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esd实验室规范

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esd实验室,规范

　　篇一：

esd控制作业标准书

　　杭州安费诺飞凤通信部品有限公司

　　作成日期：

20xx年12月24日

　　esd控制作业标准书

　　1、目的：

　　提供一个静电放电控制方案计划，包括行政及技术上的要求，以及建立、实施和维护静电放电控制方案。

对esd系统的计划、培训、符合验证以及静电放电控制方案计划的技术要求提供指引。

通过本控制程序对各单位所涉及的静电放电控制提出具体要求。

努力辨认和消除缺陷，并防止缺陷的出现从而达到减少与静电放电损害相关联的成本与危险。

　　2、范围：

　　适用于来料、制程、包装等过程。

　　3、定义：

　　esd——electrostaticdischarge通过直接接触或通过静电场感应而产生的在带有不同电势的物体间的电荷转移现象。

　　esds——electrostaticdischargesensitivedevice在操作、测试或运输过程中有可能被静电电场或静电放电损坏的装置，包括单个的器件、集成电路或成品等。

　　epa——esdprotectedarea用于以可接受的静电放电损害风险水平操作静电敏感器件的区域ebp——epagroundboundingpoint

　　hbm——humanbodymodel人体模型

　　接地——潜在带电体与大地相连并使其处于同样的电位接地点——可用于连接到地的接入点

　　导电材料——表面电阻≥1x102欧姆＜1x105欧姆之间的材料（根据iec61340定义）耗散材料——表面电阻≥1x105欧姆＜1x1011欧姆之间的材料绝缘材料——表面电阻≥1x1011欧姆的材料

　　4、程序：

4.1培训

　　所有雇员都需要接受其本esd基本介绍培训，包括不需要直接操作静电敏感器件的人员但有需要进入epa并通过不同渠道接触到防静电敏感器件。

此类人员包括管理人员、文职人员、维护保养人员、清洁人员及保安等。

对直接操作静电敏感器件的人员应该接受如何安全、恰当地操作静电敏感器件的esd培训，包括esd基本介绍、esd器件操作方法及防静电保护方法等。

对设备安装及验证、培训部人员、esd审核员、物料或设备采购人员应该接受包括esd基本控制原理、esd材料划设备的选择及测试、esd20.20等培训。

　　4.2epa的esd控制方法及要求

　　4.3esd符合性验证

　　4.3.1esd控制/测试设备

　　esd控制/测试设备应定期校准以确保其处于有效使用状态下。

使用中的esd材料、设备需要定期进行维护及测试以使其满足表4.7.1的要求。

　　应该根据表4.7.1选用合适的设备进行测试。

用于esd验证的测试设备每年都应当进行校准，或根据设备制造商或校准实验室的指示进行校准。

校准记录应当根据公司程序进行保存。

4.3.2符合性验证频率

　　表

　　区域静电防护checklist》，相关测试结果记录在《接地电阻定期点检表》内，并存档保存。

4.3.3测试方法

　　测试方法参照表4.7.1及相应测试指引

　　4.3.4验证不符项记录

　　个人防静电防护设备，如防静电手腕带、防静电工鞋等测试不通过时应该直接向主管报告并在测试记录表上记录epa内的设备如工作台、地板、手推车等有测试不良时应由测试员记录详细情况并发给相关部门要求限期改善。

　　4.4技术要求

　　4.4.1接地系统

　　所有处于epa内的导体包括人都必须通过良好接地。

4.4.1.1工作台接地

　　工作台在设计、装配时就必须考虑到esd保护问题，工作台所包括的所有部件，包括表面、电气设备的金属外壳和电动工具等都必须保持良好接地，使其对地电势差为零。

每台工作台都应该分别接地，如果一张工作台上有多于一张防静电席在使用，则每张防静电席都应该分别接地。

4.4.1.2接地线

　　用于接地所用的接地线应该有足够强度，以不易于断裂或松脱为准。

线与线之间的接合外应该用焊接或专用夹子进行连接。

同时在安装接地线时应该考虑布线设计避免使用中的机械损伤。

在接地线与接地点连接时应该使用足够稳固的连接方式，如香蕉头等。

在设备、工作台或接地线与接地点的连接过程中不允许使用鳄鱼夹。

4.4.1.3移动设备接地

　　对需要经常移动的设备，如手推车等，可以使用接地链接地，接地链要求与地板接触长度不小于15厘米，并且接地链与设备的连接处必须使用邦定或焊接方式连接4.4.1.4人体接地

　　当工作人员处于epa时，必须时刻处于接地状态。

当坐在工作台前操作时，应该使用防静电手腕带接地，站立操作的操作员可以使用防静电工鞋或防静电鞋带/套达到接地目的。

进入epa区域之前必须确认接地腕带以及静电鞋的有效性，确认方法参考《人体综合电阻测试仪sop》。

　　备注1：

防静电鞋、鞋带或鞋套只有在人员处于站立状态时才能充分发挥作用。

当人员坐下时，因为人体施加于防静电鞋、鞋带或鞋套的压力减小导致与地板接触不够从而导致该种接地方式并不能完全起到防静电作用。

所以，坐下时必须使用防静电手腕带。

　　备注2：

无线防静电手腕带的作用距离与作用效果均与有线防静电手腕带相差甚远，并且无线防静电手腕带主要是通过与空气进行电荷中和的方式来进行esd防护，所以在没有离子系统的情况下不建议使用无线防静电手腕带。

　　4.4.2epa（静电放电防护区）

　　所有开封后或没有适当防护装置的esds只能在受控的epa中操作或处理。

　　4.4.2.1esds处理区识别

　　警示符号或警告信息应在epa入口处清晰可见。

4.4.2.2进入epa

　　只有受过培训并正确着装esd防护设备的人员才被允许进入epa。

当有访客需要进入epa时，受过培训的人员同时应该将相关esd信息向来访者进行传达并要求访客遵守esd政策。

4.4.2.3湿度控制

　　epa区域内的湿度应该被控制在系统要求的范围之内，epa区域内的相对湿度建议保持在40%到70%之间。

一量出现超标，应该马上采取措施使湿度恢复到可接受水平。

4.4.2.4个人防静电设备

　　进入epa时必须使用下列esd防护设备：

所有人都需要穿着esd工衣

　　需要坐着操作的人员需要使用防静电手腕带

　　防静电工鞋、鞋套或鞋带（如地板为非防静电地板须使用防静电手腕带）4.4.2.5必要的绝缘物操作epa内的绝缘物操作、使用是受限的。

如果epa操作区内使用的非导电材料的磨擦电压不能在当前接地系统中迅速耗散（2秒内由1000V耗散至100V），则应该考虑使用离子风机来中和电荷。

如因实际需要操作中的绝缘物需要接近esds小于30厘米时，应该使用下列方法避免esd损害：

换用静电放电安全材料使用离子风机

　　在工作台上划定区域并以醍目的标记、警告信息提醒操作员注意潜在的esd损害4.4.2.6禁止事项

　　下列各项不允许在epa中使用饮品包装（如聚苯乙烯杯）食品包装

　　个人物品（如随身听、手机等）非防静电透明胶带等。

4.3.2.7esd政策或警告

　　esd政策或警告应张贴在进入epa处的醒目位置

　　4.5防静电材料

　　用于直接与esds接触的材料，包括原材料、工具和包装材料等，应该使用导电材料或者耗散材料或者抗静电材料，下表所示为各种防静电材料的分类标准表

　　4.5.1防静电材料测试

　　表面电阻测试方法应该遵循esdstm11.11的方法进行测试，可参照表4.7.1列出的值

　　4.6设备

　　4.6.1工作台表面

　　工作台表面最好使用静电桌皮进行防护。

建议使用直接对地接地系统，接地系统中可能会在静电桌皮到接地点间使用电阻使其点对地电阻达到要求。

其表面电阻应该在1x106欧姆到1x109欧姆之间，见表4.7.1

　　4.6.2防静电地板

　　防静电地板应该直接对地接地，点对地电阻应该满足表4.7.1要求，如地板不能达到防静电要求，也可以使用防静电地毡接地来满足使用要求。

　　4.6.3非固定工作椅

　　epa中使用的工作椅应该使用导电轮或者拖地链接地，其各层对地电阻应该满足表4.7要求，对使用非金属轮的椅子必须使用拖地链接地。

拖地链与地板接触的长度要求不小于15厘米。

对于使用金属轮的椅子需要定期清洁轮子上的脏物，并建议定期在轴承中添加导电树脂。

　　4.6.4塑料工具

　　对于带绝缘手柄或使用绝缘材料的工具如切钱钳、尖嘴钳等，通常是依赖于接地的工作台面或操作员的防静电设备达到接地的目的，对于金属工具表面的塑料部件通常不作esd问题考虑，因为其很难聚积电荷或造成esd事故。

如果需要在操作esd敏感度为hbm　　4.6.5周转箱

　　epa内使用的周转箱类应该由导电材料或者永久性耗散材料构成。

此类周转箱只能用于在epa内进行esds的转运和临时存储。

其表面电阻应该满足表4.7.1的要求。

　　4.6.6显示器

　　只允许使用不产生静电的显示器，多数lcd显示器能满足此要求。

对于旧式cRt显示器可以表面喷涂防静电液。

　　4.6.7固定货架

　　固定货架需要直接接地，有的货架会使用塑胶部件来固定，对于此类货架必须每层接地。

其点　　

对地电阻应满足表4.7.1的要求。

　　篇二：

防静电检测规范

　　防静电检测规范

　　目录

　　1、目的：

........................................................................................错误！

未定义书签。

　　2、适用范围：

.................................................................................错误！

未定义书签。

　　3、定义............................................................................................错误！

未定义书签。

　　4、职责............................................................................................错误！

未定义书签。

　　5、程序...........................................................................................................................2

　　6、相关文件和记录.......................................................................................................12

　　7、附录.........................................................................................................................12

　　5、程序

　　5.1测试方法：

　　5.1.1测试环境：

　　环境温度23±5℃，相对湿度40%～70%。

　　5.1.2测试仪器使用方法

　　5.1.2.1静电场测试仪（tRek520）

　　静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有2个按键：

“poweR”、“Range/zeRo”、“hold”,

　　按“poweR”键开机/关机。

该仪器有两个量程：

0~2kV、0~20kV,可通过按

　　“Range/zeRo”键进行切换。

当显示3位小数时，量程范围为0~2kV；当显示2

　　位小数时，量程范围为0～20kV。

　　每次测试时都应进行读数清零工作，方法为：

将sensor对准一个已知的电压

　　为0V的导体上，按“Range/zeRo”键至少3秒钟。

　　为保证测试值的准确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。

测试前，

　　先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥的硬纸板），手持干燥并干净的棉布以每

　　分钟120次的速度，施加适当的压力（2～4千克力），单向摩擦待测物表面20

　　次，然后用仪器测量电压（senor距离被测物表面的距离为2.54cm及两个红灯

　　重合在一起），将显示的读数乘以1000即得实际的电压值，例如读数为“.018”

　　，

　　则实际电压为18V。

　　5.1.2.2表面电阻测试仪（acl-385）

　　acl-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据标准不变，测试时将被测物放于

　　绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在材料表面上，手指施加适当压力（2～

　　4kg）于测试按钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即为读

　　数。

如果被测材料为软性材料，可施加4～6kg的压力进行测试。

　　5.1.2.3接地电阻测试仪（emi-20780）

　　emi-20780可以测试点对点电阻（Rtt）,接地电阻（Rtg）、体积电阻,和表面

　　电阻率,配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为:

1x103-

　　1012；测试电压为:

10V或100V+/-5%；测试精度为:

+/-10%;测试时间为15秒；

　　测试时：

把2条连接线分别插入测试表上端的“a”插口,注意白色连接线和黑色

　　连接线的插头不同,不要插错.然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极；按下

　　“d”测试按键15秒,这时lcd屏幕按顺序显示如下:

　　华氏温度

　　摄氏温度

　　相对湿度

　　电阻值

　　所采用的测试电压

　　电阻测试结果由“b”显示屏和“c”冥数led指示灯共同显示,例如电阻值为175，

　　000，000Ω,显示如下:

　　1.75显示在“b”显示屏上,同时“c”led指示灯的8会亮,表示测试结果为:

1.75x108Ω。

如果lcd显示屏显示“1____”,说明超过该仪器测试范围。

　　测试电压为10V或100V,按下“F”键,采用10V电压测试,如果不按下“F”键,仪器会根据不同测试材料自动选择测试电压.阻值在105Ω以下时采用10V测试电压,阻值在106Ω以上时采用100V测试电压

　　5.1.2.4人体综合电阻测试（腕带测试、鞋测试）

　　测试步骤：

　　1.员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确，静电鞋鞋底干净，穿戴正

　　确。

左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将防静电

　　手腕插入静电测试仪面板的手环插口。

　　2.扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同时仪器的lcd面板提示“请您

　　按下测试键”。

手指按下测试键，（确保手指与按钮金属键的完全接触）

　　开始测试，3秒后仪器将测试完毕。

　　3.如果受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同时仪器的lcd面板显示“通

　　过”，如果测试不合格，仪器“嘟嘟嘟嘟…”短响8声，同时仪器的lcd面

　　板显示“不通过”。

不通过时可连续测试4次，若还是不合格，员工立即

　　到ipqa处更换。

　　4.ipqa应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。

　　5.1.2.5接地桩电阻测试仪（zc29b型号）

　　1.沿被测接地极e’使电位探棒p’和电流探棒c’依直线彼此相距20米，且电位探棒p’系在e’和c’之间。

　　2.e端钮接5m导线，p端钮接20m导线，c端钮接40m导线。

　　3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零位。

　　4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指针指“0”。

　　5.当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟150转。

再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。

　　6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得正确读数。

　　7.当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个e端的联结片打开，分别用导线联接到被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。

　　8.当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏度过低时，可沿探棒注水使其湿润。

　　5.1.2.6离子风机测试仪（3m-718/3m-718a）

　　1、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718a）金属

　　端相连接，同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“hold”键，测试仪显静电值应大于“+1000V”。

　　2、在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显

　　示值应大于-40V小于+40V。

　　3、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718a）金属

　　端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“hold”键，测试仪显静电值应小于“-1000V”。

　　4、离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显示

　　值应大于-40V小于+40V。

　　5、在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。

　　注意：

要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V

　　5.1.2.7手腕监视器电容测试仪（saml1800）：

　　篇三：

综合的esd实验室

　　综合的esd实验室

　　综合的esd实验室应该是车间里完成esd工作操作的基础。

设备必须是通用的，可以被技术人员，esd处理者使用。

一般来说，设备比领域审查所需要的更为复杂。

一些设备是便携的，而其他的一些是固定的。

如果有需要，这个实验室的便携式设备可以安装在另一个车间，用在这个车间执行一系列的实验，测试，证明和离子检测。

　　如果可能，实验室应该处于与其他实验室设备分离的一个区域，应该装配有电脑/终端，静电耗散支路，储存阁，水槽，排气装置，氮，静态平面和耗散板。

同时也应该装配一些标准设施例如，电，水，真空，氮和高压干燥空气。

下面这张清单是用在一般实验室的测试设备：

　　带有打印机的充电板监视器

　　充电分析器

　　esd模拟器

　　人体模型（hbm）

　　带电装置模型（cdm）

　　攻击者

　　带有两个nFpa探针的大范围欧姆表或高阻表。

　　埋藏检测器层

　　带有控制湿度的静态衰减时间检测器

　　温度/湿度表

　　温度/湿度记录器

　　离子风机

　　离子电流表和剩余伏特计

　　sRm/Rtg表

　　静态电压表

　　人员电压检测器

　　振幅和/或轨迹

　　能量供应—以1000兆欧电阻改善在导向带电人员或材料。

可以从0调至7000伏特的最低值

　　esd监视器

　　esd事件检测器

　　接地车厢

　　审核员工具箱