镀膜真空术语全集中英文对照.docx

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镀膜真空术语全集中英文对照

镀膜真空术语全集（中英文对照）

5.分压真空计（分压分析器）

5-1.射频质谱仪radiofrequencymassspectrometer：

5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupolemassspectrometer；quadrupolemassfiler：

5-3.单极质谱仪momopolemassspectrometer：

5-4.双聚焦质谱仪doublefocusingmassspectrometer：

5-5.磁偏转质谱仪magneticdeflectionmassspectrometer：

5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidalfocusingmassspectrometer：

5-7.回旋质谱仪omegatronmassspectrometer：

5-8.飞行时间质谱仪timeofflightmassspectrometer：

6.真空计校准

6-1.标准真空计referencegauges：

6-2.校准系统systemofcalibration：

6-3.校准系数Kcalibrationcoefficient：

6-4.压缩计法meleodgaugemethod：

6-5.膨胀法expansionmethod：

6-6.流导法flowmethod：

4.  1.真空系统vacuumsystem  

1-1.真空机组pumpsystem：

1-2.有油真空机组pumpsystemusedoil：

1-3.无油真空机组oilfreepumpsystem

1-4.连续处理真空设备continuoustreatmentvacuumplant：

1-5.闸门式真空系统vacuumsystemwithanair-lock：

1-6.压差真空系统differentiallypumpedvacuumsystem：

1-7.进气系统gasadmittancesystem：

2.真空系统特性参量

2-1.抽气装置的抽速volumeflowrateofapumpingunit：

2-2.抽气装置的抽气量throughputofapumpingunit：

2-3.真空系统的放气速率degassing（outgassing）throughputofavacuumsystem：

2-4.真空系统的漏气速率leakthroughputofavacuumsystem：

2-5.真空容器的升压速率rateofpressureriseofavacuumchamber：

2-6.极限压力ultimatepressure：

2-7.残余压力residualpressure：

2-8.残余气体谱residualgasspectrum：

2-9.基础压力basepressure：

2-10.工作压力workingpressure：

2-11.粗抽时间roughingtime：

2-12.抽气时间pump-downtime：

2-13.真空系统时间常数timeconstantofavacuumsystem：

2-14.真空系统进气时间ventingtime：

3.真空容器

3-1.真空容器；真空室vacuumchamber：

3-2.封离真空装置sealedvacuumdevice：

3-3.真空钟罩vacuumbelljar：

3-4.真空容器底板vacuumbaseplate：

3-5.真空岐管vacuummanifold：

3-6.前级真空容器（贮气罐）backingreservoir：

3-7.真空保护层outerchamber：

3-8.真空闸室vacuumairlock：

3-9.真空冷凝器；蒸汽冷凝器deviceforcondensingvapor：

4.真空封接和真空引入线

4-1.永久性真空封接permanentseal：

4.2.玻璃分级过渡封接gradedseal：

4-3.压缩玻璃金属封接***pressionglass-to-metalseal：

4-4.匹配式玻璃金属封接matchedglass-to-metalseal：

4-5.陶瓷金属封接ceramic-to-metalseal：

4-6.半永久性真空封接semi-permanentseal：

4-7.可拆卸的真空封接demountablejoint：

4-8.液体真空封接liquidseal  

4-9.熔融金属真空封接moltenmetalseal：

4-10.研磨面搭接封接groundandlappedseal：

4-11.真空法兰连接vacuumflangeconnection：

4-12.真空密封垫vacuum-tightgasket：

4-13.真空密封圈ringgasket：

4-14.真空平密封垫flatgasket：

4-15.真空引入线feedthroughleadthrough：

4-16.真空轴密封shaftseal：

4-17.真空窗vacuumwindow：

4-18.观察窗viewingwindow：

5.真空阀门

5-1.真空阀门的特性characteristicofvacuumvalves：

⑴.真空阀门的流导conductanceofvacuumvalves：

⑵.真空阀门的阀座漏气率leakrateofthevacuumseat：

5-2.真空调节阀regulatingvalve：

5-3.微调阀micro-adjustablevalve：

5-4.充气阀chargevalve：

5-5.进气阀gasadmittancevalve：

5-6.真空截止阀breakvalve：

5-7.前级真空阀backingvalve：

5-8.旁通阀by-passvalve：

5-9.主真空阀mainvacuumvalve：

5-10.低真空阀lowvacuumvalve：

5-11.高真空阀highvacuumvalve：

5-12.超高真空阀；UHV阀ultra-highvacuumvalve：

5-13.手动阀manuallyoperatedvalve：

5-14.气动阀pneumaticallyoperatedvalve：

5-15.电磁阀electromagneticallyoperatedvalve：

5-16.电动阀valvewithelectricallymotorizedoperation：

5-17.挡板阀bafflevalve：

5-18.翻板阀flapvalve：

5-19.插板阀gatevalve：

5-20.蝶阀butterflyvalve：

6.真空管路

6-1.粗抽管路roughingline：

6-2.前级真空管路backingline：

6-3.旁通管路；By-Pass管路by-passline：

6-4.抽气封口接头pumpingstem：

6-5.真空限流件limitingconductance：

6-6.过滤器filter：

5.  1.一般术语

1-1真空镀膜vacuumcoating：

1-2基片substrate：

1-3试验基片testingsubstrate：

1-4镀膜材料coatingmaterial：

1-5蒸发材料evaporationmaterial：

1-6溅射材料sputteringmaterial：

1-7膜层材料（膜层材质）filmmaterial：

1-8蒸发速率evaporationrate：

1-9溅射速率sputteringrate：

1-10沉积速率depositionrate：

1-11镀膜角度coatingangle：

2.工艺

2-1真空蒸膜vacuumevaporationcoating：

（1）.同时蒸发simultaneousevaporation：

（2）.蒸发场蒸发evaporationfieldevaporation：

（3）.反应性真空蒸发reactivevacuumevaporation：

（4）.蒸发器中的反应性真空蒸发reactivevacuumevaporationinevaporator：

（5）.直接加热的蒸发directheatingevaporation：

（6）.感应加热蒸发inducedheatingevaporation：

（7）.电子束蒸发electronbeamevaporation：

.激光束蒸发laserbeamevaporation：

（9）.间接加热的蒸发indirectheatingevaporation：

（10）.闪蒸flashevaportion：

2-2真空溅射vacuumsputtering：

（1）.反应性真空溅射reactivevacuumsputtering：

（2）.偏压溅射biassputtering：

（3）.直流二级溅射directcurrentdiodesputtering：

（4）.非对称性交流溅射asymmtricalternatecurrentsputtering：

（5）.高频二极溅射highfrequencydiodesputtering：

（6）.热阴极直流溅射（三极型溅射）hotcathodedirectcurrentsputtering：

（7）.热阴极高频溅射（三极型溅射）hotcathodehighfrequencysputtering：

.离子束溅射ionbeamsputtering：

（9）.辉光放电清洗glowdischargecleaning：

2-3物理气相沉积PVDphysicalvapordeposition：

2-4化学气相沉积CVDchemicalvapordeposition：

2-5磁控溅射magnetronsputtering：

2-6等离子体化学气相沉积；PCVDplasmachemistryvapordeposition：

2-7空心阴极离子镀HCDhollowcathodedischargedeposition：

2-8电弧离子镀arcdischargedeposition：

3.专用部件

3-1镀膜室coatingchamber：

3-2蒸发器装置evaporatordevice：

3-3蒸发器evaporator：

3-4直接加热式蒸发器evaporatorbydirectheat：

3-5间接加热式蒸发器evaporatorbyindirectheat：

3-7溅射装置sputteringdevice：

3-8靶target：

3-10时控挡板timingshutter：

3-11掩膜mask：

3-12基片支架substrateholder：

3-13夹紧装置clamp：

3-14换向装置reversingdevice：

3-15基片加热装置substrateheatingdevice：

3-16基片冷却装置substratecoldingdevice：

4.真空镀膜设备

4-1真空镀膜设备vacuumcoatingplant：

（1）.真空蒸发镀膜设备vacuumevaporationcoatingplant：

（2）.真空溅射镀膜设备vacuumsputteringcoatingplant：

4-2连续镀膜设备continuouscoatingplant：

4-3半连续镀膜设备semi-continuouscoatingplant

6.  1.漏孔

1-1漏孔leaks：

1-2通道漏孔channelleak：

1-3薄膜漏孔membraneleak：

1-4分子漏孔molecularleak：

1-5粘滞漏孔vixcousleak：

1-6校准漏孔calibratedleak：

1-7标准漏孔referenceleak：

1-8虚漏virtualleak：

1-9漏率leakrate：

1-10标准空气漏率standardairleakrate：

1-11等值标准空气漏率equivalentstandardairleakrate：

1-12探索（示漏）气体：

2.本底

2-1本底background：

2-2探索气体本底searchgasbackground：

2-3漂移drift：

2-4噪声noise：

3.检漏仪

3-1检漏仪leakdetector：

3-2高频火花检漏仪H.F.sparkleakdetector：

3-3卤素检漏仪halideleakdetector：

3-4氦质谱检漏仪heliummassspectrometerleakdetector：

3-5检漏仪的最小可检漏率minimumdetectablerateofleakdetector：

4.检漏

4-1气泡检漏leakdetectionbybubbles：

4-2氨检漏leakdetectionbyammonia：

4-3升压检漏leakdetectionofrisepressure：

4-4放射性同位素检漏radioactiveisotopeleakdetection：

4-5荧光检漏fluorescenceleakdetection

7.  1.一般术语

1-1真空干燥vacuumdrying：

1-2冷冻干燥freezedrying：

1-3物料material：

1-4待干燥物料materialtobedried：

1-5干燥物料driedmaterial：

1-6湿气moisture；humidity：

1-7自由湿气freemoisture：

1-8结合湿气boundmoisture：

1-9分湿气partialmoisture：

1-10含湿量moisturecontent：

1-11初始含湿量initialmoisturecontent：

1-12最终含湿量finalresidualmoisture：

1-13湿度degreeofmoisture,degreeofhumidity：

1-14干燥物质drymatter：

1-15干燥物质含量contentofdrymatter：

2.干燥工艺

2-1干燥阶段stagesofdrying：

（1）.预干燥preliminarydry：

（2）.一次干燥（广义）primarydrying（ingeneral）：

（3）.一次干燥（冷冻干燥）primarydrying（freeze-drying）：

（4）.二次干燥secondarydrying：

2-2.

（1）.接触干燥contactdrying：

（2）.辐射干燥dryingbyradiation：

（3）.微波干燥microwavedrying：

（4）.气相干燥vaporphasedrying：

（5）.静态干燥staticdrying：

（6）.动态干燥dynamicdrying：

2-3干燥时间dryingtime：

2-4停留时间lengthofstay（inthedryingchamber）：

2-5循环时间cycletime：

2-6干燥率dessicationratio：

2-7去湿速率massflowrateofhumidity：

2-8单位面积去湿速率massflowrateofhumiditypersurfacearea：

2-9干燥速度dryingspeed：

2-10干燥过程dryingprocess：

2-11加热温度heatingtemperature：

2-12干燥温度temperatureofthematerialbeingdried：

2-13干燥损失lossofmaterialduringthedryingprocess：

2-14飞尘liftoff（particles）：

2-15堆层厚度thicknessofthematerial：

3.冷冻干燥

3-1冷冻freezing：

（1）.静态冷冻staticfreezing：

（2）.动态冷冻dynamicfreezing：

（3）.离心冷冻centrifugalfreezing：

（4）.滚动冷冻shellfreezing：

（5）.旋转冷冻spin-freezing：

（6）.真空旋转冷冻vacuumspin-freezing：

（7）.喷雾冷冻sprayfreezing：

.气流冷冻airblastfreezing：

3-2冷冻速率rateoffreezing：

3-3冷冻物料frozenmaterial：

3-4冰核icecore：

3-5干燥物料外壳envelopeofdriedmatter：

3-6升华表面sublimationfront：

3-7融化位置freezerburn：

4.真空干燥设备；真空冷冻干燥设备

4-1真空干燥设备和真空冷冻干燥设备vacuumdryingplantandvacuumfreezedryingplant：

4-2真空干燥器和冷冻干燥器vacuumdryingchamberandfreezedryingchamber：

4-3加热表面heatingsurface：

4-4物品装载面shelf：

4-5干燥器的处理能力throughput（ofthevacuumdryingchamber）：

4-6单位面积干燥器处理能力throughputpershelfarea：

4-7冰冷凝器icecondenser：

4-8冰冷凝器的负载loadoftheicecondenser：

4-9冰冷凝器的额定负载ratedloadoftheicecondenser

8.  1.一般术语

1-1试样sample：

（1）.表面层surfacelayer：

（2）.真实表面truesurface：

（3）.有效表面积effectivesurfacearea：

（4）.宏观表面；几何表面macroscopicsurfacearea;geometricsurfacearea：

（5）.表面粒子密度surfaceparticledensity：

（6）.单分子层monolayer：

（7）.表面单分子层粒子密度monolayerdensity：

.覆盖系数coverageratio：

1-2激发excitation：

（1）.一次粒子primaryparticle：

（2）.一次粒子通量primaryparticleflux：

（3）.一次粒子通量密度densityofprimaryparticleflux：

（4）.一次粒子负荷primaryparticleload：

（5）.一次粒子积分负荷integralloadofprimaryparticle：

（6）.一次粒子的入射能量energyoftheincidentprimaryparticle：

（7）.激发体积excitedvolume：

.激发面积excitedarea：

（9）.激发深度exciteddeath：

（10）.二次粒子secondaryparticles：

（11）.二次粒子通量secondaryparticleflux：

（12）.二次粒子发射能energyoftheemittedsecondaryparticles：

（13）.发射体积emittingvolume：

（14）.发射面积emittingarea：

（15）.发射深度emittingdepth：

（16）.信息深度informationdepth：

（17）.平均信息深度meaninformationdepth：

1-3入射角angleofincidence：

1-4发射角angleofemission：

1-5观测角observation：

1-6分析表面积analyzedsurfacearea：

1-7产额yield：

1-8表面层微小损伤分析minimumdamagesurfaceanalysis：

1-9表面层无损伤分析non-destructivesurfaceanalysis：

1-10断面深度分析profileanalysisindepth;depthprofileanalysis：

1-11可观测面积observablearea：

1-12可观测立体角observablesolidangle：

1-13接受立体角；观测立体角angleofacceptance：

1-14角分辨能力angularresolvingpower：

1-15发光度luminosity：

1-16二次粒子探测比detectionratioofsecondaryparticles：

1-17表面分析仪的探测极限detectionlim