清洗制绒设备操作规程.docx

1、清洗制绒设备操作规程RENA制绒设备操作规程v09.10.01序言为更好地加强制绒设备生产与维修，保障设备开机效率以及设备完好状态，结合制绒使用说明书及车间使用经验，特制订编制本手册，以达到操作标准化为目的，同时为设备队伍的培训提供教材参考。凡操作人员必须经过培训，且熟练掌握设备操作规程，方可对设备进行操作! 目录一、目的二、适用范围三、主要技术性能四、结构特征五、使用前的准备六、设备的操作七、更换化学药品时的安全操作规范八、安全操作规范九、设备常见故障及简单解决方法十、操作和维护注意事项及维护表十一、常用化学药品特性及处理预案十二、安全标识一、目的：硅片在切割过程中会在表面形成大约10m厚的

2、损伤层，这一层因为与硅片基体的状态已经不同，基本上已经剥离于集体，会严重影响半导体器件（太阳电池）的性能。清洗工序制绒工艺就是利用硅片的这一层损伤层，通过硝酸对其氧化制绒，形成高低不平的表面，大大增加电池片表面的受光面积，减少反射，从而提高太阳电池的转换效率。二、适用范围： RENA Inline Texture Etching060309-CSC05(100MW车间制绒北侧设备)RENA Inline Texture Etching060308-CSC06(100MW车间制绒中部设备)RENA Inline Texture Etching060310-CSC07(100MW车间制绒南侧设备)

3、三、主要技术性能：1、使用环境条件a) 环境温度：0 40 b) 相对湿度：85%、无凝露c）周围环境：无腐蚀性气体2、附属设施消耗电池车间 100MWp制绒工序基础设施消耗设备名称数量连接功率kW额定功率kW纯水L/M冷却水L/M压缩空气L/M废水排放L/M废气排放m3/h电压V单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计5道硅片清洗机2380五线19.53919.5392040438636837366DN50 DN40 DN20467093408道硅片清洗机1380五线323232323030438658835883DN50 DN40 DN2071407140四、结构特征： 上

4、图为RENA Inline Texture Etching060309设备外形Station1: 腐蚀槽 Station5：HF/HCL润洗Station2：冲洗1槽 Station6: 冲洗3槽Station3：KOH润洗 Station7: 气刀风干Station4：冲洗2槽RENA Inline Texture Etching包括上料HNO3及HF腐蚀冲洗1KOH润洗冲洗2HF/HCl润洗冲洗3气刀风干下料。五、使用前的准备： 附属设施准备条件：“InTex”5道 链式制绒清洗线设施需求1. HF氢氟酸：套管1”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20C；最大流量

5、1.8 Nm3/h；平均流量8,5 l/h。2. HNO3硝酸：套管1”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20C；最大流量1.8 Nm3/h；平均流量7.3 l/h。3. KOH (20-40%)氢氧化钾：套管”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20C；最大流量1.5 Nm3/h；平均流量0.4 l/h。4. HCl盐酸：套管 ”/63DN50；材质PFA/PPgrey；压力3bar；温度20C；最大流量1.5 Nm3/h；平均流量1 l/h。5. 纯水：材质PPgrey；压力4bar；温度20C；最大流量1.2 Nm3/h；平均流量1 l/

6、h。6. 市水供给冷却器：”；PVC：压力3bar；温度20C；最大流量1.2 Nm3/h。7. 市水流出冷却器：结构管 ”； PVC：温度25C；最大流量1.2 Nm3/h。8. 冷却水供给碱清洗：20DN15；PPgrey；温度20C；最大流量0.2 Nm3/h。9. 冷却水流出碱清洗：20DN15；PPgrey；温度25C。10. 风刀和气管使用的清洁压缩空气：25DN20；PPgrey；压力6bar；温度20C；最大流量220 Nm3/h；平均流量165 Nm3/h。11. 阀门使用压缩空气：”； SS/ Swagelok：压力6bar；温度20C；最大流量1 Nm3/h。12. 热交

7、换冷却用市水：20DN15；PPgrey；压力3bar；温度20C；最大流量2.4 Nm3/h；平均流量0.06 Nm3/h。13. 车间净化和通风系统是否正常运行。“InTex HT” 8道链式制绒清洗线设施需求：1. HF氢氟酸：套管1”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20C；最大流量1.8 Nm3/h；平均流量8,5 l/h。2. HNO3硝酸：套管1”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压力3bar；温度20C；最大流量1.8 Nm3/h；平均流量7.3 l/h。3. KOH (20-40%)氢氧化钾：套管”/63DN50；材质PFA/Ppgrey；压

8、力3bar；温度20C；最大流量1.5 Nm3/h；平均流量0.4 l/h。4. HCl盐酸：套管”/63DN50；材质PFA/PPgrey；压力3bar；温度20C；最大流量1.5 Nm3/h；平均流量1 l/h。5. 纯水：32DN25；材质PPgrey；压力4bar；温度20C；最大流量1.8 Nm3/h；平均流量1.5 l/h。6. 市水供给冷却器：”；PVC：压力3bar；温度20C；最大流量2.4 Nm3/h。7. 市水流出冷却器：结构管 ”； PVC：温度25C；最大流量2.4 Nm3/h。8. 冷却水供给碱清洗：20DN15；PPgrey；温度20C；最大流量0.2 Nm3/h

9、。9. 冷却水流出碱清洗：20DN15；PPgrey；温度25C。10. 风刀和气管使用的清洁压缩空气：25DN20；PPgrey；压力6bar；温度20C；最大流量352 Nm3/h；平均流量264 Nm3/h。11. 阀门使用压缩空气：”； SS/ Swagelok：压力6bar；温度20C；最大流量1 Nm3/h。12. 热交换冷却用市水：20DN15；PPgrey；压力3bar；温度20C；最大流量2.4 Nm3/h；平均流量0.06 Nm3/h。13. 车间净化和通风系统是否正常运行。六、设备的操作：1、操作准备：确认设备能正常运行,压缩空气、DI水等压力及流量正常。戴口罩，操作时戴

10、洁净手套，并保持室内正压，严禁随便开启门窗,以保持室内的洁净度。2、信号灯及其状态灯声音状态信息无无声音机器处于关闭模式或SERVICE（服务）状态绿（连续）无声音1机器处于自动模式。2、机器处于准备并在工艺运行中。绿（闪烁）无声音1机器处于自动模式。2、机器准备执行工艺。黄（连续）蜂鸣响指令错误，未解决黄（闪烁）无声音机器处于手动模式。红（连续）无声音当前有机器错误或异常中断错误并已承认。红（连续）蜂鸣响新的机器错误或异常中断错误，并未解决。蓝（连续）无声音机器处于待命，并等待新的硅片。3、设备的操作模式1）操作模式关闭：关闭所有输出信号。例如设备停止时，选择这种操作模式。状态显示的背景颜色

11、是蓝色。模块关闭，所有输出信号关闭。2）手动模式：单独控制每一模块的状态。状态显示的背景颜色是黄色。模块处于手动模式。3）服务模式：主要用于维护。当选择该模式，关闭所有输出信号。可以在屏幕的“输出”内手动关闭独立部件。没有安全互锁。状态显示的背景颜色是红色。模块处于服务模式。4）自动模式：当所有部分处于准备时并且不是工艺中即不忙时，选择该模式后，设备可以自动操作。状态显示的背景颜色是绿色。模块处于自动操作模式。4、设备主界面1）信息栏显示当前时间、日期；显示设备模式（手动或自动模式），与PLC的通讯状况：正常（OK），登录名称：Service(服务)、Operator（操作者）等。 2）报警诊

12、断信息栏显示当前出现的报警的相关信息：日期、时间：出现报警的时间；功能部件：出现报警的部件；功能：出现报警的部件的执行功能；错误信息：出现的报警信息，相关错误解释可查阅操作手册；状态：报警的状态。未解决、已承认等。3）按钮信息栏A、软件登录。B、软件版本信息C、用户管理D、关闭操作模式，所有输出信号将被关闭。除非断电关机时，才可用此按钮。E、将机器切换到手动模式。所有部件的操作模式将切换到手动模式。F、将机器切换到服务操作模式。此按钮非设备维护人员禁止点击。G、将机器切换到自动操作模式H、切换主界面。I、 进入Service界面，将会显示各种输入、输出信号状态。J、单独手动控制每个部件。 K、

13、进入工艺方案子界面L、进入曲线子界面M、进入错误诊断子界面。N、消除报警声。O、消除错误。P、传送带状态Q、计数器、前玻璃门Reset input:投入硅片数量复位Wafer charge input: 实际投入硅片数量Reset output:输出硅片数量复位Wafer charge output: 实际输出硅片数量Temperature etch bath:腐蚀槽温度R、各个槽 的状态及相关信息Manual:操作模式为手动模式Not Ready:该部件未准备好Ready:该槽已做好准备，等待工艺运行Filling DI:该槽正在添加纯水Full DI:该槽内已添满纯水Filling Che

14、m:该槽正在添加化学药品Full Chemical:该槽已充满化学药品Empty:该槽没有化学药品或纯水In Process:表示该槽工艺正在运行中Draining:该槽正在排放化学药品或纯水Error:该槽出现错误Standby:待命。等待硅片的投入Temp out:腐蚀槽出路温度Flow:该槽化学药品的流速Bath quality:腐蚀槽内规定腐蚀重量的当前剩余值Bath Lifetime:该槽使用寿命Airknife:风刀工作频率S、Recipe in Use:当前使用的工艺Start:自动模式下，开始工艺运行Stop:自动模式下，停止工艺运行，所有传输、马达停止Test Lamps:测

15、试报警声音是否正常5、关于操作：1）标准开机打开配电柜电源开关，打开镶在配电柜外面的控制机器照明灯的按钮。 按下操作面板上的On按钮，将显示器的开关打开。 所有紧急制动如无紧急情况，不得按下。如按下紧急制动按钮，机器的所有动作将会停止。2）软件操作用户登陆点击按钮，将弹出用户登陆对话框。操作者输入用户名（User Name）：operator，密码(Passward)：operator，点击确定按钮。Login name处将显示operator用户填充药液/纯水：点击按钮，将机器操作模式切换到手动模式。逐一给每一个槽添加化学药品或纯水。Etch Bath（腐蚀槽）：点击添加药液（Fill Ch

16、em）按钮，待该槽状态显示Full Chem并且Ready时，点击开始运转按钮（Start Mainfunction），该槽的状态显示工艺运行中（In Process）。 Alkaine (碱槽)：点击添加药液（Fill Chem）按钮，待该槽状态显示为Full Chem并且Ready时，点击开始循环（Start Circulation）按钮，待循环泵运转后，点击开始腐蚀（Start Etching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（In Process）。Acidic（酸槽）：点击添加药液（Fill Chem）按钮，待该槽状态显示为Full Chem并且Ready时，点击开始循环（Start

17、Circulation）按钮，待循环泵运转后，点击开始腐蚀（Start Etching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（In Process）。Rinse (冲洗槽)：点击添加纯水（Fill DI）按钮, 待该槽状态显示为Full DI并且Ready时,点击开始腐蚀（Start Etching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（In Process）。 完成以上所有槽的准备工作后，将机器的操作模式切换到自动模式，点击开始按钮，机器开始自动运行。注意：自动模式运行前，必须确定传输是停止的，并且风刀的状态是关闭的才能在自动模式下start，运行工艺。3）乙二醇的更换步骤A、点击界面上Coolingu

18、nit单元排放draining按钮；B、待冷却器内液体全部排空后，从冷却器设备顶部加注20L乙二醇；C、乙二醇加注完成后，在主界面Coolingunit单元点击Glycol change OK；D、点击Filling按钮加注City water；E、加液完成后，冷却柜还需排气，步骤为：冷却柜上的操作面板 set-select program-111-1(on) .排气后水位如降低则到主界面加注City water.完成后还需将排气步骤关闭，set-select program-111-0（off）。排气步骤反复两次。4）自动分析仪电极的更换和校准操作A、在主界面下，单击“workplace”菜

19、单，选择“offline”模式；B、在“Run”窗口下的“Method”命令中选择“calibration pH electrode”；C、拧下电极并用DI水冲洗后，再用无尘布擦干； D、检查电极内部氯化钾溶液的最低液位是否没过电极头部（若液位低于电极头部需添加氯化钾溶液）；E、将电极放入加好储存液的存储管里，储存；F、取出新电极，打开上部的橡皮塞加入氯化钾溶液（使液位达到管长的80%处，即橡胶头的下缘）；G、拧好电极并进行电极的校准操作。注意：1、电极的头部十分敏感，勿擦拭。2、储存电极时要保证其上部的橡胶头关闭，校准时必须打开。3、操作时一定要戴好必要的防护手套和口罩。七、更换化学药品时的

20、安全操作规范：1、更换Metrohm用化学药品Metrohm用化学药品包括NaOH（1.000mol/L） 和 HCL（1.000mol/L）。补给箱药液密封盖通风管供给管1）检查药液箱是否空了；2）拧开药液密封盖并取出吸液管，移开供给管；3）将满的补给箱换上，并将药液密封盖旋紧（或将化学药品经过漏斗倒入原药液补给箱内）；4）将空药液箱冲洗干净后将其螺旋密封盖旋紧；5）用干净的毛巾将酸碱液残留物吸干，将毛巾用清水处理干净。 注意：保持HCL和NaOH药液箱的密封盖紧闭！在更换容器内的药液时，必须穿戴好防护服、防酸碱手套和护目镜。2、更换化学药品室的化学药品 更换化学药品前须先确认化学品的类型和

21、厂家，现使用的为晶瑞和润玛两个厂家的产品，两个厂家的药液桶深度不一样，为了不浪费药液，所以我们使用的打液管长度也不一样，更换不同药液的同时应更换相应的打液管（润玛使用短管，晶瑞使用长管）。化学药品室内的化学药品包括HNO3（65%）、KOH（50%）、HF（40%） 和 HCL（37%）。 1） 供给管通风管药液密封罐密码环打开药液柜的门。2） 在供给管关闭的情况下，确定此药液箱是否无药液。3） 旋开药液箱上的密码环，并且移开吸管。4） 将吸管放到药液柜边准备好的吸管架里面。5） 用叉车将药液罐（200L或1000L）取出药品室并将满的药品罐更换进来。6） 旋开满的药液罐的盖子并且将吸管插入。

22、7） 将密码环上的螺旋连接拧紧，将药品室的门关闭。8） 拧紧空药液箱上的密封盖。9） 用干净的毛巾吸收可能会出现的化学药液的残留物，将毛巾用清水洗净。注意：保持化学药液罐的密封盖紧闭！在更换药液时，必须穿戴好防护服、防酸碱手套和护目镜。八、安全操作规范： 1、操作人员必须经过培训并熟悉操作规程才可以使用本设备。2、本设备应该在通风、安全防范设备（例如灭火器）齐备的环境下工作。3、设备内部或周围严禁接触和堆放易燃易爆等危险品。4、设备运行过程中不得随意打开设备门窗，如特殊情况需要开门窗时必须戴好全面罩、防酸碱手套、口罩等防护用品。5、工作时一定要有专人看守，工作结束后，操作人员必须保证关闭设备电

23、源后方可离开。6、设备运行过程中不得随意打开设备门窗，如特殊情况需要开门窗时必须戴好全面罩、防酸碱手套、口罩等防护用品。7、更换药液罐时必须穿耐酸碱防护服、耐酸碱胶鞋，戴全面罩（发生化学品泄漏时要戴配有过滤器的防毒面具）、耐酸碱手套等防护用品。8、更换化学药品的操作必须由两名以上经过培训的人员同时进行，切不可单独操作。9.外围设施进行施工时，如有可能最好将机体内酸 碱液提前排掉并将各槽体冲洗干净，最后将设备后面的排废手动阀关闭。再由专人看护设备，以防不知情者操作造成对施工人员的伤害。并做好对设备严禁操作的标识。；如果不能提前将酸 碱液提前排出，也不能drain bath( 有可能PT槽会溢流)

24、，那么一定要将设备后面的手动排废阀关掉，并由技术人员派专门两个人，一个在设备前一个在设备后进行看护，严防不知情者的操作对施工人员的伤害。并做好对设备严禁操作的标识。九、设备常见故障及解决方法：1).rinse1.rinse2及KOH槽流量低，其造成原因有：1.KOH槽后的PP风刀堵，吹不干造成硅片把药液带入RINSE2，要定期对风刀进行维护清理。2.滤芯溢流阀（滤芯管下面的黑的手动阀门）没有关闭，要经常检查。3.滤芯堵，RINSE1后的PP管风刀堵或者喷淋方向不对，把带有酸液的水带入KOH槽，造成酸碱中和结成盐类，要定期更换滤芯。2）HF/HCL槽液位低原因：1.维护后把第一个喷淋方向不对，造

25、成硅片运行中把药液反流入RINSE2中，要把方向尽量靠后。2.槽体后的滤网被碎片堵住，药液满后溢流到RINSE3槽，维护时要经常把所有的滤网都要清理一遍。十、操作和维护注意事项及维护表： 一、 注意事项：1.设备生产过程中门.盖子要关闭。如检查设备可打开看看.看完后要及时关上。2.生产过程中一定要保证腐蚀量，如每道数值的差异比较大，要及时看下公式是否正确。3.每天各台设备负责人接班时要检查设备的完好率。4.每班检查擦拭WTS的皮带保证设备的良好运行。5.维护设备时一定要到位门、盖子、设备周边、底盘传感器、要擦拭干净。装卸载的支架处要清理干净。各槽的传感器一定要装到位以避免不必要的假报警。二、维

26、护表：225MW RENA清洗设备检修检查记录单日期/时间： 设备编号： 班组/班次： 维护检修名称、维护检修项目及内容操作员姓名检修结果，设备存在何问题分数0、准备工具、备件及防护用品（包括维护后整理）1、管路： 1.1 检查所有药液供给，运行和排放管路是否存在泄漏。 1.2 检查泵的运转情况是否正常，有没有噪音。1.3 检查各传感器（槽液位、泄漏）功能是否正常。2、气路： 检查管路连接是否锁紧。观察是否有腐蚀、损坏现象，可进行泄漏测试;检查排风压力是否正常。3、各工艺槽： 3.1 清理滤网并移出碎片。 3.2 检查盖子上的空气管接口连接是否正常。3.3 检查循环泵和液位传感器的功能是否正常

27、。4、传动单元： 4.1 检查电机和连接处是否有损坏，是否紧密联结。 4.2 检查传动齿轮连接是否紧密，运转时有无噪音。5、风刀： 5.1 检查偏心电机运转是否正常、运转时是否有噪音。 5.2 对运转部分加注润滑油6、整机：6.1 清洗整个机器的残余药液和碎片。 6.2 机器的常规检查。7、检查滤芯是否需更换，并做详细记录。（按照规定更换）8、浓度分析仪的维护：8.1 检查分析仪各管路是否有泄漏现象。8.2 更换浓度分析仪用标准溶液（HCl、KOH均为1.000mol/L）。8.3 更换浓度分析仪所用电极（按照记录循环使用）。8.4 检查电路及排风是否正常工作等。9.WTS装卸载的维护： 9.

28、1 皮带及导轮有无磨损以及松动9.2 各电机运转是否正常9.3 对LIFE1、2、3丝杠加注润滑油，检查LIFT挂钩是否有异常。9.4用无尘布对皮带和整机的擦拭，对整体碎片的的清理附加维护项目（或设备可能存在的隐患等）：1。对各工位的PP管风刀观察是否有堵塞，并进行清理。2、对整体管路和气动阀检查是否有泄漏问题。3、对设备维护完毕后填充药液的监控：应加：HNO3: H2SO4 HF KOH HCL 实加：HNO3: H2SO4 HF KOH HCL （所有维护项目由本人填写，没有维护的项目画斜线，设备存在隐患要如实填写）自检签名： 互检签名： 专检签名： 组长本次维护总结:技术评价: 本次维护

29、应在_小时内完成,完成情况_,决定为本班组加_片产量. 主任签字： 十一、常用化学药品特性及处理预案：附录1：化学品特性及应急处理预案（一）HF的物化性质1、分子式：HF2、理化性质：是氟化氢40%的水溶液，极易挥发，露置空气中即冒白烟。3、危险特性：极毒，车间空气中最高允许浓度为1mg/m3。除金、铂、铅、石蜡、及塑料外，腐蚀大多数金属及物质。特别是与硅及硅的化合物反应生成剧毒的气态四氟化硅，故不能用玻璃及陶瓷做容器。常温下极易挥发出剧毒氟化氢气体。触及皮肤极为疼痛，伤口治愈慢并能腐烂指甲、骨头。灭火剂及储运注意事项1、灭火剂 ：雾状水、泡沫。禁用柱状水，以防飞溅伤人。2、运储注意事项： 存于通风阴凉库房。远离火种、热源。与H发孔剂、氰化物、金属粉末、碱类分开储运。搬运人员应带好防护用具，切勿接触皮肤。吸入 1、援助时需穿戴合适、安全的保护装备，以确保自己安全。2、移除污染源或将患者移至新鲜空气处。3、若呼吸停止，立即有受训人员施予人工呼吸或心肺复苏术。4、避免口对口接触，最好在医生的指示下，由受训人员来是与氧气。5、立即就医皮肤接触 1、避免直接与该化学品接触，必须戴防渗乳胶手套。2、立即脱去污染物，用缓和流动的水冲洗患部30分钟以上。3、将受伤处浸于2%小苏打溶液中。4、立即就医眼睛接触 1、立即撑开眼皮，用缓和流动的水冲洗污染的眼睛20分钟。2、小心勿使洗液沾染未受污染