洁净室测试方案Word下载.docx
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ISO6
Class1K
1
2
3
A
AirFlowVelocityTest
○
╳
B
FilterLeakageTest
C
AirBorneParticleCountTest
D
IlluminationTest
E
NoiseLevelTest
F
RoomPressurizationTest
G
TemperatureAndHumidityTest
REMARKS:
1.1.AsBuilt;
2:
At-Rest;
3:
Operating
2.○:
L&
KGuarantee.
△:
ForReferenceOnly.
╳:
NoInclude.
3.
CERTIFICATIONOFCLEANROOMPERFORMANCE
（A）.AIRFLOWVELOCITYTEST
A.测试仪器：
1.测量风速及压力组
MAKER:
SHORTRIDGEINSTRUMENTINC.
MODEL:
ADM-870C
ACCURACY：
±
3﹪
2.测量风量组
FLOWHOOD
B.测试步骤：
（1）每块Filter测试9点风速。
（2）测试点置于Filter下方不约6吋（15cm）处量测。
（3）计算每片Filter量测值之平均风速。
C.测试点：
每一Filter之出风表面均需测试。
D.记录：
记录于表格。
E.验收标准：
每一FILTER之风速需符合下列条件：
每只Filter平均风速：
0.35m/s±
20%（0.28-0.42m/s）
90%单点量测值：
1.1200mm×
1200mm风量为0.432CMM。
2.1200mm×
900mm风量为0.324CMM。
3.1200mm×
600mm风量为0.216CMM。
（B）.
FILTERLEAKAGETEST
A.测试仪器:
1.PARTICLECOUNTER
MAKER：
PMS
MODELNO：
LASAIR-110
SPECIFICATION：
SAMPLINGFLOWRATE：
1CFM
PARTICLESIZE：
0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.5,0.7,1.0μm
2.PARTICLECOUNTER
LASAIRⅡ-310A
0.3,0.5,1.0,5.0,10,25μm
3.AEROSOLGENERATOR
PALAS
AGF2.0IP
4.AEROSOLDILUTER
VKL-100S
（1）启动被测漏之FFU，利用ParticleCounter之采样器置于Filter下约2.5-3.0公分左右，以不超过10FPM（0.05M/S）之速率沿着ULPA之表面做有规律扫描。
（2）采样器扫描进行中，需同时观察ParticleCounter之仪表显示值，当侦测到瞬间有4个以上之Particle时，则改以1FPM之速率重新探测，以确定是否有泄漏及泄漏之正确位置。
（3）ULPA是否有泄漏是以ParticleCount所侦测到之数据，经三次重新扫描均超过规范时为研判之依据，停在一定点测时不可有连续泄漏之发生。
（4）如Filter上方之环境条件低于要求浓度时，则以AerosolGenerator增加其浓度，DEHS与纯IPA以1:
9混合产生之Particle使用于Filter。
1.尺寸为1200mm×
1200mm测试时间为4分50秒。
2.尺寸为1200mm×
900mm测试时间为3分45秒。
3.尺寸为1200mm×
600mm测试时间为2分30秒。
4.尺寸为600mm×
600mm测试时间为1分15秒。
记录于表格，需记录泄漏之正确位置。
（1）每一片Filter均不得有泄漏，有泄漏应更新或修补后重新量测。
（2）每一片Filter之单点修补尺寸不得大于Filter表面积之3%。
（3）每一片Filter之修补面积不得大于Filter表面积之5%。
（4）每一片Filter之修补不得超过2点。
（5）每一片Filter之量测数据，
1200mm总和不得大于45颗。
900mm总和不得大于45颗。
600mm总和不得大于30颗。
（C）.
AIRBORNEPARTICLECOUNTTEST
（1）确认洁净室内所有相关之工程
（通风系统、照明系统、过滤系统、天花板、地板、墙板）
均已完成，且已正常运转。
（2）确认测试点之数量及位置。
1.Class10:
每2.3m2取一测量点测量。
2.Class100：
每4m2取一测量点测量。
3.Class1000:
每9m2取一测量点测量。
4.Class10000:
每16m2取一测量点测量。
（3）每点测试时间2×
1分钟。
（4）每一房间至少量测二点。
（5）测量点距离高架地板或地板1.2M-1.5M高处。
测试点依测点位置布置图。
D.
记录：
（1）各单点测试平均值需在规格之内。
（2）CLEANLIESSREQUIREMENT
CleanlinessRequirement
Class10（at0.12μm）≦5#/ft3（≧0.12μm）
Class100（at0.3μm）≦50#/ft3（≧0.3μm）
Class1000（at0.3μm）≦500#/ft3（≧0.3μm）
Class10000（at0.3μm）≦5000#/ft3（≧0.3μm）
（D）.
ILLUMINATIONTEST
A.测试仪器
1.精密照度计
LAIKOCO.,LTD
MODEL：
LX-12
（1）确认测试点之数量及位置：
所有洁净室区域每20m2测试1点。
房间面积≦20m2，至少取两点测量点测量。
（2）日光灯系统连续运转100小时后。
（3）无尘室相关系统至少运转时2小时及温湿度已达稳定状态后。
（4）所有测量点需离高架地板或地板1.2m处测量。
测试点依测试点位置布置图。
E.
验收标准：
（1）各单点测试值需在规格之内。
测量数据为各无尘室设计照度值±
20%
白光区：
400Lux±
20%（320Lux-480Lux）
黄光区：
走道及AirLock区：
照度均一比例2：
1（average:
minimum）
调光区照度：
0-200Lux
（E）.
NOISELEVELTEST
1.积分噪音计
RION
NL-22
0-130dB
（1）
确认测试点之数量及位置:
所有洁净室每40m2测一点或每一独立房间量测二点（≦40m2）。
（2）启动洁净室所有空调设备，但其它设备均为停止状态。
（3）量测高度为高架地板上1.5m之处，离墙最少1m以上。
（4）每点量时间为一分钟。
CleanroomArea测试值小于NC60。
63Hz77dB
125Hz71dB
250Hz67dB
500Hz63dB
1000Hz61dB
2000Hz59dB
4000Hz58dB
8000Hz57dB
（F）.
ROOMPRESSURIZATIONTEST
A.测量仪器
SHORTRIDGEINSTRUMENTSINC.
ADM-870C
2﹪
B.测量步骤：
每一独立房间与相邻房间测试1点（10min.）。
（2）测试时洁净室内所有门均为关闭状态。
（3）利用测量仪器由最内之房间向外逐一测量。
Fab一般区：
+20Pa
SFab一般区：
+10Pa
（G）.
TEMPERATUREANDHUMIDITYTEST
1.多功能温湿度计
AHLBORN
2290-8
±
0.1℃DB
2.0％RH
2.温湿度计
rotronicag
HygroPalm2
0.3℃DB
1.5％RH
3.温湿度记录器
PA20M-SET-HP-E
一、瞬时测定记录温、湿度值
（1）确认HVAC系统测试、调整，平衡完成后24小时开始测试。
（2）确认测试点数量及位置：
所有洁净室区域每20m2测试一点。
洁净室区房间面积≦40m2，至少取两点测量。
（3）测试高度距地面高度1.2-1.5m。
测试点依测试位置布置图。
各区域测试值皆需符合CleanroomRequirement。
（1）TFTC/R：
依各区域Spec.而定。
二、连续测定记录温、湿度值
A．每独立房间至少测量一点。
B．测量点数量配合无尘室室内显示型温、湿度计数量。
C．测量点高度：
1.5M
D.测量时间：
24hr
E.验收标准：
温度：
1℃DB
湿度：
5％RH
A.FEDERALSTANDARD209E:
AIRBORNEPARTICULATECLEANLINESSCLASSESINCLEANROOMSANDCLEANZONES
B.RECOMMENDEDPRACTICEIES-RP-CC-006-84-T:
TESTINGCLEANROOMS
C.RECOMMENDEDPRACTICEIES-RP-006.2:
D.NEBB:
PROCEDURALSTANDARDSFORCERTIFIEDTESTINGOFCLEANROOMS
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