泛半导体工艺废气治理设备行业分析报告.docx

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泛半导体工艺废气治理设备行业分析报告

2019年泛半导体工艺废气治理设备行业分析报告

2019年10月

大气环保产业链由上游供应链、中游生产链、下游服务链组成。

上游供应链企业主要为中、下游提供原材料；中游生产链主要以设备制造为主，包括VOCs废气净化设备、工业有害气体净化设备装备、烟气脱硫脱硝设备、烟气回收控制技术设备、除尘设备、多污染协同控制装备、烟气重金属回收装置等；下游服务链的主要包括大气环境技术、咨询、运营、贸易与金融服务。

大气环保产业链形成的是自下而上的拉动式消费关系，下游服务链直接面向用户和市场，是满足用户需求的终端，其需求是由满足国家大气污染物总量控制、减排要求和大气环境保护目标而产生的，然后再将需求传递到中、上游。

一、行业管理

1、行业主管部门

行业属于专用设备制造行业中的细分领域，受到国家行业主管部门宏观调控和行业协会自律管理。

本行业主管部门为国家发展与改革委员会、生态环境部、住房和城乡建设部、国家市场监督管理总局及各省市相关部门。

其中，国家发展和改革委员会是环保设备行业的宏观管理职能部门，主要通过研究制定产业政策、提出中长期产业发展导向和指导性意见等履行宏观调控、宏观管理职能，负责节能减排的综合协调工作，组织拟订发展循环经济、全社会能源资源节约和综合利用规划及政策措施。

生态环境部负责全国环境污染防治的监督管理，组织编制环境功能区划分，组织制定各类环境保护标准、基准和技术规范；各级分支机构对环保企业从事环境污染治理设施运营资质进行监管管理。

住房和城乡建设部及各级地方部门负责对行业内企业工程设计业务进行资质管理。

国家市场监督管理总局负责环境质量标准的制定。

本行业自律组织为中国环境保护产业协会和中国环保机械行业协会。

中国环境保护产业协会负责制定环境保护产业的行规行约，建立行业自律性机制，维护行业整体利益；开展全国环境保护产业调查，环境保护技术评价与验证，参与制定国家环境保护产业发展规划、经济技术政策、行业技术标准；组织实施环境保护产业领域的产品认证、技术评估、鉴定与推广。

中国环保机械行业协会是以中国环保机械和资源综合利用装备制造厂商为主干，以及从事科技开发、设计和技术服务的企事业单位自愿组成的跨部门、跨所有制的全国性民间社会经济团体，代表行业利益，维护会员的合法权益，按照行业性、民间性、服务性和公正性的原则，开展行业指导和服务工作。

2、行业主要法律法规

行业需要遵守的通用性的法律法规如下表所示：

3、行业主要政策

《中国制造2025》（国发〔2015〕28号）指出：

“加大先进节能环保技术、工艺和装备的研发力度，加快制造业绿色改造升级”，“组织实施传统制造业能效提升、清洁生产、节水治污、循环利用等专项技术改造”。

《中华人民共和国国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要》（2016年）首次强调加大环境综合治理力度，实行最严格的环境保护制度，强化排污者主体责任，形成政府、企业、公共共治的环境治理体系。

纲要指出：

“培育服务主体，推广节能环保产品，支持技术装备和服务模式创新，完善政策机制，促进节能环保产业发展壮大”，“完善企业资质管理制度，鼓励发展节能环保技术咨询、系统设计、设备制造、工程施工、运营管理等专业化服务”，“增强节能环保工程技术和设备制造能力，研发、示范、推广一批节能环保先进技术装备”。

《“十三五”国家科技创新规划》（国发〔2016〕43号）指出：

“以提供重大环境问题系统性技术解决方案和发展环保高新技术产业体系为目标，形成源头控制、清洁生产、末端治理和生态环境修复的成套技术”。

《“十三五”生态环境保护规划》（国发〔2016〕65号）指出：

“推动低碳循环、治污减排、监测监控等核心环保技术工艺、成套产品、装备设备、材料药剂研发与产业化，尽快形成一批具有竞争力的主导技术和产品。

鼓励发展节能环保技术咨询、系统设计、设备制造、工程施工、运营管理等专业化服务”。

《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》（国发〔2016〕67号）指出：

“大力推进实施水、大气、土壤污染防治行动计划，推动区域与流域污染防治整体联动，海陆统筹深入推进主要污染物减排，促进环保装备产业发展，推动主要污染物监测防治技术装备能力提升，加强先进适用环保技术装备推广应用和集成创新，积极推广应用先进环保产品，促进环境服务业发展，全面提升环保产业发展水平。

到2020年，先进环保产业产值规模力争超过2万亿元”。

《“十三五”节能减排综合工作方案》（国发[2016]74号）指出：

“实施工业污染源全面达标排放计划。

加强工业企业无组织排放管理。

严格执行环境影响评价制度。

实行建设项目主要污染物排放总量指标等量或减量替代。

建立以排污许可制为核心的工业企业环境管理体系。

继续推行重点行业主要污染物总量减排制度，逐步扩大总量减排行业范围。

以削减挥发性有机物、持久性有机物、重金属等污染物为重点，实施重点行业、重点领域工业特征污染物削减计划”。

《“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案》（环大气[2017]121号）指出：

“到2020年，建立健全以改善环境空气质量为核心的VOCs污染防治管理体系，实施重点地区、重点行业VOCs污染减排，排放总量下降10%以上。

通过与NOx等污染物的协同控制，实现环境空气质量持续改善。

”

《工业和信息化部关于加快推进环保装备制造业发展的指导意见》（工信部节〔2017〕250号）指出：

“引导行业差异化集聚化融合发展。

鼓励环保装备龙头企业向系统设计、设备制造、工程施工、调试维护、运营管理一体化的综合服务商发展，中小企业向产品专一化、研发精深化、服务特色化、业态新型化的‘专精特新’方向发展，形成一批由龙头企业引领、中小型企业配套、产业链协同发展的聚集区。

引导环保装备制造与互联网、服务业融合发展，积极探索新模式、新业态，加快提升制造型企业服务能力和投融资能力。

”

二、行业发展情况

1、复合型大气污染形势严峻，“蓝天保卫战”转入持久战

随着城市化、工业化和区域经济一体化的进程加快，我国大气污染正从局部地区、单一的城市空气污染向区域、复合型的大气污染转变，部分地区出现区域范围的重污染现象，京津冀、长三角、珠三角以及其他部分城市群已经表现出明显的区域大气污染特征，并呈蔓延加重趋势，严重制约了区域社会经济的可持续发展，威胁了人民群众的身体健康。

党的十九大提出，将污染防治攻坚战作为决胜全面建成小康社会的三大攻坚战之一，要求坚持全民共治、源头防治，持续实施大气污染防治行动。

2018年6月，国务院发布《打赢蓝天保卫战三年行动计划》，计划指出，到2020年，二氧化硫、氮氧化物排放总量分别比2015年下降15%以上。

2019年3月，国务院政府工作报告指出，2019年能源环境领域的重点之一是持续推进污染防治聚焦蓝天保卫战重点任务。

同日，财政部发布了《关于2018年中央和地方预算执行情况与2019年中央和地方预算草案的报告》指出，2019年财政政策将积极支持污染防治，将打赢蓝天保卫战作为重中之重，中央财政大气污染防治资金安排250亿元，增长25%。

随着国家环境保护政策的密集出台，全国环境污染治理投资总额持续增加，总体呈上升趋势。

2、有效防治工业领域废气成为打赢“蓝天保卫战”的关键之战

2017年11月26日，人民日报刊文《走好新时代的新型工业化之路》，文章指出，到2020年我国将基本实现工业化，2030年前后将全面实现工业化。

坚持绿色发展，努力推进节约资源、保护环境和生态文明不断进步的新型工业化。

走出一条区别于传统工业化模式的新型工业化道路，降低单位工业增加值能耗，减少污染物排放，提高技术制造业和服务业比重，实现工业的绿色低碳发展。

树立和践行绿水青山就是金山银山的理念，切实把生态文明建设融入工业化发展各环节和全过程，建立健全绿色低碳循环发展的经济体系，促进人与自然和谐共生，实现资源消耗低、环境污染少、可持续的工业化。

工业化过程中，制造业产生的废气污染成为大气污染的主要来源。

其中，泛半导体行业作为符合国家产业政策导向和要求的高端制造业，其生产工艺通常是高能耗、高水耗、高频率产生和排放有毒有害污染物的过程，会排放酸性、碱性、有机、有毒和含尘废气等，泛半导体行业的产能扩张与技术进化迭代将持续带动环境保护专用设备制造业市场快速增长。

3、环保设备行业市场空间持续扩容

“十八大”以来，党中央、国务院将环保产业列为战略性新兴产业之一，法律法规、行业政策、行业标准相继出台。

在国家政策的大力支持及环保投资的日益增长下，环保设备行业规模将继续扩大，市场空间持续扩容。

国家统计局数据显示，环保、社会公共服务及其他专用设备制造业的固定资产投资整体呈现出良好的增长态势。

《关于培育环境治理和生态保护市场主体的意见》（发改环资〔2016〕2028号）指出：

“到2020年，环保产业产值超过2.8万亿元。

培育50家以上产值过百亿的环保企业，打造一批技术领先、管理精细、综合服务能力强、品牌影响力大的国际化的环保公司，建设一批聚集度高、优势特征明显的环保产业示范基地和科技转化平台”。

2017年10月，工信部发布《关于加快推进环保装备制造业发展的指导意见》，意见指出，到2020年，环保装备制造行业创新能力明显提升，关键核心技术取得新突破，创新驱动的行业发展体系基本建成；先进环保技术装备的有效供给能力显著提高，市场占有率大幅提升；主要技术装备基本达到国际先进水平，国际竞争力明显增强。

到2020年，环保装备制造业产值达到10,000亿元。

三、行业在主要下游行业中的应用

行业主要为泛半导体、垃圾焚烧发电等存在废气治理需求的下游行业提供废气治理设备及服务，保障下游行业生产经营、实现下游行业的绿色发展。

1、泛半导体行业

（1）光电显示器件、集成电路制造的核心工艺流程及产污情况

光电显示器件是指依靠矩阵点或线段的电子元件控制并激励屏幕发光，呈现信息供视觉感受的器件，主要包含LCD、OLED等。

其中，TFT-LCD的生产工艺流程主要包括阵列、彩膜、成盒和模组工序；AMOLED的生产工艺流程主要包括阵列、蒸镀、切割和模组工序。

TFT-LCD和AMOLED的主要生产工序及主要废气污染物见下表。

集成电路制造的核心工艺流程主要包括：

掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺。

集成电路制造工艺主要废气污染物见下表。

（2）泛半导体工艺废气治理的必要性

泛半导体行业客户生产过程中大量使用湿电子化学品和特殊气体，生产环节持续产生成分复杂的工艺废气。

工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气治理系统及设备是客户生产工艺不可分割的组成部分，其安全稳定性直接关系到客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。

1）影响产能利用率：

泛半导体生产工艺是高度自动化的连续工序，大部分环节对工艺设备的排气压力存在较高要求。

当工艺废气治理系统发生故障，未能同步对工艺废气进行收集、治理和排放时，会导致连续工序中断，直接影响客户产线的稳定运行，从而影响产能利用率。

2）影响产品良率：

泛半导体生产工艺精密度极高，对生产环境的洁净度要求严格，生产过程均在高等级洁净室内进行。

工艺废气自工艺设备进入工艺排气管道后，如因工艺废气治理系统故障导致负压不稳定，或者工艺排气管道泄漏，致使洁净室内空气环境改变，可能导致产品良率下降乃至报废。

3）危及员工职业健康：

泛半导体生产工艺中产生的挥发性有机物及其光化学反应产物等对人体健康有直接危害，通过呼吸道、皮肤等进入人体，导致各种急慢性健康问题，包括粘膜刺激、炎症、心肺疾病和癌症等。

4）破坏生态环境：

泛半导体生产工艺通常是高能耗、高水耗、高频率产生和排放有毒有害污染物的过程，会排放酸性、碱性、有机、有毒和含尘废气等。

酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液刻蚀、清洗过程，碱性废气主要来源于光刻、显影、化学机械抛光等工艺，有机废气主要来源于涂胶、显影工序以及各工序使用有机溶剂清洗过程，有毒有害废气主要来自于化学气相沉积、干法刻蚀和离子注入等工序。

2、垃圾焚烧发电行业

（1）垃圾焚烧发电的产污情况

根据《生活垃圾焚烧污染控制标准》（GB18485-2014），垃圾焚烧主要废气污染物见下表。

（2）垃圾焚烧烟气治理的必要性

垃圾焚烧烟气成分复杂，气体包括二氧化硫、一氧化碳等，烟尘颗粒物包括灰分、无机盐类、重金属氧化物等，危害生态环境，常见的有酸雨、臭氧空洞、温室效应、厄尔尼诺等。

此外，垃圾焚烧后还可能产生剧毒物，如二噁英，威胁人类生命健康。

四、行业市场需求情况及变动趋势

1、环保要求日趋严格，环保行业存量市场基数较大

（1）环境监管趋严

①全国污染源普查

第一次全国污染源普查的标准时点为2007年12月31日，时期为2007年度。

普查对象是我国境内排放污染物的工业污染源、农业污染源、生活污染源和集中式污染治理设施。

普查内容包括各类污染源的基本情况、主要污染物的产生和排放数量、污染治理情况等。

2016年10月26日，国务院印发《国务院关于开展第二次全国污染源普查的通知》（国发〔2016〕59号），决定开展第二次全国范围内的污染源普查。

普查标准时点为2017年12月31日，时期为2017年度，普查对象是中国境内有污染源的单位和个体经营户，加大了工业环保普查的渗透深度和广度。

②中央环保督察

2016年1月4日，中央环保督察组正式亮相。

中央环保督察组由环境保护部牵头成立，中纪委、中组部的相关领导参加，是代表党中央、国务院对各省（自治区、直辖市）党委和政府及其有关部门开展的环境保护督察。

2016、2017年，中央环保督察组用不到两年时间，对全国31个省（区、市）存在的环境问题进行了一次全覆盖式的督察。

2018年5月25日，生态环境部全面启动第一批中央环保督察“回头看”，重点督察各地经党中央、国务院审核的中央环境保护督察整改方案总体落实情况，进一步强化震慑，压实责任，倒逼落实，为打好污染防治攻坚战提供强大助力。

随着环保督查回头看工作的不断推进，环境监管逐步进入常态化。

2019年7月，第二轮第一批中央生态环境保护督察全部实现督察进驻。

③排污许可制度

排污许可制度改革是我国环境管理制度的重大变革。

当前固定污染源仍然是我国污染物排放的主要来源，实施统一公平、覆盖全面的排污许可制度，是落实《生态文明体制改革总体方案》的重要改革举措。

自2016年开始试点，到2017年全面推行，再到2018年迈出实质性步伐，我国逐步形成了“以总量控制为目标、多种污染物综合管理”的现行排污许可制度。

2016年11月，国务院办公厅印发《控制污染物排放许可制实施方案》，明确要将排污许可建设成为固定污染源环境管理的核心制度。

2018年1月，《排污许可管理办法（试行）》正式出台，作为我国排污许可制度的第一个部门规章，规定了排污许可证核发程序等内容，细化了环境保护部门、排污单位和第三方机构的法律责任。

2019年6月，生态环境部印发《重点行业挥发性有机物综合治理方案》（环大气[2019]53号），全面实施排污许可。

对已核发的涉VOCs行业，强化排污许可执法监管，确保排污单位落实持证排污、按证排污的环境管理主体责任。

定期公布未按证排污单位名单。

④环境保护税

2018年1月1日起施行的《环境保护税法》，是落实税收法定原则后的第一部税法，将取代排污费实现“费改税”。

《环境保护税法》明确，大气污染物、水污染物、固体废物和噪声被列为应税污染物。

其中，应税大气污染物包括二氧化硫、氮氧化物、一氧化碳、氯气等。

2018年3月，财政部、国家税务总局、生态环境部联合发出通知，对环境保护税征收过程中的有关问题进行了明确，包括应税大气污染物和水污染物排放量的监测计算问题、应税水污染物污染当量数的计算问题、应税固体废物排放量计算和纳税申报问题、以及应税噪声应纳税额的计算问题等。

综上，国家层面对于环境保护的高度重视，使得环保行业景气度有望保持并持续提升，为环境保护专用设备制造业带来巨大的市场空间。

（2）排放标准趋严

①泛半导体行业

泛半导体行业大气污染物排放尚无具有行业针对性的国家标准，目前执行的是90年代颁布的《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）和《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）等现行国家综合性排放标准。

由于上述规定颁布时间较早，已经难以适应当前和今后我国生态环境保护工作的要求，2018年12月，生态环境部发布《恶臭污染物排放标准（征求意见稿）》及编制说明，同时，部分省市制定了一系列地方标准予以规范，例如上海市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB31-933-2015）和北京市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB11/1631-2019）。

针对泛半导体行业，行业标准陆续出台。

2006年11月，上海市环境保护局联合上海市质量技术监督局发布《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）。

2018年3月，环境保护部联合国家质量监督检验检疫总局发布《电子工业污染物排放标准（二次征求意见稿）》。

2019年6月13日，北京市制定并发布《电子工业大气污染物排放标准》（DB11/1631-2019）。

电子工业生产过程中，设备或车间排气筒排放大气污染物浓度限值如下表所示：

VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置除满足上表规定的限值外，还需对排放烟气中的氮氧化物、二噁英类进行控制，限值如下表所示：

②垃圾焚烧发电行业

《生活垃圾焚烧污染控制标准》首次发布于2000年，2001年第一次修订，2014年第二次修订。

《生活垃圾焚烧污染控制标准》（GB18485-2014）规定了生活垃圾焚烧厂的选址要求、技术要求、入炉废物要求、运行要求、排放控制要求、监测要求、实施与监督等内容。

2017年8月，环境保护部办公厅印发《关于征求<生活垃圾焚烧污染控制标准>（GB18485-2014）修改单（征求意见稿）意见的函》，拟对《生活垃圾焚烧污染控制标准》（GB18485-2014）进行进一步修订。

2、下游产能快速扩张，环保行业增量市场快速增长

下游行业的产能扩张与技术进化迭代带动本行业市场快速增长。

现选取主要下游行业，以其投资规模及其变动趋势来说明环境保护专用设备制造业整体市场需求及变动趋势。

（1）泛半导体行业

①光电显示

2016年11月，《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》（国发〔2016〕67号）指出，要“做强信息技术核心产业，提升核心基础硬件供给能力”，“实现主动矩阵有机发光二极管（AMOLED）、超高清（4K/8K）量子点液晶显示、柔性显示等技术国产化突破及规模应用”。

2017年2月，光电显示器件（新型显示器件）被纳入《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》（2016版）。

国家政策的大力支持将加速光电显示行业产能扩张。

自2010年起，光电显示行业产能逐步由日本、韩国、中国台湾向中国内地转移。

LCD显示器方面，随着以韩国为首的海外企业在LCD高世代线投资的放缓，未来全球新增高世代线建设将以中国内地企业为主导。

OLED显示器方面，中国内地企业在OLED产线的投资规模及布局仅次于韩国，2017年起，国内面板厂商开始大量投资OLED显示器产线。

按照截至2018年12月的产能规划，国内主要面板厂商2018年至2020年OLED面板产线的投资规模将分别达到745亿元、1,115亿元和1,033亿元，包括LCD在内的面板产线投资规模分别将达到1,975亿元、2,365亿元和1,679亿元。

光电显示行业在国家政策和产业转移的驱动下，持续保持高额投入。

光电显示行业环保投资一般占总投资（包括生产设备购置费和工程建设费）的2.5%-3%，其中废气处理投资占比最高，超过1/3。

②集成电路

2014年6月，《国家集成电路产业发展推进纲要》指出，集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，当前和今后一段时期是我国集成电路产业发展的重要战略机遇期和攻坚期。

2014年9月，国家集成电路产业投资基金成立，重点投资集成电路芯片制造业，兼顾芯片设计、封装测试、设备和材料等产业，为行业的发展提供了急需的资金支持。

2017年2月，集成电路被纳入《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》（2016版）。

国家的强力支持与广阔的市场空间将有效催化中国大陆集成电路产业的建设进程。

近年来全球各大集成电路企业，如英特尔、三星、格罗方德、IBM、日月光、意法、飞思卡尔等已陆续在中国大陆建设工厂或代工厂，向中国转移产能。

中芯国际、武汉新芯、长江存储、紫光存储、台积电、晋华集成、华虹半导体等都已在内地多个城市布局12寸晶圆厂。

内资、外资两大阵营纷纷加码中国大陆，建厂投资。

据国际半导体设备与材料产业协会（SEMI）报告预计，2017-2020年间全球投产的半导体晶圆厂为62座，其中26座设于中国，合计占全球总数约42%。

2018-2020年，中国大陆12寸、8寸晶圆厂建设投资将达7,087亿元（其中内资晶圆厂投资达5,303亿元，占比75%），年均投资达2,362亿元（其中内资晶圆厂投资达1,768亿元）。

无论是从国家战略、下游需求还是产业迁移趋势来看，集成电路产业向中国大陆转移已是大势所趋。

集成电路行业环保投资一般占总投资的比例不超过5%。

由于集成电路是资金密集型行业，生产线本身投资巨大，其在环保方面的投入往往达到上千万甚至上亿元人民币。

（2）垃圾焚烧发电行业

近年来，我国垃圾无害化处理结构持续调整，逐步由填埋处理为主向焚烧为主转变。

垃圾处理行业发展初期，我国尚无成熟的垃圾焚烧发电技术，卫生填埋凭借投资运营成本低得到了快速发展。

2006年后，垃圾焚烧发电补贴以及税收优惠等政策相继出台，垃圾焚烧行业快速发展，2008-2017年我国生活垃圾焚烧无害化处理能力从5.16万吨/日增至29.81万吨/日，复合增速达21.52%。

同时随着我国垃圾清运量的持续快速增长，我国垃圾焚烧发电的处理能力尚存巨大缺口，存在较大的市场空间。

根据《“十三五”全国城镇生活垃圾无害化处理设施建设规划》（发改环资〔2016〕2851号），到2020年底全国城镇生活垃圾焚烧处理设施能力占无害化处理总能力50%以上，其中东部地区占60%以上。

“十三五”期间，全国需要建设46万吨/日的新项目，按照目垃圾焚烧项目建设投资成本在40-50万元/（吨/日），“十三五”期间垃圾焚烧建设市场规模约2,085亿元。

焚烧设施的烟气净化系统建设成本是总投资的30-50%。

3、部分下游工艺发展，技术演进产生行业需求

泛半导体行业是一个技术和资金双轮驱动的高端制造业，受到摩尔定律的影响，行业整体呈现产品性能快速发展的态势，背后则是生产工艺的发展和相关技术的进步。

光电显示行业，传统LCD显示屏幕市场增长趋于稳定，采取新型显示技术的OLED显示屏幕市场预计将迎来爆发式增长。

OLED相比LCD，具有厚度小、可视角度大、节能省电、响应时间短、低温特性好等特点，此外OLED显示屏幕能够在不同材质的基板上制造，制成柔性屏产品能够在可折叠手机、可穿戴产品等领域取得广泛应用，有望成为继LCD之后的第三代主流显示技术。

OLED显示技术自发光的特点，决定了其相比LCD，需要在背板段工艺进行更多轮次的成膜、光刻胶涂布、曝光、刻蚀、剥离工序，以叠加不同图形不同材质的膜层以形成驱动电路，为发光器件提供点亮信号以及稳定的电源输入。

背板段工艺为光电显示行业的主要产污来源，工艺循环次数的增加将显著提高工艺废气的排放量，相应的增加工艺废气治理市场需求。

集成电路行业，受摩尔定律深度影响，产品性能和制造工艺快速发展，制程从90纳米、65纳米、45纳米、32纳米、28纳米、22纳米、14纳米，一直发展到现在的10纳米、7纳米、5纳米，行业具备制造工序多、产品种类多、技术换代快、投资大等特点。

薄膜沉积、光刻和刻蚀是集成电路三大核心工艺，反复循环多次。

在摩尔定律的推动下，元器件集成度的大幅提高要求集成电路线宽不断缩小