯水：
材质PPgrey；压力4bar；温度20°C；最大流量1.2Nm3/h；平均流量1l/h。
6.市水供给冷却器：
½”；PVC：
压力3bar；温度20°C；最大流量1.2Nm3/h。
7.市水流出冷却器：
结构管½”；PVC：
温度>25°C；最大流量1.2Nm3/h。
8.冷却水供给碱清洗：
20DN15；PPgrey；温度20°C；最大流量0.2Nm3/h。
9.冷却水流出碱清洗：
20DN15；PPgrey；温度>25°C。
10.风刀和气管使用的清洁压缩空气：
25DN20；PPgrey；压力6bar；温度20°C；最大流量220Nm3/h；平均流量165Nm3/h。
11.阀门使用压缩空气：
½”；SS/Swagelok：
压力6bar；温度20°C；最大流量1Nm3/h。
12.热交换冷却用市水：
20DN15；PPgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量2.4Nm3/h；平均流量0.06Nm3/h。
13.车间净化和通风系统是否正常运行。
“InTexHT”8道链式制绒清洗线设施需求：
1.HF氢氟酸：
套管1”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量1.8Nm3/h；平均流量8,5l/h。
2.HNO3硝酸：
套管1”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量1.8Nm3/h；平均流量7.3l/h。
3.KOH（20-40%）氢氧化钾：
套管¾”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量1.5Nm3/h；平均流量0.4l/h。
4.HCl盐酸：
套管¾”/63DN50；材质PFA/PPgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量1.5Nm3/h；平均流量1l/h。
5.纯水：
32DN25；材质PPgrey；压力4bar；温度20°C；最大流量1.8Nm3/h；平均流量1.5l/h。
6.市水供给冷却器：
¾”；PVC：
压力3bar；温度20°C；最大流量2.4Nm3/h。
7.市水流出冷却器：
结构管¾”；PVC：
温度>25°C；最大流量2.4Nm3/h。
8.冷却水供给碱清洗：
20DN15；PPgrey；温度20°C；最大流量0.2Nm3/h。
9.冷却水流出碱清洗：
20DN15；PPgrey；温度>25°C。
10.风刀和气管使用的清洁压缩空气：
25DN20；PPgrey；压力6bar；温度20°C；最大流量352Nm3/h；平均流量264Nm3/h。
11.阀门使用压缩空气：
½”；SS/Swagelok：
压力6bar；温度20°C；最大流量1Nm3/h。
12.热交换冷却用市水：
20DN15；PPgrey；压力3bar；温度20°C；最大流量2.4Nm3/h；平均流量0.06Nm3/h。
13.车间净化和通风系统是否正常运行。
六、设备的操作：
1、操作准备：
确认设备能正常运行,压缩空气、DI水等压力及流量正常。
戴口罩，操作时戴洁净手套，并保持室内正压，严禁随便开启门窗,以保持室内的洁净度。
2、信号灯及其状态
灯
声音
状态信息
无
无声音
机器处于关闭模式或SERVICE（服务）状态
绿（连续）
无声音
1．机器处于自动模式。
2、机器处于准备并在工艺运行中。
绿（闪烁）
无声音
1．机器处于自动模式。
2、机器准备执行工艺。
黄（连续）
蜂鸣响
指令错误，未解决
黄（闪烁）
无声音
机器处于手动模式。
红（连续）
无声音
当前有机器错误或异常中断错误并已承认。
红（连续）
蜂鸣响
新的机器错误或异常中断错误，并未解决。
蓝（连续）
无声音
机器处于待命，并等待新的硅片。
3、设备的操作模式
1）操作模式关闭：
关闭所有输出信号。
例如设备停止时，选择这种操作模式。
状态显示的背景颜色是蓝色。
模块关闭，所有输出信号关闭。
2）手动模式：
单独控制每一模块的状态。
状态显示的背景颜色是黄色。
模块处于手动模式。
3）服务模式：
主要用于维护。
当选择该模式，关闭所有输出信号。
可以在屏幕的“输出”内手动关闭独立部件。
没有安全互锁。
状态显示的背景颜色是红色。
模块处于服务模式。
4）自动模式：
当所有部分处于准备时并且不是工艺中即不忙时，选择该模式后，设备可以自动操作。
状态显示的背景颜色是绿色。
模块处于自动操作模式。
4、设备主界面
1）信息栏
显示当前时间、日期；显示设备模式（手动或自动模式），与PLC的通讯状况：
正常（OK），登录名称：
Service（服务）、Operator（操作者）等。
2）报警诊断信息栏
显示当前出现的报警的相关信息：
日期、时间：
出现报警的时间；
功能部件：
出现报警的部件；
功能：
出现报警的部件的执行功能；
错误信息：
出现的报警信息，相关错误解释可查阅操作手册；
状态：
报警的状态。
未解决、已承认等。
3）按钮信息栏
A、
软件登录。
B、
软件版本信息
C、
用户管理
D、
关闭操作模式，所有输出信号将被关闭。
除非断电关机时，才可用此按钮。
E、
将机器切换到手动模式。
所有部件的操作模式将切换到手动模式。
F、
将机器切换到服务操作模式。
此按钮非设备维护人员禁止点击。
G、
将机器切换到自动操作模式
H、
切换主界面。
I、
进入Service界面，将会显示各种输入、输出信号状态。
J、
单独手动控制每个部件。
K、
进入工艺方案子界面
L、
进入曲线子界面
M、
进入错误诊断子界面。
N、
消除报警声。
O、
消除错误。
P、传送带状态
Q、计数器、前玻璃门
Resetinput:
投入硅片数量复位
Waferchargeinput:
实际投入硅片数量
Resetoutput:
输出硅片数量复位
Waferchargeoutput:
实际输出硅片数量
Temperatureetchbath:
腐蚀槽温度
R、各个槽的状态及相关信息
Manual:
操作模式为手动模式
NotReady:
该部件未准备好
Ready:
该槽已做好准备，等待工艺运行
FillingDI:
该槽正在添加纯水
FullDI:
该槽内已添满纯水
FillingChem:
该槽正在添加化学药品
FullChemical:
该槽已充满化学药品
Empty:
该槽没有化学药品或纯水
InProcess:
表示该槽工艺正在运行中
Draining:
该槽正在排放化学药品或纯水
Error:
该槽出现错误
Standby:
待命。
等待硅片的投入
Tempout:
腐蚀槽出路温度
Flow:
该槽化学药品的流速
Bathquality:
腐蚀槽内规定腐蚀重量的当前剩余值
BathLifetime:
该槽使用寿命
Airknife:
风刀工作频率
S、RecipeinUse:
当前使用的工艺
Start:
自动模式下，开始工艺运行
Stop:
自动模式下，停止工艺运行，所有传输、马达停止
TestLamps:
测试报警声音是否正常
5、关于操作：
1）标准开机
打开配电柜电源开关，打开镶在配电柜外面的控制机器照明灯的按钮。
按下操作面板上的On按钮，将显示器的开关打开。
所有紧急制动如无紧急情况，不得按下。
如按下紧急制动按钮，机器的所有动作将会停止。
2）软件操作
用户登陆
点击
按钮，将弹出用户登陆对话框。
操作者输入用户名（UserName）：
operator，密码（Passward）：
operator，点击确定按钮。
Loginname处将显示operator用户
填充药液/纯水：
点击
按钮，将机器操作模式切换到手动模式。
逐一给每一个槽添加化学药品或纯水。
EtchBath（腐蚀槽）：
点击添加药液（FillChem）按钮，待该槽状态显示FullChem并且Ready时，点击开始运转按钮（StartMainfunction），该槽的状态显示工艺运行中（InProcess）。
Alkaine（碱槽）：
点击添加药液（FillChem）按钮，待该槽状态显示为FullChem并且Ready时，点击开始循环（StartCirculation）按钮，待循环泵运转后，点击开始腐蚀（StartEtching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（InProcess）。
Acidic（酸槽）：
点击添加药液（FillChem）按钮，待该槽状态显示为FullChem并且Ready时，点击开始循环（StartCirculation）按钮，待循环泵运转后，点击开始腐蚀（StartEtching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（InProcess）。
Rinse（冲洗槽）：
点击添加纯水（FillDI）按钮,待该槽状态显示为FullDI并且Ready时,点击开始腐蚀（StartEtching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（InProcess）。
完成以上所有槽的准备工作后，将机器的操作模式切换到自动模式，点击开始按钮，机器开始自动运行。
注意：
自动模式运行前，必须确定传输是停止的，并且风刀的状态是关闭的才能在自动模式下start，运行工艺。
3）乙二醇的更换步骤
A、点击界面上Coolingunit单元排放draining按钮；
B、待冷却器内液体全部排空后，从冷却器设备顶部加注20L乙二醇；
C、乙二醇加注完成后，在主界面Coolingunit单元点击GlycolchangeOK；
D、点击Filling按钮加注Citywater；
E、加液完成后，冷却柜还需排气，步骤为：
冷却柜上的操作面板set--→selectprogram--→111--→1（on）.排气后水位如降低则到主界面加注Citywater.完成后还需将排气步骤关闭，set--→selectprogram--→111--→0（off）。
排气步骤反复两次。
4）自动分析仪电极的更换和校准操作
A、在主界面下，单击“workplace”菜单，选择“offline”模式；
B、在“Run”窗口下的“Method”命令中选择“calibrationpHelectrode”；
C、拧下电极并用DI水冲洗后，再用无尘布擦干；
D、检查电极内部氯化钾溶液的最低液位是否没过电极头部（若液位低于电极头部需添加氯化钾溶液）；
E、将电极放入加好储存液的存储管里，储存；
F、取出新电极，打开上部的橡皮塞加入氯化钾溶液（使液位达到管长的80%处，即橡胶头的下缘）；
G、拧好电极并进行电极的校准操作。
注意：
1、电极的头部十分敏感，勿擦拭。
2、储存电极时要保证其上部的橡胶头关闭，校准时必须打开。
3、操作时一定要戴好必要的防护手套和口罩。
七、更换化学药品时的安全操作规范：
1、更换Metrohm用化学药品
Metrohm用化学药品包括NaOH（1.000mol/L）和HCL（1.000mol/L）。
补给箱
药液密封盖
通风管
供给管
1）检查药液箱是否空了；
2）拧开药液密封盖并取出吸液管，移开供给管；
3）将满的补给箱换上，并将药液密封盖旋紧（或将化学药品经过漏斗倒入原药液补给箱内）；
4）将空药液箱冲洗干净后将其螺旋密封盖旋紧；
5）用干净的毛巾将酸碱液残留物吸干，将毛巾用清水处理干净。
注意：
保持HCL和NaOH药液箱的密封盖紧闭！
在更换容器内的药液时，必须穿戴好防护服、防酸碱手套和护目镜。
2、更换化学药品室的化学药品
更换化学药品前须先确认化学品的类型和厂家，现使用的为晶瑞和润玛两个厂家的产品，两个厂家的药液桶深度不一样，为了不浪费药液，所以我们使用的打液管长度也不一样，更换不同药液的同时应更换相应的打液管（润玛使用短管，晶瑞使用长管）。
化学药品室内的化学药品包括HNO3（65%）、KOH（50%）、HF（40%）和HCL（37%）。
1）
供给管
通风管
药液密封罐
密码环
打开药液柜的门。
2）在供给管关闭的情况下，确定此药液箱是否无药液。
3）旋开药液箱上的密码环，并且移开吸管。
4）将吸管放到药液柜边准备好的吸管架里面。
5）用叉车将药液罐（200L或1000L）取出药品室并将满的药品罐更换进来。
6）旋开满的药液罐的盖子并且将吸管插入。
7）将密码环上的螺旋连接拧紧，将药品室的门关闭。
8）拧紧空药液箱上的密封盖。
9）用干净的毛巾吸收可能会出现的化学药液的残留物，将毛巾用清水洗净。
注意：
保持化学药液罐的密封盖紧闭！
在更换药液时，必须穿戴好防护服、防酸碱手套和护目镜。
八、安全操作规范：
1、操作人员必须经过培训并熟悉操作规程才可以使用本设备。
2、本设备应该在通风、安全防范设备（例如灭火器）齐备的环境下工作。
3、设备内部或周围严禁接触和堆放易燃易爆等危险品。
4、设备运行过程中不得随意打开设备门窗，如特殊情况需要开门窗时必须戴好全面罩、防酸碱手套、口罩等防护用品。
5、工作时一定要有专人看守，工作结束后，操作人员必须保证关闭设备电源后方可离开。
6、设备运行过程中不得随意打开设备门窗，如特殊情况需要开门窗时必须戴好全面罩、防酸碱手套、口罩等防护用品。
7、更换药液罐时必须穿耐酸碱防护服、耐酸碱胶鞋，戴全面罩（发生化学品泄漏时要戴配有过滤器的防毒面具）、耐酸碱手套等防护用品。
8、更换化学药品的操作必须由两名以上经过培训的人员同时进行，切不可单独操作。
9.外围设施进行施工时，如有可能最好将机体内酸碱液提前排掉并将各槽体冲洗干净，最后将设备后面的排废手动阀关闭。
再由专人看护设备，以防不知情者操作造成对施工人员的伤害。
并做好对设备严禁操作的标识。
；如果不能提前将酸碱液提前排出，也不能drainbath（有可能PT槽会溢流），那么一定要将设备后面的手动排废阀关掉，并由技术人员派专门两个人，一个在设备前一个在设备后进行看护，严防不知情者的操作对施工人员的伤害。
并做好对设备严禁操作的标识。
九、设备常见故障及解决方法：
1）.rinse1.rinse2及KOH槽流量低，其造成原因有：
1.KOH槽后的PP风刀堵，吹不干造成硅片把药液带入RINSE2，要定期对风刀进行维护清理。
2.滤芯溢流阀（滤芯管下面的黑的手动阀门）没有关闭，要经常检查。
3.滤芯堵，RINSE1后的PP管风刀堵或者喷淋方向不对，把带有酸液的水带入KOH槽，造成酸碱中和结成盐类，要定期更换滤芯。
2）HF/HCL槽液位低原因：
1.维护后把第一个喷淋方向不对，造成硅片运行中把药液反流入RINSE2中，要把方向尽量靠后。
2.槽体后的滤网被碎片堵住，药液满后溢流到RINSE3槽，维护时要经常把所有的滤网都要清理一遍。
十、操作和维护注意事项及维护表：
一、注意事项：
1.设备生产过程中门.盖子要关闭。
如检查设备可打开看看.看完后要及时关上。
2.生产过程中一定要保证腐蚀量，如每道数值的差异比较大，要及时看下公式是否正确。
3.每天各台设备负责人接班时要检查设备的完好率。
4.每班检查擦拭WTS的皮带保证设备的良好运行。
5.维护设备时一定要到位门、盖子、设备周边、底盘传感器、要擦拭干净。
装卸载的支架处要清理干净。
各槽的传感器一定要装到位以避免不必要的假报警。
二、维护表：
225MWRENA清洗设备检修检查记录单
日期/时间：
设备编号：
班组/班次：
维护检修名称、维护检修项目及内容
操作员姓名
检修结果，设备存在何问题
分数
0、准备工具、备件及防护用品（包括维护后整理）
1、管路：
1.1检查所有药液供给，运行和排放管路是否存在泄漏。
1.2检查泵的运转情况是否正常，有没有噪音。
1.3检查各传感器（槽液位、泄漏）功能是否正常。
2、气路：
检查管路连接是否锁紧。
观察是否有腐蚀、损坏现象，可进行泄漏测试;检查排风压力是否正常。
3、各工艺槽：
3.1清理滤网并移出碎片。
3.2检查盖子上的空气管接口连接是否正常。
3.3检查循环泵和液位传感器的功能是否正常。
4、传动单元：
4.1检查电机和连接处是否有损坏，是否紧密联结。
4.2检查传动齿轮连接是否紧密，运转时有无噪音。
5、风刀：
5.1检查偏心电机运转是否正常、运转时是否有噪音。
5.2对运转部分加注润滑油
6、整机：
6.1清洗整个机器的残余药液和碎片。
6.2机器的常规检查。
7、检查滤芯是否需更换，并做详细记录。
（按照规定更换）
8、浓度分析仪的维护：
8.1检查分析仪各管路是否有泄漏现象。
8.2更换浓度分析仪用标准溶液（HCl、KOH均为1.000mol/L）。
8.3更换浓度分析仪所用电极（按照记录循环使用）。
8.4检查电路及排风是否正常工作等。
9.WTS装卸载的维护：
9.1皮带及导轮有无磨损以及松动
9.2各电机运转是否正常
9.3对LIFE1、2、3丝杠加注润滑油，检查LIFT挂钩是否有异常。
9.4用无尘布对皮带和整机的擦拭，对整体碎片的的清理
附加维护项目（或设备可能存在的隐患等）：
1。
对各工位的PP管风刀观察是否有堵塞，并进行清理。
2、对整体管路和气动阀检查是否有泄漏问题。
3、对设备维护完毕后填充药液的监控：
应加：
HNO3:
H2SO4HFKOHHCL实加：
HNO3:
H2SO4HFKOHHCL
（所有维护项目由本人填写，没有维护的项目画斜线，设备存在隐患要如实填写）
自检签名：
互检签名：
专检签名：
组长本次维护总结:
技术评价:
本次维护应在____小时内完成,完成情况______,决定为本班组加____片产量.主任签字：
十一、常用化学药品特性及处理预案：
附录1：
化学品特性及应急处理预案
（一）HF的物化性质
1、分子式：
HF
2、理化性质：
是氟化氢40%的水溶液，极易挥发，露置空气中即冒白烟。
3、危险特性：
极毒，车间空气中最高允许浓度为1mg/m3。
除金、铂、铅、石蜡、及塑料外，腐蚀大多数金属及物质。
特别是与硅及硅的化合物反应生成剧毒的气态四氟化硅，故不能用玻璃及陶瓷做容器。
常温下极易挥发出剧毒氟化氢气体。
触及皮肤极为疼痛，伤口治愈慢并能腐烂指甲、骨头。
灭火剂及储运注意事项
1、灭火剂：
雾状水、泡沫。
禁用柱状水，以防飞溅伤人。
2、运储注意事项：
存于通风阴凉库房。
远离火种、热源。
与H发孔剂、氰化物、金属粉末、碱类分开储运。
搬运人员应带好防护用具，切勿接触皮肤。
吸入1、援助时需穿戴合适、安全的保护装备，以确保自己安全。
2、移除污染源或将患者移至新鲜空气处。
3、若呼吸停止，立即有受训人员施予人工呼吸或心肺复苏术。
4、避免口对口接触，最好在医生的指示下，由受训人员来是与氧气。
5、立即就医
皮肤接触1、避免直接与该化学品接触，必须戴防渗乳胶手套。
2、立即脱去污染物，用缓和流动的水冲洗患部30分钟以上。
3、将受伤处浸于2%小苏打溶液中。
4、立即就医
眼睛接触1、立即撑开眼皮，用缓和流动的水冲洗污染的眼睛20分钟。
2、小心勿使洗液沾染未受污染
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