三氯氧磷安装使用作业指导书.docx
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三氯氧磷安装使用作业指导书
文件分发明细：
正本（原件）：
■DC文控中心
副本（复制件）：
□AD行政部□CP综合计划部□DC文控中心□DE发展协作部
□DS产品设计与标准化部□ED设备部□EHS环境/健康/安全部
□FI财务部□HR人力资源部□IC内控部□IE工业工程部
□IN信息部□IR投资者关系□LE法律顾问室□LO物流部
□MA市场部□PR工艺部□PU采购部□QU质管部
□MU生产部□MS生产支持部□RD研发中心□SA销售部
□SU监察委员会□PD项目部
其它：
01
版本
Rev.
编写人
Preparedby
编写日期
PreparedDate
审核人
Checkedby
审核时间
CheckedDate
批准人Approvedby
批准日期
ApprovedDate
目录
一.目的…………………………………………………………………………003
二.范围…………………………………………………………………………003
三.职责…………………………………………………………………………003
四.名词定义…………………………………………………………………………003
五.内容…………………………………………………………………………003
六.相关文件…………………………………………………………………………011
七.附录…………………………………………………………………………011
1.目的：
规范操作，为生产车间操作规范化提供依据。
2.范围：
适用于车间扩散工序。
3.职责：
3.1负责三氯氧磷安装使用的生产作业;
3.2负责三氯氧磷出现危险事故的标示、隔离；
3.3负责发现作业过程中设备、工艺异常状况时的反映。
4.名词定义：
无
5.工作程序：
5.1三氯氧磷安装使用示例与操作指导说明
操作人员佩带防毒面具（全面罩），戴橡胶耐酸碱手套，避免产生酸雾，防止酸雾和蒸汽释放到工作场所空气中。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程
从辅料间领取三氯氧磷，搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏
换磷源前的准备
先观察磷源的跟踪卡，是否标记错误
根据卡片所提供的信息，仔细辨认木箱中三氯氧磷的生产日期，看看是否过有效期
打开保险扣，准备取出磷源
轻轻打开木箱
轻轻打开木箱里的第一层泡沫隔垫
小心打开磷源外包装的塑料口袋
轻轻拎起，透过塑料口袋观察源瓶有没有破裂和溢出，
仔细检查磷源的进出气阀门是否接反
从塑料袋中取出源瓶
检查无误后，准备安装三氯氧磷。
一只手轻轻托住源瓶的底部，一只手抓住两个阀门。
用只手轻轻抓住源瓶的两个阀门，慢慢放入恒温箱内
根据导气管的粗细来判断进气和出气，粗的导管为出气，细的的导管为进气，千万不能接反，否则源瓶会爆炸
先安装出气阀，粗的导管。
具体为：
先拧开出气阀上的螺丝，套到导管上，（注意，其中螺丝里有个内套，在安装时不要弄丢了，以免导管密封不好，产生磷源泄露）
把导管插入出气阀，准备拧螺丝
找出进气阀，把细的导管插入进气阀，准备拧螺丝
安装完成后，为了确保安全。
再用两只手轻轻拎起源瓶，再次观察有没有接反导气管
确认无误后，先打开磷源的出气阀
再打开磷源的进气阀，不能开反，否则极易产生源瓶爆炸
磷源完全开启后，就要登记磷源跟踪卡，填写安装人的姓名和安装日期
跟踪卡填写完毕后，放到指定的区域
跟踪卡放置好之后，关门。
把门关好
把已经换下的源瓶放到空的木箱内，具体的拆卸内容是和安装的方法相反，不要弄混淆了
把泡沫放到木箱内，防止空瓶左右抖动
把木箱盖好
空瓶放入木箱后，就要登记磷源跟踪卡，填写拆卸人的姓名和拆卸日期
把跟踪卡，塑料卡套和保险扣，一起挂到木箱上
轻轻托起木箱，准备退到辅料间
把木箱存放到指定的区域
更换三氯氧磷的注意事项：
扩散间——源瓶更换
1、通知当班工艺员，准备更换磷源，工艺员应积极配合，监督并陪同更换磷源全过程；
2、佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）及双层橡胶手套；
3、检查新源瓶有无损坏、裂纹及渗漏，检查进气口和出气口阀门关闭情况；
4、打开气源柜，先关闭源瓶进气阀，再关闭源瓶出气阀；
5、将管路与源瓶断开（逆时针方向转动管路与阀芯之间的螺母，轻轻拔出管路），将源瓶取出恒温箱后放入源瓶储存箱；
6、把经检查后没有问题的源瓶放入恒温箱，接通气路（将管路插入阀门中，顺时针方向拧紧螺母）；
特别注意：
分清楚出气阀和进气阀，进气阀在瓶内连接长管深入液面以下，出气阀则没有。
7、再次确认无误后请工艺员检查并签字确定；
8、依次打开出气阀、进气阀；
9、关闭气源柜。
6.相关文件：
无
7.记录：
无
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