扩建年产吨三氟化氮生产装置项目可行性研究报告.docx

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扩建年产吨三氟化氮生产装置项目可行性研究报告

2021年扩建年产2000吨三氟化氮生产装置项目可行性研究报告

2021年2月

一、项目概况

本项目拟投资30,000.00万元，扩建2,000吨/年三氟化氮生产装置项目，包括：

5#三氟化氮电解厂房、6#三氟化氮电解厂房、3#三氟化氮后处理厂房。

二、项目实施的必要性

1、含氟电子特气生产向国内转移是大势所趋

电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。

电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是集成电路、平面显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。

本次募投拟扩产的三氟化氮作为电子特种气体的重要品类，具有优异的蚀刻速率和选择性，是半导体和显示面板制造过程中重要的清洗剂和刻蚀剂。