3747半导体行业污染物排放标准.docx

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3747半导体行业污染物排放标准

半导体行业污染物排放标准

1范围

本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与监督。

本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理，以及半导体企业排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。

半导体企业与污水集中处理设施采用协商方式确定企业水污染物间接排放限值时，污水集中处理设施的水污染物排放管理也适用于本标准。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB3095环境空气质量标准

GB3838地表水环境质量标准

GB/T6920水质pH值的测定玻璃电极法

GB/T7466水质总铬的测定

GB/T7467水质六价铬的测定二苯碳酰二肼分光光度法

GB/T7470水质铅的测定双硫腙分光光度法

GB/T7471水质镉的测定双硫腙分光光度法

GB/T7475水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法

GB/T7484水质氟化物的测定离子选择电极法

GB/T7485水质总砷的测定二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法

GB/T7494水质阴离子表面活性剂的测定亚甲蓝分光光度法

GB8978污水综合排放标准

GB/T11893水质总磷的测定钼酸铵分光光度法

GB/T11901水质悬浮物的测定重量法

GB/T11907水质银的测定火焰原子吸收分光光度法

GB/T11910水质镍的测定丁二酮肟分光光度法

GB/T11912水质镍的测定火焰原子吸收分光光度法

GB13271锅炉大气污染物排放标准

GB/T15432环境空气总悬浮颗粒物的测定重量法

GB/T15516空气质量甲醛的测定乙酰丙酮分光光度法

GB/T16157固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法

GB/T16489水质硫化物的测定亚甲基蓝分光光度法

HJ/T27固定污染源排气中氯化氢的测定硫氰酸汞分光光度法

HJ/T28固定污染源排气中氰化氢的测定异烟酸-吡唑啉酮分光光度法

HJ/T30固定污染源排气中氯气的测定甲基橙分光光度法

HJ38固定污染源废气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定气相色谱法

HJ/T42固定污染源排气中氮氧化物的测定紫外分光光度法

HJ/T43固定污染源排气中氮氧化物的测定盐酸萘乙二胺分光光度法

HJ/T55大气污染物无组织排放监测技术导则

HJ/T60水质硫化物的测定碘量法

HJ/T65大气固定污染源锡的测定石墨炉原子吸收分光光度法

HJ/T67大气固定污染源氟化物的测定离子选择电极法

HJ75固定污染源烟气（SO2、NOx、颗粒物）排放连续监测技术规范

HJ76固定污染源烟气（SO2、NOx、颗粒物）排放连续监测系统技术要求及检测方法

HJ84水质无机阴离子的测定离子色谱法

HJ/T91地表水和污水监测技术规范

HJ/T195水质氨氮的测定气相分子吸收光谱法

HJ/T199水质总氮的测定气相分子吸收光谱法

HJ/T200水质硫化物的测定气相分子吸收光谱法

HJ/T397固定源废气监测技术规范

HJ/T399水质化学需氧量的测定快速消解分光光度法

HJ484水质氰化物的测定容量法和分光光度法

HJ485水质铜的测定二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法

HJ486水质铜的测定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法

HJ487水质氟化物的测定茜素磺酸锆目视比色法

HJ488水质氟化物的测定氟试剂分光光度法

HJ489水质银的测定3,5-Br2-PADAP分光光度

HJ490水质银的测定镉试剂2B分光光度法

HJ493水质采样样品的保存和管理技术规定

HJ494水质采样技术指导

HJ495水质采样方案设计技术指导

HJ501水质总有机碳的测定燃烧氧化-非分散红外吸收法

HJ533环境空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法

HJ534环境空气氨的测定次氯酸钠-水杨酸分光光度法

HJ535水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法

HJ536水质氨氮的测定水杨酸分光光度法

HJ537水质氨氮的测定蒸馏-中和滴定法

HJ544固定污染源废气硫酸雾的测定离子色谱法

HJ548固定污染源废气氯化氢的测定硝酸银容量法

HJ549环境空气和废气氯化氢的测定离子色谱法

HJ604环境空气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定直接进样-气相色谱法

HJ636水质总氮的测定碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法

HJ637水质石油类和动植物油的测定红外分光光度法

HJ644环境空气挥发性有机物的测定吸附管采样-热脱附/气相色谱-质谱法

HJ657空气和废气颗粒物中铅等金属元素的测定电感耦合等离子体质谱

HJ659水质氰化物等的测定真空检测管-电子比色法

HJ665水质氨氮的测定连续流动-水杨酸分光光度法

HJ666水质氨氮的测定流动注射-水杨酸分光光度法

HJ667水质总氮的测定连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法

HJ668水质总氮的测定流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法

HJ670水质磷酸盐和总磷的测定连续流动-钼酸铵分光光度法

HJ671水质总磷的测定流动注射-钼酸铵分光光度法

HJ683环境空气醛、酮类化合物的测定高效液相色谱法

HJ692固定污染源废气氮氧化物的测定非分散红外吸收法

HJ693固定污染源废气氮氧化物的测定定电位电解法

HJ694水质汞、砷、硒、铋和锑的测定原子荧光法

HJ700水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法

HJ732固定污染源废弃挥发性有机物的采样气袋法

HJ734固定污染物源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法

HJ759环境空气挥发性有机物的测定罐采样/气相色谱-质谱法

HJ776水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法

HJ777空气和废气颗粒物中金属元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法

HJ828水质化学需氧量的测定重铬酸盐法

HJ836固定污染源废气低浓度颗粒物的测定重量法

HJ908水质六价铬的测定流动注射-二苯碳酰二肼光度法

HJ955环境空气氟化物的测定滤膜采样/氟离子选择电极法

HJ970水质石油类的测定紫外分光光度法

《污染源自动监控管理办法》（国家环境保护总局令第28号）

《环境监测管理办法》（国家环境保护总局令第39号）

3术语和定义

下列术语和定义适用于本标准。

3.1

半导体企业semiconductorindustry

从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。

3.2

现有企业existingfacility

指本标准实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业。

3.3

新建企业newfacility

指本标准实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。

3.4

直接排放directdischarge

指排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。

3.5

间接排放indirectdischarge

排污单位向污水集中处理设施排放水污染物的行为。

3.6

污水集中处理设施concentratedwastewatertreatmentfacilities

为两家及两家以上排污单位提供污水处理服务的污水处理设施，包括各种规模和类型的城镇污水集中处理设施、工业集聚区（经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等各类工业园区）污水集中处理设施，以及其他由两家及两家以上排污单位共用的污水处理设施等。

3.7

排水量effluentvolume

企业或生产设施排放到企业法定边界外的废水量。

包括与生产有直接或间接关系的各种外排废水（含厂区生活污水、冷却废水、厂区锅炉和电站废水等）。

3.8

单位产品基准排水量benchmarkeffluentvolumeperunitproduct

用于核定水污染物排放浓度而规定的生产单位产品的污水排放量上限值。

3.9

挥发性有机物volatileorganiccompounds,VOCs

参与大气光化学反应的有机化合物，或者根据有关规定确定的有机化合物。

在表征VOCs总体排放情况时，根据行业特征和环境管理要求，可采用总挥发性有机物（以TVOC表示）、非甲烷总烃（以NMHC表示）作为污染物控制项目。

3.10

非甲烷总烃non-methanehydrocarbon

采用规定的监测方法，检测器有明显响应的除甲烷外的碳氢化合物的总称（以碳计）。

本标准使用“非甲烷总烃（NMHC）”作为排气筒和厂界挥发性有机物排放的综合控制指标。

3.11

总挥发性有机物totalvolatileorganiccompounds（TVOC）

采用规定的监测方法，对废气中的单项挥发性有机物进行测量，加和得到挥发性有机物的总量，以单项挥发性有机物的质量浓度之和计。

实际工作中，应按预期分析结果，对占总量90%以上的单项挥发性有机物进行测量，加和得出。

3.12

标准状态standardcondition

温度为273.15K、压力为101325Pa时的状态。

本标准规定的大气污染物排放浓度限值均以标准状态下的干气体为基准。

3.13

企业边界enterpriseboundary

指半导体工业企业的法定边界。

若难以确定法定边界，则指企业的实际占地边界。

4水污染物排放控制要求

4.1水污染物排放限值见表1。

4.2企业向城镇污水处理厂排放废水时，其第二类水污染物排放应达到表1中间接排放限值；废水进入具备处理此类污水工艺和能力的集中式工业废水处理厂的企业，其第二类水污染物排放可与集中式工业污水处理厂商定间接排放限值，并签订协议报当地环境保护主管部门备案。

企业与集中式工业废水处理厂商定的间接排放限值，不得宽于《污水综合排放标准》中规定的接管限值。

未签订协议的企业，其第二类水污染物执行表1中的间接排放限值。

4.3在国土开发密度高、环境承载能力开始减弱，或水环境容量较小、生态环境脆弱，容易发生严重水环境污染问题而需要采取特别保护措施地区的企业，根据生态环境保护工作要求，执行表1规定的特别排放限值。

执行水污染物特别排放限值的地域范围、时间，由省级生态环境主管部门或设区市人民政府规定。

表1水污染物排放限值

单位为mg/L

序号

污染物项目

直接排放限值

特别排放限值

间接排放限值

污染物排放监控位置

1

总镉（按Cd计）

0.05

0.01

0.05/0.01a

车间或生产设施废水排放口

2

总铬（按Cr计）

0.5

0.5

0.5/0.5

3

六价铬（按Cr6+计）

0.1

0.1

0.1/0.1

4

总砷（按As计）

0.2

0.1

0.2/0.1

5

总铅（按Pb计）

0.2