捷佳伟创扩散炉炉门保压改善杜林立.ppt

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捷佳伟创扩散炉炉门保压改善报告捷佳伟创扩散炉炉门保压改善报告杜林立杜林立捷佳伟创扩散炉改造前现状捷佳伟创扩散炉改造前现状改造方案改造方案改造成果与总结改造成果与总结捷佳伟创扩散炉目前在清洗炉管后需做保压至正压600以上已保证炉管的密闭性。

这需要设备人员每次手动调节固定炉门螺丝使炉门位置定位满足保压要求。

改造前现状改造前现状保压要求至正压600以上需手动调节红圈中固定炉门螺丝使炉门位置定位满足保压要求改造前现状改造前现状在实际运行中发现设备调节后炉门连续保压持续时间短，一般运行一段时间后炉门位置即发生位置偏移，保压不能满足工艺保压要求。

同时也造成了炉门密封性差导致炉口硅片的返工。

炉门偏移严重的将造成炉管炉口和炉门的碰撞碎裂。

针对此现象调节控制炉门旋转和平移气缸运行速度快慢的气流调节阀，使其能平稳进行开关的动作，减少对炉门的机械惯性冲击，避免造成定位位置发生偏移。

改造方案改造方案旋转气缸及调节阀平移气缸及调节阀平移气缸的前机械限位黏增一层软海绵，增加缓冲，降低关闭炉门时炉门与石英炉管间的撞击力，使两者更好贴合增加了炉门的密封性和保压，同时也防止了炉门与石英炉管的碰撞碎裂。

改善前改善前改善后改善后改造方案改造方案改造方案改造方案将改善后的平移气缸前机械限位进行位置调整后安装在平移气缸导轨上改造成果与总结改造成果与总结改善前我们选取一根炉管J19-2做试验。

其在11月20日洗管调节保压后压力如下表所示：

日期11.2011.2111.2211.2311.2411.2511.26保压压力621615612613605601587由表中可以看出J19-2洗管调节保压后压力持续在600标准以上只有5天时间改造成果与总结改造成果与总结改善后J19-2在3月5日再次洗管调节保压后的压力数据如下表所示：

由表中可以看出J19-2洗管调节保压后压力持续在600标准以上可以延长至20天以上日期3.53.63.73.83.93.103.113.123.133.143.153.163.173.183.193.203.213.223.233.243.25保压压力632630630626626624623622622620619619618617616616612612610608602改造成果与总结改造成果与总结通过以上数据对比可以看到该改善起到了一定延长炉门持续保压时间减少硅片返工的目的。

在此之外亦能起到防止炉门与石英炉管碎裂的作用。

该改善可运用于三四五车间所有捷佳伟创扩散炉。

目前三四五车间共有捷佳伟创扩散炉28台共112管。

按每管因为保压异常导致200片返工计算可一次减少112X200=22400片硅片返工。

按每片硅片返工0.25元计算，一年一次可节省22400X0.25=5600元。

炉门与石英炉管炉口碎裂按目前三四五车间三个车间一年炉门碎裂40个，石英炉管碎裂返修50根。

炉门一个采购约3000元，炉管炉口返修费用600元计算。

可得出一年可节省40X3000+50X600=150000元。

两者相加可得出一年可节省费用5600+150000=155600元，平均每月约为13000元。

谢谢！

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