三氯氧磷安装使用作业指导书.docx

1、三氯氧磷安装使用作业指导书文件分发明细： 正本（原件）： DC 文控中心副本（复制件）：AD 行政部 CP 综合计划部 DC 文控中心 DE 发展协作部DS 产品设计与标准化部 ED 设备部 EHS 环境/健康/安全部FI 财务部 HR 人力资源部 IC 内控部 IE 工业工程部 IN 信息部 IR 投资者关系 LE 法律顾问室 LO 物流部 MA 市场部 PR 工艺部 PU 采购部 QU 质管部 MU 生产部 MS 生产支持部 RD 研发中心 SA 销售部 SU 监察委员会 PD 项目部 其它： 01版本Rev.编写人Prepared by编写日期Prepared Date审核人Checke

2、d by审核时间Checked Date批准人Approved by批准日期Approved Date目 录一. 目 的 003二. 范 围 003三. 职 责 003四. 名 词 定 义 003五. 内 容 003六. 相 关 文 件 011七. 附 录 0111. 目的：规范操作，为生产车间操作规范化提供依据。2. 范围：适用于车间扩散工序。3. 职责：3.1负责三氯氧磷安装使用的生产作业;3.2负责三氯氧磷出现危险事故的标示、隔离；3.3负责发现作业过程中设备、工艺异常状况时的反映。4. 名词定义：无5. 工作程序：5.1三氯氧磷安装使用示例与操作指导说明操作人员佩带防毒面具（全面罩），

3、戴橡胶耐酸碱手套，避免产生酸雾，防止酸雾和蒸汽释放到工作场所空气中。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程从辅料间领取三氯氧磷，搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏换磷源前的准备先观察磷源的跟踪卡，是否标记错误根据卡片所提供的信息，仔细辨认木箱中三氯氧磷的生产日期，看看是否过有效期打开保险扣，准备取出磷源轻轻打开木箱轻轻打开木箱里的第一层泡沫隔垫小心打开磷源外包装的塑料口袋轻轻拎起，透过塑料口袋观察源瓶有没有破裂和溢出，仔细检查磷源的进出气阀门是否接反从塑料袋中取出源瓶检查无误后，准备安装三氯氧磷。一只手轻轻托住源瓶的底部，一只手抓住两个阀门。用只手轻轻抓住源瓶的两个阀门，慢慢放入恒温箱内

4、根据导气管的粗细来判断进气和出气，粗的导管为出气，细的的导管为进气，千万不能接反，否则源瓶会爆炸先安装出气阀，粗的导管。具体为：先拧开出气阀上的螺丝，套到导管上，（注意，其中螺丝里有个内套，在安装时不要弄丢了，以免导管密封不好，产生磷源泄露）把导管插入出气阀，准备拧螺丝找出进气阀，把细的导管插入进气阀，准备拧螺丝安装完成后，为了确保安全。再用两只手轻轻拎起源瓶，再次观察有没有接反导气管确认无误后，先打开磷源的出气阀再打开磷源的进气阀，不能开反，否则极易产生源瓶爆炸磷源完全开启后，就要登记磷源跟踪卡，填写安装人的姓名和安装日期跟踪卡填写完毕后，放到指定的区域跟踪卡放置好之后，关门。把门关好把已经

5、换下的源瓶放到空的木箱内，具体的拆卸内容是和安装的方法相反，不要弄混淆了把泡沫放到木箱内，防止空瓶左右抖动把木箱盖好空瓶放入木箱后，就要登记磷源跟踪卡，填写拆卸人的姓名和拆卸日期把跟踪卡，塑料卡套和保险扣，一起挂到木箱上轻轻托起木箱，准备退到辅料间把木箱存放到指定的区域更换三氯氧磷的注意事项：扩散间源瓶更换1、 通知当班工艺员，准备更换磷源，工艺员应积极配合，监督并陪同更换磷源全过程；2、 佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）及双层橡胶手套；3、 检查新源瓶有无损坏、裂纹及渗漏，检查进气口和出气口阀门关闭情况；4、 打开气源柜，先关闭源瓶进气阀，再关闭源瓶出气阀；5、 将管路与源瓶断开（逆时针方向转动管路与阀芯之间的螺母，轻轻拔出管路），将源瓶取出恒温箱后放入源瓶储存箱；6、 把经检查后没有问题的源瓶放入恒温箱，接通气路（将管路插入阀门中，顺时针方向拧紧螺母）；特别注意：分清楚出气阀和进气阀，进气阀在瓶内连接长管深入液面以下，出气阀则没有。7、 再次确认无误后请工艺员检查并签字确定；8、 依次打开出气阀、进气阀；9、 关闭气源柜。6. 相关文件：无7. 记录：无