1、利用TFC求膜层的N与K图文教程#1# # 首先利用晶控控制沉积单层膜,厚度约47个1/4个中心波长,这里假设在K9基底上沉积单层ZnS薄膜,晶控显示厚度390nm;#2# # 然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率,测量范围最好宽些,这里测量4001500nm,利用list选项导出所测量数据,并保存为TXT格式,这里命名ZnS.TXT,如图所示:#3. 打开TFC,选择modifymaterials#4继续选择Add Material,填写材料名称,选择合适的N与K的拟合公式,这里选择Cauchy与Sellmeier公式,如果不合适,可试选别的公式,点OK结束。#5试填写A0与B1等各
2、系数,以后熟练可凭经验填写,点击Fit Data选项结束此步。#/ M+ p V3 z- f) A#6根据实际情况填写各选项,点击Set Constraints结束此步。#$ K* h* x0 s) N- p( f#7. 填写薄膜厚度与是否优化,点OK离开。#8. 回到上界面,点击Computer进行计算。#9.下面为计算结果图,如果感觉结果可接受点击Accept选项,如不接受,点击Reject选项返回重选拟合公式,修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。#10结果处理:#感觉结果可接受点击Accept选项,出现下面界面,点击convert选项,填写材料名称,点击OK,即可保存所计算的N与K值,如下图所示。#完工。#