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太阳能光伏产业发展概况

太阳能光伏产业发展概况及正泰集团太阳能板块介绍

一、太阳能光伏产业发展概况

(一)行业主管部门及行业政策

1、行业主管部门

目前,我国太阳能光伏行业已经基本形成了以国家发改委能源局为主管单位,全国和地方性行业协会为自律组织的管理格局。

国家发改委能源局主管国内太阳能光伏行业的发展政策和长期规划,研究国内外能源开发利用情况,制定能源发展战略和重大政策。

该行业的全国性行业自律组织主要有中国新能源行业协会光伏专业委员会和中国可再生能源学会光伏分会,在太阳能光伏行业发达的地区(如上海、河北和江苏等地区)还建立了地方性行业协会,以促进当地太阳能光伏行业企业的发展和交流。

2、行业政策

(1)关于可再生能源的一些法律法规:

《中华人民共和国可再生能源法》、《可再生能源发电有关管理规定》、《可再生能源发电价格和费用分摊管理试行办法》、《可再生能源发展专项资金管理办法》、《可再生能源中长期规划》、《可再生能源发展“十一五”规划》。

(2)2009年3月23日,财政部、住房和城乡建设部出台《关于加快推进太阳能光电建筑应用的实施意见》,实施“太阳能屋顶计划”的示范工程,在经济发达、产业基础较好的大中城市积极推进太阳能屋顶、光伏幕墙等光电建筑一体化示范;积极支持在农村与偏远地区发展离网式发电。

(3)2009年3月23日财政部《太阳能光电建筑应用财政补助资金管理暂行办法》,2009年的补助标准确定为20元/瓦,占目前系统成本的近50%。

补助后发电成本约为1元/度左右。

(4)2009年4月16日《太阳能光电建筑应用示范项目申报指南》,重点支持太阳能光电建筑一体化安装且发电主要用于解决建筑用能的项目。

(5)2009年7月21日,国家财政部联合科技部和国家能源局发布财建[2009]397号公告,宣布金太阳示范工程正式启动。

中央财政从可再生能源专项资金中安排一定资金,并制定了《金太阳示范工程财政补助资金管理暂行办法》同时印发。

(6)2009年11月,财政部、科技部、国家能源局下发了《关于做好“金太阳”示范工程实施工作的通知》,推进“金太阳”工程加快实施。

(7)2009年8月,并网光伏发电逆变器产品认证技术规范出台。

(8)2010年5月17日,在工信部推动下,国内22家光伏企事业单位作为发起单位,中国光伏产业联盟并举行了成立大会。

(二)行业发展特点

1、太阳能光伏发电原理

太阳能光伏发电是指利用太阳能电池(片)将光能转变为电能,太阳能电池经过串联后进行封装保护后形成大面积的太阳电池组件,即光伏发电装置;由一个或多个太阳能电池片组成的太阳能电池板称为光伏组件。

太阳能电池(片)有单晶硅、多晶硅、非晶硅和薄膜电池等,其中,单晶和多晶电池用量最大。

中国国产晶体硅电池效率在10至13%左右,国际上同类产品效率约12至14%。

光伏发电系统是由太阳能电池方阵,蓄电池组,充放电控制器,逆变器,交流配电柜,太阳跟踪控制系统等设备组成。

2、太阳能光伏产业链简介

在目前科学条件下,太阳能通过硅材料转化为电能,以硅材料的应用开发形成的产业链条称之为光伏产业。

光伏产业链包括硅料、硅片、电池片、电池组件、应用系统5个环节。

上游为硅料、硅片环节;中游为电池片、电池组件环节;下游为应用系统环节。

从全球范围来看,产业链5个环节所涉及企业数量依次大幅增加,光伏市场产业链呈金字塔形结构。

这五个环节细分为多晶硅原料生产、硅棒、硅锭生产、太阳能电池制造、组件封装、光伏产品生产和光伏发电系统等,如下图所示:

目前的光伏产业主要包括高纯单晶硅和多晶硅原材料生产、太阳能电池生产、太阳能电池组件生产、最后到光伏发电系统应用,相关生产设备的制造与服务等。

在整个产业链中,硅料尤其是高纯度的硅料毛利率最高。

由于近年来光伏产业的快速发展,硅料出现供不应求的状况,硅料的价格更是节节攀升。

2008年初从以工业硅为原料提纯后所得的多晶硅价格已经上涨至约300美元/公斤,部分高纯度多晶硅甚至达到500美元/公斤。

其次是硅片生产的利润率较高,而组件生产和工程安装利润率最低,约为10%左右。

产业链中,太阳能电池是最重要的生产环节。

3、行业发展阶段

各产业链从产业发展阶段看,多晶硅原材料生产和光伏应用仍处于初创期,太阳能电池生产处于成长期,如下图所示。

近年来,国家政策都大力支持发展太阳能,国家在2006年正式出台相关政策,2007年4月,国家发改委公布《能源发展“十一五”规划》,强调“十一五”期间,要重点发展资源潜力大、技术基本成熟的风力发电及太阳能等可再生能源。

根据《可再生能源“十一五”规划》,到2010年,我国太阳能光伏装机总量达30万KW。

将通过开展无电地区电力建设、启动光伏发电城市应用工程和开展光伏电站试点方式展开。

从产业应用方式上来看,我国太阳能光伏发电尚处于起步阶段。

赛迪顾问认为,各产业链从产业发展阶段看,多晶硅原材料生产和光伏应用仍处于初创期,太阳能电池生产处于成长期。

4、产业链中各生产环节的特点

(1)多晶硅生产

多晶硅产能建设周期漫长,从开工建设到达产需要花费一年半以上时间;技术工艺要求高,具有较高的技术风险;资金投资大,以西门子法提纯多晶硅需要维持1100度的高温,因此耗费大量电能,造成成本居高不下;生产成本中的电力成本占比较大,产品你成本对电力价格较敏感,对当地电力能源的配套需求要求较高;环境污染较严重,我国大部分多晶硅企业技术未过关,大规模生产面临极大环境风险,尤其是如果副产品回收处理跟不上,将对安全生产和环境保护带来极大的隐患;多晶硅行业的生产新技术不断出现,促使多晶硅成本不断下降;中国大陆多晶硅生产获取的利润在最终电池组件产品利润总额中的比例最高,约达到50%左右。

(2)太阳能电池及组件

作为产业链中游环节的太阳能电池生产进入门槛相对多晶硅行业较低,利润率也较低;相对于太阳能组件企业来说,太阳能电池企业技术门槛相对高些,但其技术工艺要求和利润率仍低于多晶硅行业;国内的太阳能电池片企业基本都会既生产太阳能电池片,又生产组件,这对于提高企业的利润,降低风险无疑具有较大的促进作用;对新型的光电转换材料的研究不断取得进步,新型的光电转换效率更高和成本更低的太阳能电池不断涌现,技术进步速度较快;资本投资较多晶硅行业少;目前,中国大陆电池生产获取的利润在最终电池组件产品利润总额中占比约为17%。

(3)组件及光伏系统(制造)

在整个光伏产业链条中,太阳能电池组件封装的资金和技术门槛最低,多数设备已实现国产化,且价格比较便宜;光伏发电系统由电池方阵、蓄电池组、控制器和逆变器等组成,产品的主要成本构成为上游光伏电池及组件;光伏系统是光伏产业的终端产品,直接面向用户;组件企业另外一个特点是其风险最大,因为太阳能组件的质保期在20年~25年,但是太阳能组件不仅用到硅材料,还要用到各种化学材料,每种材料的保质期是不同的,如何保证所有的材料都能达到20年~25年的保质期,是一个大问题。

(4)光伏发电(安装工程及电站运营)

受地域性限制比较明显,在阳光光照比较充分的太阳能资源比较丰富的地区适合建设并网型太阳能光伏发电站,我国东部地区适合推广光伏建筑一体化,中西部则适合推广光伏建筑一体化与光伏电站;由于太阳能目前的发电成本较高其他传统能源电价高许多,因此,太阳能光伏发电行业的发展在短期内需要依靠国家产业政策的扶持,受国家的新能源上网电价收购补贴政策影响较大,行业的盈利能力和投资会后周期短期内取决于国家的补贴力度的大小;目前光伏发电主要应用为太阳能光伏建筑一体化、光伏电站、光伏照明等。

而光伏建筑一体化和光伏电站的并网发电将成为未来太阳能利用的主体。

(三)行业发展现状

1、全球太阳能光伏行业快速发展

随着全球性能源短缺、气候异常和环境污染等问题的日益突出,积极推动新能源战略、加快新能源推广应用,已成为世界各国普遍关注的焦点。

随着各国对可再生能源发展的重视,近年来,太阳能光伏应用成为世界新能源领域的一大亮点,太阳能光伏产业呈现出快速发展的势头。

从1995年至2009年,全球太阳能光伏发电年新增装机容量增长达80倍左右。

从2004年的年新增装机容量突破1000MW以来,太阳能光伏行业进入了规模化发展阶段。

另一方面,即便如此,目前太阳能光伏发电占全球能源消耗总量之比仍然微不足道。

德国是目前全球最大的太阳能光伏市场,太阳能光伏年发电量已在20亿千瓦时之上,但占德国国内总发电量的比例仍不到0.5%。

据世界能源组织、欧洲联合研究中心和欧洲光伏工业协会的预测,2020年世界光伏发电将占总电力的1%,到2040年光伏发电将占全球发电量的20%,按此推算,未来数十年全球太阳能光伏产业的年均复合增长率将高达25%-30%,在21世纪中期,太阳能光伏发电将成为人类的基础能源之一,在世界能源构成中占有重要地位。

2、中国光伏发电产业进入迅速发展期

目前,中国的太阳能光伏应用发展相对落后,2008年太阳能光伏行业装机容量占全球的比例不超过2%,但已进入加速发展期。

太阳能作为新能源产业被列入战略性新兴产业发展。

根据《金太阳示范工程财政补助资金管理暂行办法》所列示项目,近三年我国将补助642MW的光伏装机容量。

2009年11月,财政部、科技部、国家能源局联合发布《关于做好“金太阳”示范工程实施工作的通知》,要求加快实施“金太阳”示范工程。

示范项目的推动必然会带动整个太阳能光伏产业链的巨大需求,国内光伏市场有望在2010年至2015年实现爆发性增长。

预计未来,随着太阳能电池发电成本的不断下降及相关扶持政策的出台,我国太阳能光伏行业将步入快速发展轨道。

在2009年6月26日第二届中国区域新能源、可再生能源产业发展论坛上,业内人士透露即将公布的《新能源产业振兴规划》将2020年我国光伏发电累计装机容量目标设定为20GW(《光伏规划安装量可能扩至20GW》,《中国证券报》,2009年6月29日,B04版),约为2009年累计装机容量的65倍,未来发展前景十分广阔。

3、我国行业发展存在的问题

(1)太阳能光伏产业暂时过剩

目前,我国太阳能光伏产业出现产能过剩的情况。

在硅片、太阳能电池和电池组件等环节,越往下走,产能过剩的情形越严重。

无论是无锡尚德,还是天威英利或中电光伏,都存在开工不足的情况。

全球主流企业的平均开工率将由2005年的70%到75%下降至2009年的60%左右,无硅料资源积累的光伏产业新进入者的开工率甚至低至20%到30%。

继国务院研究部署部分行业产能过剩和重复建设,对风电和多晶硅产能发出警告之后,国家发改委以及多个部门出台相关限制产能盲目扩大。

但是,太阳能产业过剩与传统产业过剩不一样。

钢铁等传统产业的产能远远超过市场需求,带有某种绝对过剩的因素,而太阳能是应对气候变化和能源问题的一个主要发展方向。

太阳能产业的发展,可以优化我国乃至世界能源结构,保障能源安全,减少石油、煤、天然气等化石燃料的使用,降低二氧化碳等温室气体排放,因此,必须尽快发展太阳能等无碳或低碳新能源产业。

因此光伏产业的潜在需求是巨大的。

(2)产业链构建畸形,高纯多晶硅材料成为产业发展瓶颈

从全球太阳能光伏产业发展整体视角看,产业上中下游构成一个典型的“金字塔”模型,即产业上游企业数量相对较少,产业中游企业数量比上游多,产业下游企业数目最多。

为此,相对完整、合理的产业链结构,有利于太阳能光伏产业的发展与壮大,但是,当前全球光伏产业链的结构已经发生了明显变化。

当前,我国太阳能光伏产业已逐步拓展步入蓬勃发展时期,多晶硅产能、产量不断扩大,2008年太阳能光伏电池产量已接近2GW。

据有关统计数据。

自2005年以来,我国多晶硅产量、产能出现爆发式增长,2008年产量接近4480吨,产能超过一万吨;预计2009年的产量将超过三万吨,产能面临巨大过剩风险。

从产业链的构成、产业发展的整体看,产业链发展已经呈现出“畸形”,“金字塔”模式不复存在,未来产业前景不容乐观。

(3)自主知识产权缺乏核心技术和设备有待突破

多晶硅制备,是一项相对复杂的高技术,涉及化工、电子、电气、机械和环保等多个学科。

当前,太阳能级多晶硅技术主要包括物理法和化学法。

目前,最常用方法是“改良西门子法”,占据了全球太阳能级多晶硅产量的76%以上,但是,“改良西门子法”对原材料、技术要求很高。

与国外技术领先国家相比,我国国内多晶硅厂商主要采用引进“改良西门子法”,整体的制备工艺、关键核心设备仍依赖引进。

另外,其他太阳能级多晶硅制备技术方面,如日本川崎制铁公司及德国的湿法精炼法、日本德山公司的熔融析出法、美国国家可再生能源实验室的无氯技术等工艺已经逐步成熟,并步入规模化生产,而我国在上述相关技术、工艺方面尚未涉足。

(4)行业标准体系尚未建立,缺少应对竞争手段

当前,全球太阳能光伏产业中,国际通用的光伏模组检验标准分别为美国的UL标准以及欧盟的IEC标准。

由于不同国家、地区标准不同,使光伏生产商在产品准入、监测等方面的成本、关税大大增加。

我国光伏产业没有统一的国家行业标准和检测机构,造成市场不规范,企业间不正当竞争频出,市场相对混乱;同时,国外光伏产品进入我国市场,不需要进行任何机构的监测,关税也几乎为“零”,反之,我国光伏产品进入欧美市场,却要经过严格的监测,并取得认证资格,导致我国光伏产品在国际上的竞争力明显降低,与技术领先国家竞争手段匮乏。

(5)高层次人才短缺,自主创新能力不强

美国加利福尼亚硅谷有半数企业都要开始转向光伏研究,相比之下,我们国家在研发这块的投入太少。

虽然产业规模已经很大,但是关键技术和设备依然靠进口,也就是说我们研发不够,科技创新不够。

目前,发达国家已经建立了相对完善的技术研发机构,形成了比较完善的产业技术服务体系。

我国太阳能光伏产业发展相对较晚,研究发展的基础相对较差,特别是技术发展的整体水平、人才能力培养等相对滞后,缺乏多学科和综合型的技术人才,不能尽快满足快速增长的光伏产业对高层次人才需求,导致国内产业整体研发能力相对薄弱,自主创新能力不强,使制约产业发展的核心技术、关键设备未能完全获得突破。

(6)我国光伏发电上网困难

我国光伏发电刚刚起步便遇到了“并网难”的问题。

由于光伏发电的上网电价难以确定;电池原料入行门槛高;光伏发电可调可控性弱;电厂电网规划脱节入网标准制定滞后;入网标准、产品检测能力缺失,无法确保并网产品质量,从而给电网安全稳定带来隐患等原因,导致我国光伏发电上网困难。

4、行业发展趋势

(1)行业尚处于政策扶持发展阶段

太阳能光伏发电市场目前仍然是一个政府政策性行为很强的市场。

在德国、西班牙等欧洲国家,由于政府的积极参与,通过制定相关的新能源政策进行扶持和推广,目前已经取得良好的效果。

通过政府政策引导及直接财政补贴等方式,培育市场、引导居民以及其他类型用户加大对太阳能光伏行业的投入,鼓励更多的相关企业投资该行业,引导整个产业的发展,同时以财政补贴等方式保证企业以及用户一定的盈利,这是目前行业发展的主要途径。

由于企业与用户在盈利与发展中建立了对整个行业的发展信心,便开始以规模化生产追求规模经济效应,这种有效竞争必然导致整个太阳能光伏行业系统成本的降低,进而使得太阳能光伏电价价格的降低,最后光伏电价与传统能源电价相比能够形成一定的市场竞争力,太阳能光伏市场形成一个自由竞争的市场。

(2)太阳能光伏发电成本将不断降低

根据欧洲光伏产业协会预测,2010年至2020年期间太阳能光伏发电成本在不同发达国家可达到和高峰电价相比的水平,2020年至2050年期间将接近平均电价的水平。

下图显示了在太阳能资源丰富程度不同的地区太阳能光伏发电成本的下降趋势:

(3)2009年末我国光伏产业逐渐复苏

2009年价格的大幅下滑,如下图所示,晶体硅组件平均价格下降38%,太阳能单晶片价格下跌50%,多晶硅现货价格锐降80%。

iSuppli公司认为,这代表价格的永久性下降,将使光伏产业变成竞争十分激烈的市场,弱者出局,只剩下少数几家企业占据较大的市场份额。

继2009年大部分时间亏损之后,厂商在第四季度开始恢复盈利。

(四)行业市场竞争状况

1、中国光伏厂商竞争力日渐增强

随着2009下半年以来全球太阳能发电系统价格的持续下滑,再加上各国政府大力推广太阳能政策的拉动效应渐显,中国光伏企业订单逐渐增多。

如果说以往中国光伏产商的劣势在于技术相对落后,转换效率低等方面,但近一两年来经过国家的政策扶持,以及龙头企业的带动,中国厂商的技术水平大幅提高,其中,尚德电力产品的转化效率甚至已经打破世界纪录。

在此基础上,再加上劳动力廉价等其它优势,中国光伏产商的竞争力日渐增强。

《2009-2012年中国太阳能电池行业投资分析及前景预测报告》显示,2008年我国光伏电池产量达1.78GW,占全球总量的26%。

而从市场占有率来看,中国太阳能电池厂商(包括台湾省)的市场占有率逐年提升,2007年中国太阳能电池厂商市场占有率由2006年的20%提升至35%,2008年则更进一步,大幅提升至44%,连续两年成为世界第一

2、外资企业目光投向中国光伏市场

中国光伏企业将在本土遭遇一些欧洲企业的挑战。

2008年,规模在欧洲位于前5位在全球23个国家设有分公司或者办事机构及项目公司的比利时EnfinityNV(羿飞)集团正式进入中国市场。

2009年,EnfinityNV(羿飞)集团与中国广东核电集团一起成功中标了2009年中国首个光伏并网发电特许经营权项目——甘肃敦煌10兆瓦示范项目。

2010年比利时EnfinityNV(羿飞)集团作为唯一一家外资企业,分别与中广核太阳能开发有限公司、国电科技环保集团及中节能太阳能科技有限公司组成了3个投标联合体,参与了陕西榆林靖边、青海河南、甘肃金昌、新疆吐鲁番、新疆哈密、内蒙古阿拉善总量达120兆瓦的光伏并网发电项目投标。

2009年9月,全球最大的光伏组件制造商美国FirstSolar(第一太阳能)大举进军中国,宣布将投资50亿美元在中国内蒙古鄂尔多斯建设一个2GW的大型发电厂;10月,全球最大的半导体生产设备企业AppliedMaterials(应用材料)在西安启用了其全球太阳能技术研发中心,并将其首席技术官的办公地点移师北京;几乎与此同时,美国第三大电力公司DukeEnergy(杜克能源)与数家中国公司签署合作协议,共同开发太阳能等能源技术;2010年伊始,西班牙埃菲玛公司携带其研发的太阳能逐日器进入中国;而欧洲最大的太阳能开发企业之一德国PhoenixSolar(凤凰太阳能)则对外宣布正在积极的寻找中国合作伙伴,以拓展在华业务。

3、中国光伏企业低价抢滩国外光伏市场

作为全球最大的生产基地之一,中国出产的太阳能电池和面板占全球总产量的30%以上。

实际上,中国的无锡尚德与德国Q-Cells和美国第一太阳能(FirstSolar)位列全球前三大制造商。

据中国工业和信息化产业部统计,自2002年以来,中国国内光伏产业的年平均增长率超过100%。

2008年的总产能超过2000兆瓦。

中国光伏产业的发展与全球同步,从1998年到2008年10年间,全球太阳能产业的年复合增长率是35%。

2008年,太阳能电池的总产出达到5456兆瓦、面板的总产出达6791兆瓦。

尽管需求下滑,但估计到2009年底,总产能仍将增长56%。

这是因为有些客户已下了订单,许多供应商都决定继续各自的扩张计划。

基于这些因素,诸如英利(YingliSolar)和阿特斯太阳能(CanadianSolar)等中国国内和国际大公司的产量和出口都在稳步增长。

中国的中小供应商也纷纷投身该产业。

中国制造商的低报价,造成了与一些外国竞争对手的紧张局面。

随着中国公司利用价格优势逐步抢滩欧盟、美国和澳大利亚等地的市场,这些国家和地区本土制造商在上述市场的订单在减少。

中国太阳能光伏总产量的90%以上是出口外销的。

大多数这类企业有直接出口权。

4、国内太阳能行业主要生产企业

2008年度

2007年度

排名

公司名称

产量(MW/年)

排名

公司名称

产量(MW/年)

1

无锡尚德

459.40

1

无锡尚德

327.00

2

天威英利

281.50

2

天威英利

142.50

3

河北晶澳

277.00

3

河北晶澳

113.20

4

天合光能

209.00

4

江苏林洋

88.00

5

江苏林洋

189.00

5

CSI阿特斯

83.40

6

CSI阿特斯

166.50

6

南京中电

78.00

7

南京中电

110.90

7

宁波太阳能

45.00

8

常州亿晶

99.70

8

天合光能

37.00

9

宁波太阳能

97.00

9

江阴浚鑫

35.00

10

江阴浚鑫

65.30

10

常州亿晶

30.00

11

无锡尚品

45.00

11

交大泰阳

25.00

12

超日太阳

43.00

12

超日太阳

23.86

13

交大泰阳

20.00

13

无锡尚品

17.00

14

拓日新能

18.17

14

拓日新能

10.00

 

 

 

 

 

 

 

 

(五)行业发展前景及市场潜力

1、中国将成为全球太阳能光伏发电大国

中国是众所周知的光伏产品制造大国,光伏电池年产量已跃居世界首位。

但长期以来,在世界应用市场上却排不上名次。

2009年,中国首次跻身世界十大光伏市场之列。

到2014年,中国光伏发电新增装机容量在600MW和2。

5GW之间。

2、中国主导全球光伏产品市场

欧洲光伏工业协会(以下简称EPIA)的报告显示,在晶体硅电池和光伏组件的生产方面,仍是中国大陆和台湾地区的厂商占据主导地位(其市场占有率超过50%)。

咨询机构Solarbuzz预计,2011年全球光伏制造设备市场规模将达到117亿美元,超过2010年的107亿美元。

EPIA还预测,中国大陆和台湾地区将主导硅基薄膜技术,而碲化镉(CdTe)以及铜铟镓硒(CIGS)光伏电池技术也仍将被欧洲、美国和日本把持。

3、相关机构预测

市场调研公司IMSResearch2011年全球新增设备总安装量将达19GW。

此外,IMSResearch再一次重申了先前的预测,即今年新设备总安装量将很容易超过16GW。

IMSResearch还表示在今后四年中,新增光伏安装量将超过100GW。

(六)非晶硅薄膜太阳能电池行业发展情况

1、非晶硅太阳能薄膜电池特点

非晶硅太阳能薄膜电池具有重量轻、厚度薄、可弯曲、易携带等特点,又称为“第二代太阳能电池”。

传统硅晶电池由于由硅晶体组成,电池主要部分易碎,易产生隐形裂纹,大多有一层钢化玻璃作为防护,造成重量大,携带不便,抗震能力差,造价高。

太阳能薄膜电池克服了上述缺点,但并没有传统硅晶电池转化效率高。

太阳能薄膜电池的转化效率之提升是目前太阳能科技界正在研究的主方向。

由于尚未完全成熟,大规模生产仍有一定风险,但势必会在太阳能领域占有重要地位,其发展前景非常看好。

非晶硅太阳能电池虽然在转换效率方面略逊于晶体硅太阳能电池,但制造成本低廉、能耗小是晶体硅太阳能电池不能比的。

除此之外,非晶硅太阳能电池在生产技术上也具有以下优点:

(1)耗材少、制造成本低。

硅基薄膜电池的厚度小于1微米,不足晶体硅电池厚度的1/100,大大降低了材料成本;

(2)硅基薄膜电池采用低温工艺技术,这不仅可节能降耗,而且便于采用玻璃、不锈钢等廉价衬底;(3)硅基薄膜采用气体的辉光放电分解沉积而成,通过改变反应气体组成可方便地生长各种硅基薄膜材料,实现各种叠层结构的电池,节省工序。

(4)便于实现大面积

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