HDI板的MI制作及工艺要求Word格式.docx

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23、内层电镀后收缩比例预放....................13.......................................3、内层不经电镀.2板收缩比例...................................3、5OZ4

3

1、概述：

公司生产的埋盲孔板种类较多，目前可分为如下7种：

四层一次压合埋盲孔板，六层以上一次压合埋盲孔板，四层以上两次压合埋盲孔板，四层以上三次压合埋盲孔板，表面芯板5OZ板，表面铜箔5OZ板，HDI（1+C+1）板。

由于每种结构的技术难点不同，导致加工流程、工艺图形设计和制程控制点进行相应的变更。

下文分别从ME的流程设计、工艺图形的设计及使用、制程中设备的选用和控制要求进行说明，为ME及PE技术人员进行指导，针对个别产品可能有不同的技术难点，要综合分析其加工要点进行设计及加工。

．

2、埋盲孔板ME设计原则

埋盲孔板ME设计中，要遵守三个原则：

最小外层对位难度原则；

定位基准误差最小原则；

成本

最小原则。

2.1.最小外层对位难度原则

通孔定位靶标与盲孔尽可能一致，减小由尺寸变化带来的误差。

可以取消单面内层图形的各种识别点，减小多次图形制作中的偏差干扰。

盲孔内层对位要高于外层对位，此种情况下，外层的盲孔环宽要求大于通孔环宽及内层环宽，ME要在设计过程中进行优化。

2.2.定位基准误差最小原则

内层的各种识别点及靶标图形近距离设计，同时要保证各定位系统防错。

除备用靶标外，靶标点及识别点位置要靠近板中，以保证在钻靶标等过程中得到补偿。

2.3.成本最小原则

拼板尺寸及加工流程的设计对成本影响最大。

在满足客户要求的情况下，要同时考虑应用最经济的工艺路线进行加工。

3、埋盲孔板分类

3.1.四层一次层压埋盲孔板

产品特征：

一般为两张或两张以上芯板组成，芯板具有埋盲孔。

工艺路线：

芯板钻孔→芯板电镀→芯板单面图形制作→inspecta钻铆钉孔→层压→双轴钻靶→微蚀→钻孔→孔金属化→外层图形。

。

技术难点：

当结构为<

1.2mm的四层板时，有销定位方式压合偏位缺陷较高

如图1所示：

◎

3.1.1.四层一次层压埋盲孔板ME资料制作

控制项目

原因

ME制作要求

芯板钻孔程序比例缩放

薄板孔金属化尺寸变化

按芯板种类进行缩放

内层单面图形比例

目前芯板板厚度大于0.3mm，收缩情况较小

目前按芯板进行缩放，当芯板厚度小于0.3mm时，进行质量跟进。

辅助菲林图形

防止内层制作偏位时，对内层识别点及靶标位置干扰。

辅助菲林要求无识别点或靶标点，

四层板层压易偏位

有销定位易偏位，

层压定位方式为铆钉定位

识别点及靶标位置

按下图所示“◎”“●”识为靶标，别点。

靶标位于识别点与中线之间，

可以在中线上（要回避曝光定位孔）

3.1.2.四层一次层压埋盲孔板加工过程控制

重点工序

控制点

不良后果

内层钻孔

防止薄板折皱，倒夹点加工时易变形。

压电镀需平

层内图形

图形与孔对位要求最高，一般不能偏50%

全定坏破系部定位统

层压准备

防止铆合偏位，可用X光进行检验

对位偏

层压

收靶钻均分，缩大于0.15mm时要报警

孔层盲外对位偏

钻孔

外层通孔位与盲孔对位。

外层图形

一般使用自曝光机进行加工。

孔盲层外对位偏

下一步改进内容：

使用除有销定位外的多种定位方式进行层、1

压。

（外层盲孔盲孔孔内镀层要求与生产控制。

、2．

孔内无铜与有铜的相关要求不明）

3.1.3.四层一次层压埋盲孔板案例分析

例1，D1539，原结构要求孔内铜厚为大于20um，

内外层铜厚为3OZ。

选用1OZ芯板则可按上述工艺路线进行加工。

但如果选择2OZ芯板，则可减少电镀时间及压合后微蚀，加工效率最高，外层成品铜厚为4OZ，图形补偿允许情况下，使用2OZ芯板的结构设计优于1OZ芯板。

3.2.六层（或以上）一次层压埋盲孔板

一般为3张或3张以上芯板组成，表层芯板具有埋盲孔。

内层通常无埋孔。

当结构为6层及以上板时，各内层的

收缩比例不同◎2所示：

如图

◎◎

资一次层压埋盲孔板ME3.2.1.六层（或以上）料制作

技术难点

比例缩放

芯板电镀后收缩

对钻孔及内层菲林预放比例，见附录3

层压易偏位

铆钉定位易偏位，

层压定位方式为有销定位

薄芯板金属化收缩大

金属化过程中，芯板由于应力收缩，且2#线及4#线的收缩不同

芯板厚度小于0.6mm时为4#线薄板夹具加工，厚芯板要求

不高

3.2.2.六层（或以上）一次层压埋盲孔板加工过程控制

内层钻孔

防止薄板折皱

电镀需压平

层内图形

图形与孔对位要求最高，，表层一般不能偏50%芯板加工后再进行内部芯板加工。

对位不良会破坏定全部定位系统。

未经电镀芯板先加工会造成所有比例无法修正。

压层准备

于大缩，均钻靶分收时要报警0.15mm

外层盲孔对位偏

钻孔

外层图形

外层盲孔对位偏

3.2.3..案例分析

例1：

F/N:

C0491F/N:

D0506

3.3..六层以上两次压合埋盲孔板（含六层）

一般为2张上板经过两次压合组成，表层芯板具有盲孔。

一次压合→钻孔→一次金属化→芯板单面图形制作→inspecta钻销钉孔→层压→双轴钻靶→微蚀→钻孔→孔金属化→外层图形。

当结构以高多层板为主，通常第一次压合不对称时会有严重的变形。

当结构为内层钻孔孔位要求高，第一次压合后单面图形制作对位要求高。

对外层铜厚有较严格的控制要求。

◎◎●

◎●◎●◎◎

3.3.1、六层以上两次压合埋盲孔板ME制作要求

技术难点

芯板收缩比例

第一次层压的对位要求较高

第二次层压

结构不对称时，变形难以消除

需进行提示，当结构有较大的不对称时（与案例要及时进，不同）．

行质量跟进。

第一次钻孔及单面图形比例

第一次压合厚度较小时（0.5mm以下），第二次压合的收缩较大

需及时要求PE进行该结构的测试。

铜厚控制

外层经多次电镀，难以进行细线路加工或满足客户要求。

第二次层压后微蚀，厚度控线路制作要求进行控制。

一次层压靶标点

内层靶标位置分布有利于误差互

分布中线有利于定位孔加工，图

补示为较佳组合，可通用于各种钻靶机

靶标设计第一次压合后单去除单面图形的面图形对位较差识别点及靶标点，该位置为无铜区，利用其它孔进行对位检验。

二次层压靶标点

内层靶标位置分布有利于误差互补

当材料利用率不允许时，尽可能放入中线区域，第二次识别点可由靶标孔取代，但必需有一点偏置。

3.3.2、六层以上两次压合埋盲孔板加工过程控制

内层钻靶

有偏位时要跟据偏位情况进行校正

外层通孔与盲孔对位不良或内层偏位。

第一次压合防止铆合偏位，可用X光进行检验

第一次压合后单面图形一般与孔对位要求最高，不能偏50%，表层芯板加工后再进行内部芯板加工。

钻靶均分，收缩大于0.15mm时要报警

不对称结构防变形

变形超差

外层通孔位与盲孔对位。

出现偏位要跟据情况进行补正

通孔下盲孔对位不良

电镀

镀层均匀性及厚度控制

铜厚超差

使及手动曝光要加强对通孔及盲孔的对位情况的检验

3.3.3..案例分析

C1120，C1973

3.4..六层以上三次压合埋盲孔板

一般为2张上板经过三次压合组成，表层芯板具有两次盲孔，通孔与盲孔的对位要求极高，偏差互补性较差。

一次压合→钻孔→一次金属化→芯板单面图形制作→二次层压→双轴钻靶→微蚀→．

钻孔→孔金属化→单面图形→三次层压→双轴钻靶→微蚀→钻孔→孔金属化→外层图形

当结构以高多层板为主，通常第一、

二次压合不对称时会有严重的变形。

当结构为内层钻孔孔位要求高，第一、二次压合后单面图形制作对位要求高。

对外层铜厚有较严格的控制要求。

目前还缺少对此类产品的加工经验。

◎◎●

◎●◎●◎◎

3.4.1、六层以上三次压合埋盲孔板ME制作要求

芯板收缩比例

二次层第一、压

结构不对称时，变形难以消除

需进行提示，当结构有较大的不对称时（与案例要及时进不同），行质量跟进。

第一，及二次钻孔单面及图形比例

第一、二次压合厚0.5mm度较小时（以下），第二次压合的收缩较大

PE需及时要求进行该结构的测试。

外层经多次电镀，路进难以行细线户或工满足客加要求。

第一、二次层压后微蚀，厚度控线路制作要求进行控制。

靶层次一压标点．

分置位标层内靶互差误于利有布

补

示为较佳组合，可通用于各种钻靶机

靶标设计

第一、二次压合后单面图形对位较差。

一般要进行质量跟进。

去除单面图形的识别点及靶标点，该位置为无铜区，利用其它孔进行对位检验。

当材料利用率不允许时，尽可能放入中线区域，第二次识别点可

由靶标孔取代，但必需有一点偏置。

3.4.2、六层以上三次压合埋盲孔板加工过程控制

层内．

有偏位时要跟据偏位情

外层通孔与盲孔

钻靶

况进行校正

对位不良或内层偏位。

层压准备

第一次压合防止铆合偏位，可用X光进行检验

对位偏◎

内层图形

第一次压合后单面图形与孔对位要求最高，一般不能偏50%，表层芯板加工后再进行内部芯板加工。

◎

未经电镀芯板先加工会造成所有比例无法修正。

◎

层压

尽可能变形后钻靶困难，“求心”使用均分功能，加工时对收缩进行分析，

对钻孔定位进行修正通孔下盲孔对位当“求心”方式加工时，钻孔不良要对靶标进行修正

铜厚超差镀层均匀性及厚度控制电镀

外层外层盲孔对位偏一般使用自曝光机进行加工。

图形使及手动曝光要加强对通孔及盲孔的对位情况的检验

3.4.3..案例分析

目前暂无

3.5..表面为芯板5OZ板

一般为2张上板经过一次压合组成，表层芯板及内层芯板具有盲埋孔，通孔与盲孔的对位要求较小，加工过程中芯板尺寸变化较大，偏位较多。

钻孔→金属化孔及表面铜厚为5OZ→芯板单面图形制作及双面图形制作→层压→双轴钻靶→微蚀→钻孔→孔金属化→外层图形。

芯板尺寸稳定性主要由金属化厚度、残铜量、芯板厚度决定

层间介质层厚度以1080、2116构成，需要对填胶量进行分析。

板ME制作要求5OZ3.5.1、表面为芯板

原因

ME制作要求

按电镀种类对钻层程孔序及内菲林进行缩放比例，3

见附录

芯板电镀

镀层厚度对填胶有较大影响

≥内外层铜190um厚≥150um

内层单面及双面图形比例

电镀后芯板收缩，蚀刻后会有一定增加。

单面图形比例目前按芯板进行缩放

辅助菲林图形．

防止内层制作偏位时，对内层识

辅助菲林要求无识别点或靶标点，

别点及靶标位置干扰。

按下图所示“◎”为靶标，“●”识别点。

靶标位于识别点与中线之间，可以在中线上（要回避曝光定位孔）

3.5.2、表面为芯板5OZ板加工过程控制

芯板电镀

≥铜190um≥内外层厚150um

内层图形与芯板孔位对位

压力（比正常板大）

填胶不良

微蚀

厚度控制

钻孔数及内层对位

阻焊

多次绿油厚度

整平

锡炉温度控制

易产生白点

3.5.3、案例分析

D0692

5OZ板3.6..表面为铜箔

一般为2张上板经过一次压合组成，内层芯板具有埋孔，加工过程中芯板尺寸变化较大，偏位较多。

钻孔→金属化孔→芯板双面图形制作→层压→双轴钻靶→钻孔→孔金属化→外层图形

◎◎

3.6.1、表面为铜箔5OZ板ME制作要求

按电镀种类对钻内孔程序及层菲林进行缩放比例，3

芯板电镀

菲林图形补铜

残铜量不足会造成较大的收缩

铜条至加43%-56%

式为定层压位方

四槽定位（加热铆对叠板及于有助位）按下图所示“◎”识别点及靶

“●”识标位置为靶标，别点。

靶标位于识．

◎◎●

别点与中线之间，可以在中线上（要回避曝光定位孔）

3.6.2、表面为铜箔5OZ板加工过程控制

同表层为板5OZ板

3.6.3、案例分析

D0754，YF038

3.7..HDI（1+C+1）板

产品结构为“1＋C+1”，内层埋孔要进行塞孔，表层盲孔孔径最小为4mil。

内层C加工→表层压合→外层钻孔→开窗图形制作→铣边→激光钻孔→去钻污→微孔检验→孔金属化→外层图形。

◎●●◎◎◎

制作要求1+C+1HDI3.7.1、（）板ME

控制项目

识别点及靶标位置

外层开窗与次外层PAD对位要求较高，第二次压合后有部分收．

缩

激光开窗大小

目前加工范围为：

4mil以上

常规为5mil或6mil

小批板边框补铜

增加残铜量有助于减小压合收缩

在拼板边框加铜块一（选用方块图形优于圆点）

自动曝光孔间距要大于相应的干膜尺寸

贴膜后曝光孔外露有助于对位

参考相应的干膜尺寸

开窗图形蚀刻后铣边

保证电镀夹板点有铜

相照尺寸参铣边应的干膜尺雨寸

3.7.2、HDI（1+C+1）板加工过程控制

两次压合的参数不同，RCC要冷机压

分层起流胶不良，泡

必须钻靶参照点要统一，有均分功能

对位不良

钻孔．

曝光定位孔钻孔质量

曝光定位不良

外次层图制形作

自动曝光精度贴膜尺寸，控制

外层激光开窗孔对位不良

窗开图形

自动曝光机真空状态

开窗孔径不良

激光钻孔

孔形控制

孔底有钻污

去钻污

振动等效果

去钻污不良

分布不良

微孔AOI

偏位及少孔

可靠开路及短路，性差

测试开路假点不良品增多案例分析3.7.3..C1789

附