洁净室测试方案Word下载.docx

1、ISO 6Class 1K123AAir Flow Velocity TestBFilter Leakage TestCAir Borne Particle Count TestDIllumination TestENoise Level TestFRoom Pressurization TestGTemperature And Humidity Test REMARKS: 1. 1.As Built ; 2:At-Rest ; 3:Operating 2. :L&K Guarantee. : For Reference Only. : No Include.3.CERTIFICATION O

2、F CLEANROOM PERFORMANCE（A）.AIR FLOW VELOCITY TESTA.测试仪器：1.测量风速及压力组MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC.MODEL: ADM-870CACCURACY：32.测量风量组 FLOWHOODB.测试步骤：（1）每块Filter测试9点风速。（2）测试点置于Filter下方不约6吋（15cm）处量测。（3）计算每片Filter量测值之平均风速。C.测试点：每一Filter之出风表面均需测试。D.记录：记录于表格。E.验收标准：每一FILTER之风速需符合下列条件：每只Filter平均风速：0.35m/s 2

3、0% （0.28-0.42m/s）90%单点量测值： 1.1200mm1200mm风量为0.432CMM。 2.1200mm900mm风量为0.324CMM。 3.1200mm600mm风量为0.216CMM。 （B）.FILTER LEAKAGE TESTA.测试仪器 :1.PARTICLE COUNTERMAKER：PMSMODEL NO：LASAIR-110SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFMPARTICLE SIZE：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0m2.PARTICLE COUNTERLASAIR

4、-310A0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10, 25m3.AEROSOL GENERATORPALASAGF 2.0IP4.AEROSOL DILUTERVKL-100S（1）启动被测漏之FFU，利用 Particle Counter之采样器置于Filter下约2.5-3.0公分左右，以不超过 10FPM（0.05M/S）之速率沿着ULPA之表面做有规律扫描。（2）采样器扫描进行中，需同时观察Particle Counter之仪表显示值，当侦测到瞬间有4个以上之Particle时，则改以 1 FPM 之速率重新探测，以确定是否有泄漏及泄漏之正确位置。（3）ULPA是否有泄漏是以Par

5、ticle Count所侦测到之数据，经三次重新扫描均超过规范时为研判之依据，停在一定点测时不可有连续泄漏之发生。（4）如Filter上方之环境条件低于要求浓度时，则以Aerosol Generator增加其浓度，DEHS与纯IPA以1:9混合产生之Particle使用于Filter。1.尺寸为1200mm1200mm测试时间为4分50秒。2.尺寸为1200mm900mm测试时间为3分45秒。3.尺寸为1200mm600mm测试时间为2分30秒。4.尺寸为600mm600mm测试时间为1分15秒。记录于表格，需记录泄漏之正确位置。（1）每一片Filter均不得有泄漏，有泄漏应更新或修补后重新量

6、测。（2）每一片Filter之单点修补尺寸不得大于Filter表面积之3%。（3）每一片Filter之修补面积不得大于Filter表面积之5%。（4）每一片Filter之修补不得超过2点。（5）每一片Filter之量测数据，1200mm总和不得大于45颗。900mm总和不得大于45颗。600mm总和不得大于30颗。（C）.AIR BORNE PARTICLE COUNT TEST（1）确认洁净室内所有相关之工程（通风系统、照明系统、过滤系统、天花板、地板、墙板）均已完成，且已正常运转。（2）确认测试点之数量及位置。1.Class 10:每2.3m2取一测量点测量。2.Class 100：每4m

7、2取一测量点测量。3.Class 1000:每9m2取一测量点测量。4.Class 10000:每16m2取一测量点测量。（3）每点测试时间21分钟。（4）每一房间至少量测二点。（5）测量点距离高架地板或地板1.2M-1.5M高处。测试点依测点位置布置图。D.记录：（1）各单点测试平均值需在规格之内。（2）CLEANLIESS REQUIREMENT Cleanliness Requirement Class 10 （at 0.12m） 5#/ft3（0.12m） Class 100（at 0.3m） 50#/ft3（0.3m） Class 1000（at 0.3m） 500#/ft3（0.3

8、m） Class 10000（at 0.3m） 5000#/ft3（0.3m）（D）.ILLUMINATION TESTA.测试仪器1.精密照度计LAIKO CO., LTDMODEL：LX-12（1）确认测试点之数量及位置：所有洁净室区域每20m2测试1点。房间面积20m2，至少取两点测量点测量。（2）日光灯系统连续运转100小时后。（3）无尘室相关系统至少运转时2小时及温湿度已达稳定状态后。（4）所有测量点需离高架地板或地板1.2m处测量。测试点依测试点位置布置图。E.验收标准：（1）各单点测试值需在规格之内。测量数据为各无尘室设计照度值 20%白光区：400Lux 20% （320Lux

9、-480Lux）黄光区：走道及Air Lock区：照度均一比例2：1（average:minimum）调光区照度：0-200Lux（E）.NOISE LEVEL TEST1.积分噪音计RIONNL-220-130 dB（1）确认测试点之数量及位置:所有洁净室每40m2测一点或每一独立房间量测二点（40m2） 。（2）启动洁净室所有空调设备，但其它设备均为停止状态。（3）量测高度为高架地板上1.5m之处，离墙最少1m以上。（4）每点量时间为一分钟。Cleanroom Area测试值小于NC 60。63Hz 77dB125Hz 71dB250Hz 67dB500Hz 63dB1000Hz 61dB

10、2000Hz 59dB4000Hz 58dB8000Hz 57dB（F）.ROOM PRESSURIZATION TESTA.测量仪器SHORTRIDGE INSTRUMENTS INC.ADM-870C2B.测量步骤：每一独立房间与相邻房间测试1点（10min.）。（2）测试时洁净室内所有门均为关闭状态。（3）利用测量仪器由最内之房间向外逐一测量。Fab 一般区：+20PaSFab 一般区：+10Pa（G）.TEMPERATURE AND HUMIDITY TEST1.多功能温湿度计AHLBORN2290-8 0.1 DB2.0 RH2.温湿度计rotronic agHygroPalm 20

11、.3 DB1.5 RH3.温湿度记录器PA20M-SET-HP-E一、瞬时测定记录温、湿度值（1）确认HVAC系统测试、调整，平衡完成后24小时开始测试。（2）确认测试点数量及位置：所有洁净室区域每20m2测试一点。洁净室区房间面积40m2，至少取两点测量。（3）测试高度距地面高度1.2-1.5m。测试点依测试位置布置图。各区域测试值皆需符合Cleanroom Requirement。（1）TFT C/R：依各区域Spec.而定。二、连续测定记录温、湿度值A每独立房间至少测量一点。B测量点数量配合无尘室室内显示型温、湿度计数量。C测量点高度：1.5MD. 测量时间：24hrE. 验收标准：温度：1 DB湿度：5 RHA.FEDERAL STANDARD 209E: AIR BORNE PARTICULATE CLEANLINESS CLASSES IN CLEANROOMS AND CLEAN ZONESB.RECOMMENDED PRACTICE IES-RP-CC-006-84-T: TESTING CLEANROOMSC.RECOMMENDED PRACTICE IES-RP-006.2:D.NEBB: PROCEDURAL STANDARDS FOR CERTIFIED TESTING OF CLEANROOMS