TFCALC求膜层的N与K图文教程Word文件下载.docx

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利用TFC求膜层的N与K图文教程@#@1． @#@ @#@首先利用晶控控制沉积单层膜，厚度约4－7个1/4个中心波长，，这里假设在K9基底上沉积单层ZnS薄膜，晶控显示厚度390nm；@#@@#@2． @#@ @#@然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率，测量范围最好宽些，这里测量400－1500nm，利用list选项导出所测量数据，并保存为TXT格式，这里命名ZnS.TXT,如图所示：

@#@ @#@@#@3.打开TFC，选择modify－materials @#@ @#@@#@4．继续选择AddMaterial,填写材料名称，选择合适的N与K的拟合公式，这里选择Cauchy与Sellmeier公式，如果不合适，可试选别的公式，点OK结束。

@#@ @#@@#@5．试填写A0与B1等各系数，以后熟练可凭经验填写，点击FitData选项结束此步。

@#@ @#@/M+p&@#@V3z-f）A@#@6．根据实际情况填写各选项，点击SetConstraints结束此步。

@#@ @#@@#@$K*h*x0s）N-p（f@#@7.填写薄膜厚度与是否优化，点OK离开。

@#@ @#@@#@8.回到上界面，点击Computer进行计算。

@#@ @#@ @#@@#@9.下面为计算结果图，如果感觉结果可接受点击Accept选项，如不接受，点击Reject选项返回重选拟合公式，修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。

@#@ @#@ @#@@#@10．结果处理：

@#@感觉结果可接受点击Accept选项，出现下面界面，点击convert选项，填写材料名称，点击OK，即可保存所计算的N与K值，如下图所示。

@#@完工。

@#@ @#@@#@