XRD分析方法.ppt

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材料分析测试方法材料分析测试方法屈树新屈树新西南交通大学西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室材料先进技术教育部重点实验室材料科学与工程学院材料科学与工程学院分析测试中心分析测试中心复习题复习晶体结构的有关知识（固体物理，第一章）。

复习晶体结构的有关知识（固体物理，第一章）。

预习预习X射线衍射（射线衍射（XRD）的原理。

）的原理。

结合本专业查阅文献体会如何根据理论设计、制结合本专业查阅文献体会如何根据理论设计、制备新材料。

备新材料。

物质的结构分析进行物质结构分析方法主要有进行物质结构分析方法主要有3大类大类各种衍射技术各种衍射技术直接和精确测定分子和晶体结构的方法直接和精确测定分子和晶体结构的方法各种光谱技术各种光谱技术红外光谱、激光拉曼光谱、紫外光红外光谱、激光拉曼光谱、紫外光在各种状态测定结构，如液体在各种状态测定结构，如液体分子模拟、量子力学计算分子模拟、量子力学计算现代分析测试材料的结构分析材料的结构分析衍射方法衍射方法X射线衍射射线衍射（X-RayDiffraction，XRD）粉末衍射粉末衍射微区、薄膜微区、薄膜高温、常温、低温衍射仪高温、常温、低温衍射仪四园单晶衍射四园单晶衍射电子衍射（电子衍射（TransmissionElectronMicroscopy，TEM）中子衍射中子衍射穆斯堡谱穆斯堡谱射线衍射射线衍射物质的结构分析测定物质结构的本质测定物质结构的本质某种波，如微波、红外光、某种波，如微波、红外光、X射线射线；或某种粒子或某种粒子,如光子、电子、中子等如光子、电子、中子等试样改变试样中原子或分子的核或电子的某种能态试样中原子解离或电子电离入射波（粒子）的散射、衍射衍射或吸收产生与入射波长不同的波或粒子得到物质结构的信息1010101010101010X射线衍射射线衍射可见和可见和拉曼光谱拉曼光谱97531-1-3-5Wavenumbers能量增加能量增加紫外紫外可见可见近红外近红外远红外远红外微波微波顺磁共振顺磁共振无线电波无线电波Wavelengthinmicrons核转变核转变电子跃迁电子跃迁分子振动分子振动1010101010101010跃迁跃迁-5-3-113579转动转动电磁光谱电磁光谱核磁共振核磁共振红外光谱红外光谱紫外紫外紫外紫外紫外和紫外和拉曼光谱拉曼光谱X射线射线XRD分析方法X-射线物理学基础射线物理学基础X-射线与物质的相互作用射线与物质的相互作用X-射线衍射分析原理射线衍射分析原理X-射线衍射分析应用射线衍射分析应用XRD图谱的物相鉴定图谱的物相鉴定X射线物理学基础射线物理学基础X射线的产生射线的产生德国科学家伦琴，德国科学家伦琴，1895年年使相片底片感光，并有很强的穿透力使相片底片感光，并有很强的穿透力X射线的应用射线的应用科学研究科学研究（XRD）医疗医疗（透视）（透视）技术工程技术工程（无损探伤无损探伤）衍射分析技术的发展与与XX射线及晶体衍射有关的部分诺贝尔奖获得者名单射线及晶体衍射有关的部分诺贝尔奖获得者名单X射线物理学基础射线物理学基础X射线的本质射线的本质电磁波电磁波，波长较短，一般在，波长较短，一般在0.050.25nm;劳厄，劳厄，1914年，晶体衍射实验；年，晶体衍射实验；X射线具有射线具有波粒波粒二相性二相性衍射：

可见光衍射：

可见光一定能量的一定能量的光量子流光量子流h:

普朗克常数普朗克常数6.62634JSE:

能量；能量；P：

动量：

动量X射线物理学基础射线物理学基础X射线物理学基础射线物理学基础X射线的产生射线的产生原子内的电子分布在一系列量子化的壳层上，按原子内的电子分布在一系列量子化的壳层上，按K、L、M、N递增；递增；最内层的能量最低最内层的能量最低某层电子的能量某层电子的能量当冲向阳极靶的电子具有足够能量将内层电子击当冲向阳极靶的电子具有足够能量将内层电子击出成为自由电子（二次电子）；出成为自由电子（二次电子）；原子：

高能的不稳定原子：

高能的不稳定自发向稳态过渡：

自发向稳态过渡：

X射线物理学基础射线物理学基础X射线的产生射线的产生K层出现空位，层出现空位，K激发态；激发态；L层跃迁至层跃迁至K层，层，L激发态；激发态；E=EE=ELL-E-EKK,能量差以能量差以X射线光射线光量子的形式辐射出来；量子的形式辐射出来；KL层有能量差别很小的亚能级，层有能量差别很小的亚能级，K1、K2特征特征X射线射线X射线物理学基础射线物理学基础靶试样X射线物理学基础射线物理学基础物质的结构分析测定物质结构的本质测定物质结构的本质某种波，如微波、红外光、某种波，如微波、红外光、X射线射线；或某种粒子或某种粒子,如光子、电子、中子等如光子、电子、中子等试样改变试样中原子改变试样中原子或分子的核或或分子的核或电子的某种能态电子的某种能态试样中原子解离试样中原子解离或电子电离或电子电离入射波（粒子）的入射波（粒子）的散射、散射、衍射衍射或吸收或吸收产生与入射波长产生与入射波长不同的波或粒子不同的波或粒子得到物质结构得到物质结构的信息的信息多晶粉末衍射分析多晶粉末衍射分析multiplecrystalpowderdiffractionanalysis在入射在入射X光的作用下，原子中的电子构成多个光的作用下，原子中的电子构成多个X辐射源，以辐射源，以球面波向空间发射形成干涉光；球面波向空间发射形成干涉光；强度与原子类型、晶胞内原子位置有关；强度与原子类型、晶胞内原子位置有关；衍射图：

晶体化合物的衍射图：

晶体化合物的“指纹指纹”；多晶粉末衍射法：

测定晶体的结构；多晶粉末衍射法：

测定晶体的结构；单色单色X射线源射线源样品台样品台检测器检测器X射线衍射方程射线衍射方程晶体的点阵结构是一致互相平行且等距离的晶体的点阵结构是一致互相平行且等距离的原子平面原子平面衍射的基础衍射的基础晶体的晶体的周期性周期性和和对称性对称性衍射光束服从反射定律衍射光束服从反射定律反射光线在入射平面中，反射角等于入射角反射光线在入射平面中，反射角等于入射角则这组晶面所反射的则这组晶面所反射的X射线，只有当其光程差是射线，只有当其光程差是X射线波长的整数倍时才相互增强，出现射线波长的整数倍时才相互增强，出现衍射衍射2dhklsinn2dhklsin光程差光程差BDBF2dhklsinn;只有当只有当d、和和满足布拉格方程式时才能发生衍射。

满足布拉格方程式时才能发生衍射。

d:

面间距；面间距；：

入射线（反射线）与：

入射线（反射线）与晶面的夹角；晶面的夹角；：

入射光的波长，：

入射光的波长，Cu靶：

靶：

k1=1.54060,k2=1.54443；n：

整数，反射的级数：

整数，反射的级数晶面组布拉格方程的讨论布拉格方程的讨论反射反射衍射衍射镜面可以任意角度反射可见光镜面可以任意角度反射可见光XX射线只有满足布拉格方程的射线只有满足布拉格方程的角上才能发生角上才能发生反射，因此，这种反射亦成为选择反射。

反射，因此，这种反射亦成为选择反射。

晶面间距晶面间距d,d,掠射角掠射角，反射级数，反射级数n,n,和和XX射线的射线的波长波长四个量，已知三个量，就可以求出其四个量，已知三个量，就可以求出其余一个量。

余一个量。

布拉格方程的讨论布拉格方程的讨论（100）晶面发生二级衍射晶面发生二级衍射2d100sin2假设在每两个（假设在每两个（100）中间均插一个原子分中间均插一个原子分布与之完全相同的面，布与之完全相同的面，晶面指数（晶面指数（200）（200）的面间距是）的面间距是d/22d100sin2（2d200）sin=22d200sin（hkl）的的n级衍射可看作级衍射可看作（nhnknl）的一级衍射的一级衍射布拉格方程的讨论布拉格方程的讨论sin/（2d）一定一定时，d减小，减小，将增大；将增大；面面间距小的晶面，其掠射角必距小的晶面，其掠射角必须较大大掠射角的极限范掠射角的极限范围为0-90，但过大或过小都会造成衍射的探测困难石英的衍射仪计数器记录图（部分）石英的衍射仪计数器记录图（部分）*右上角为右上角为石英的德拜图，衍射峰上方为（石英的德拜图，衍射峰上方为（hklhkl）值，值，应用应用已知波长的已知波长的X射线，测量未知的晶体的面间距，射线，测量未知的晶体的面间距，进而算出其晶胞参数进而算出其晶胞参数结构分析（结构分析（XRD）已知，测角，计算d；根据标准卡片，判断其物相（晶体结构）根据d=f（h,k,l,a,b,c,）可计算晶胞参数已知面间距的晶体来反射从样品发射出来的已知面间距的晶体来反射从样品发射出来的X射射线，求得线，求得X射线的波长，确定试样的组成元素射线的波长，确定试样的组成元素X射线能量色散谱仪射线能量色散谱仪（EDS,EDAX）已知d的晶体（单晶硅），测角，得到特征辐射波长，确定元素，特征X射线分析的基础X射线衍射射线衍射（单晶或单晶或多晶多晶）晶体与晶体与x射线所产生的衍射作用射线所产生的衍射作用衍射斑点或衍射斑点或谱图谱图分析分析晶体结构晶体结构确定晶体所属的确定晶体所属的晶系（物相鉴定）晶系（物相鉴定）、晶体的晶胞参数、晶体的晶胞参数、晶粒尺寸的大小、结晶度、薄膜的厚度和应力分布晶粒尺寸的大小、结晶度、薄膜的厚度和应力分布等等X射线衍射射线衍射实际的衍射谱上并非只在符合实际的衍射谱上并非只在符合Bragg方程的方程的2处出现强处出现强度，在度，在2的附近也有一定的衍射强度分布，成峰状，也的附近也有一定的衍射强度分布，成峰状，也叫叫衍射峰衍射峰。

符合符合Bragg方程的方程的2处为处为峰顶峰顶。

可以根据峰的可以根据峰的位置位置、数目数目和和强度强度得到试样的结构信息。

得到试样的结构信息。

X射线衍射可以得到的信息射线衍射可以得到的信息物相鉴定物相鉴定定性定性定量定量晶胞参数的确定晶胞参数的确定晶面的择优取向生长晶面的择优取向生长结晶度的测定结晶度的测定晶粒尺寸的测定（谢乐公式晶粒尺寸的测定（谢乐公式）膜厚的测定膜厚的测定薄膜的应力分布薄膜的应力分布物相分析X射线衍射鉴别样品中的物相射线衍射鉴别样品中的物相石墨和金刚石石墨和金刚石Al2O3有近有近20中结构中结构化学分析、光谱分析（化学分析、光谱分析（AAS）、）、X射线光电子能射线光电子能谱（谱（XPX）、俄歇电子（）、俄歇电子（AES）、二次电子能谱）、二次电子能谱（SIMS）、）、X射线能谱仪（射线能谱仪（EDS）等）等试样的元素组成试样的元素组成物相分析物相：

物相：

纯元素、化合物和固溶体组成的晶相纯元素、化合物和固溶体组成的晶相分析的试样一定有分析的试样一定有结晶结晶物相分析物相分析材料、冶金材料、冶金机械、化工机械、化工地矿、环保地矿、环保医药、食品等医药、食品等粉末衍射卡片粉末衍射卡片2d晶体结构（晶体结构（a,b,c）卡片：

一系列的卡片：

一系列的dhkl对应的强度对应的强度标准衍射图谱2dhklsin国际通用的标准粉末数据卡（国际通用的标准粉末数据卡（JCPDS）及及PCPDFWIN软件（软件（PDF）进行检索）进行检索化学式英文名实验条件晶体学数据来源制备等面间距衍射强度晶间指数PCPDFWIN软件（软件（PDF）X射线衍射可以得到的信息射线衍射可以得到的信息1、物相鉴定物相鉴定1.1定性定性当当X射线通过晶体时，每一种结晶物质都有自己的射线通过晶体时，每一种结晶物质都有自己的独特独特的的衍射花样，衍射花样，多种物质以混合物存在时，它的衍射数据多种物质以混合物存在时，它的衍射数据d不会改变（与不会改变（与红外不同）红外不同）避免漏确定一些含量较少的物相的衍射峰避免漏确定一些含量较少的物相的衍射峰衍射峰衍射峰的位置的位置2晶面的晶面的面间距面间距dhkl衍射峰的衍射峰的相对强度相对强度对照标准衍射图对照标准衍射图谱可以判断该物质谱可以判断该物质根据布拉根据布拉格方程格方程衍射峰的衍射峰的数目数目检索字母检索字母检索估计试样中可能的数种物相估计试样中可能的数种物相通过其英文名称将有关卡片找出通过其英文名称将