大学仪器设备采购技术条款一览表.docx
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大学仪器设备采购技术条款一览表
山东大学仪器设备采购技术条款一览表
采购人要求（用户填写）
配置序号
配置名称
详细技术参数要求
数量
备注
1
飞行时间质谱真空腔体
真空腔体主要由三部分组成，包括：
束源室、离子加速-无场飞行室和速度成像室。
具体部件和服务包含且不少于下述等：
名称材料数量
装配运输1
光电子脱附室3041
透镜室3041
反射室3041
RF光电子脱附室3041
源室3041
支架加工3041
CF200法兰3047
CF150法兰3045
CF100法兰3045
观察窗3042
整套腔体技术指标要求：
★腔体尺寸：
长度不小于2.2m，宽度不小于0.9m
按需求方要求设计图纸
真空度优于1.0*10-6pa
焊接处平滑
按期送货并且完成安装
离子加速-无场飞行室末端配有反射式飞行时间真空腔体，质谱分辨率优于3500。
速度成像室选质分辨率优于单位质量分辨（指标样品为197Au+离子）；能谱能量分辨率优于5%。
上述真空腔体要求：
1）表面无划痕、无毛刺
2）焊接和零件按真空规范认真清洗
3）氩弧焊接，外部填料加强焊，内部满焊
4）焊接时要求四角垂直
5）焊后加工六个平面时要求相邻面垂直度误差小于0.1mm，同轴线上的各孔同轴度误差小于0.1mm。
6）焊后电解抛光处理，氦质谱捡漏。
配件：
1）满足仪器性能指标的溅射光组件：
532nm反射镜
2）满足仪器性能指标的脱附光组件：
532,355,1064nm反射镜
3）满足仪器性能指标的激光调试镜架，三维移动台，平凹透镜等
4）进气接头：
含接头、铜管等，仪器所有阀门、接头需采用Swagelok品牌产品。
5）脉冲阀驱动电路系统一套
6）团簇源组件一套
7）成像区组件，包括电磁屏蔽筒等
8）聚焦镜，引出/引入场电极，加速片，质量门及镀金、消磁工艺。
9）气路系统，即配气瓶一套（阀门需采用Swagelok品牌产品）
10）满足整套设备的电源控制柜
11）满足仪器性能指标的各种连接线、接头、卡箍、O圈、铜圈等。
1套
国内自加工
2
真空成像探测器
性能指标不低于PhotecVID275
1.★有效直径：
75mm
2.法兰类型：
CF200
3.MCP数量：
2
4.MCPL/D：
60:
1
5.MCPpitch/pore：
15/12额定
6.MCP质量等级：
成像级
7.MCP偏角：
8°
8.MCP开口比：
＞60%
9.★输出屏幕：
P47
10.屏隙电压：
+6kV（额定）
11.烘烤温度：
85℃（最大）
12.真空度：
优于10-9mbarL/s@He
1
进口产品
3
EMCCD相机
性能指标不低于AndorDU-888U3-CSO#BV
1.传感器：
背照式，标准AR涂层
2.★有效像素：
1024×1024
3.像素尺寸：
13×13μm
4.成像区域：
13.3×13.3mm
5.最大像素读取速率：
30MHz
6.最低制冷温度（空气冷却，环境温度20℃）：
-80℃
最低制冷温度（冷却液冷却，冷却剂@10℃,＞0.75L/min）：
-95℃
7.控温精度：
±0.01℃
8.触发模式：
内触发，外触发，外启动，外中断，软件触发等
9.数字化：
16bit
10.PC接口：
USB3.0
11.镜头安装方式：
C型安装
12.暗电流@-80℃：
0.00025e-/像素/s
13.暗电流@最大冷却温度：
0.00011e-/像素/s
14.假噪声@1000x增益/-85℃：
0.005事件/像素
15.有效面积像素阱深：
80,000e-
16.增益寄存器像素井深：
730,000e-
17.读出噪声：
40e-（无电子倍增），＜1e-（有电子倍增）
18.线性绝对电子倍增器增益：
根据实际增益1~1000倍可调
19.线性度：
优于99.9%
20.垂直时钟速率：
0.6~4.33μs（可选）
21.时间戳精度：
10ns
1
进口产品
4
脂润滑分子泵-1（配件）
性能指标不低于KYKYFF-250/20XX型脂润滑分子泵
1.★抽速速率：
20XXL/s
2.进气口法兰：
DN250LF/DN250CF
3.排气口法兰：
KF50（DN）
4.压缩比：
N2：
1×108，He：
5×103
5.极限压强：
≤6×10-6Pa（DN250LF），
≤6×10-7Pa（DN250CF）
6.启动压强：
＜100Pa
7.额定转速：
24,000rpm
8.启动时间：
＜8min
9.轴承：
精密脂润滑陶瓷轴承
10.振动值：
≤0.1μm
11.前级泵：
12~20L/s
12.充油量：
脂润滑，无需充油
13.水嘴：
内径Φ10直插自密封
14.冷却方式：
水冷
15.冷却水温度：
≤25℃
16.泵体烘烤温度：
≤100℃
17.环境温度：
5~40℃
18.★润滑方式：
脂润滑
19.安装方向：
任意角度
20.重量：
≤35kg
2
5
脂润滑分子泵-2（配件）
性能指标不低于KYKYFF-200/1300脂润滑分子泵型脂润滑分子泵
1.★抽速速率：
1300L/s
2.进气口法兰：
DN200LF/DN200CF
3.排气口法兰：
KF40（DN）
4.压缩比：
N2：
1×109，He：
6×103
5.极限压强：
≤6×10-6Pa（DN160LF），
≤6×10-7Pa（DN160CF）
6.启动压强：
＜100Pa
7.额定转速：
24,000rpm
8.启动时间：
＜7min
9.轴承：
精密脂润滑陶瓷轴承
10.振动值：
≤0.1μm
11.前级泵：
8~15L/s
12.★充油量：
脂润滑，无需充油
13.水嘴：
内径Φ10直插自密封
14.冷却方式：
水冷
15.冷却水温度：
≤25℃
16.泵体烘烤温度：
≤100℃
17.环境温度：
5~40℃
18.润滑方式：
脂润滑
19.安装方向：
任意角度
20.重量：
≤31kg
2
6
机械泵（配件）
1.★抽气速率：
14L/s
2.极限压力：
分压力4×10-2Pa，全压力4×10-1Pa
3.容油量：
3.8L
4.进气口径：
KF40（DN）
5.排气口径：
KF40（DN）
6.电机功率：
1.5kW
7.转速：
1,450rpm
8.重量：
≤65kg
9.配套机械泵泵油不少于10L
1
7
干式多级罗茨泵
性能指标不低于LeyboldEcodry40plus
1.★抽气速率：
40m3/h
2.★极限压强：
全压力0.03mbar
3.最大水蒸气耐受：
20mbar
4.最大水蒸气容量：
350g/h
5.符合DIN45635标准的噪声等级（无气镇）：
≤52dB（A）
6.漏率：
≤1×10-5mbarL/s
7.电源接线：
1相，200-240V，50/60Hz
8.功率：
600W（进气压力＜10mbar）
9.转速：
12,600rpm
10.防护等级：
IP42
11.容许环境温度：
5~40℃
12.重量：
≈43kg
13.电源线：
UK插头，2m
14.进气口法兰：
DN25ISO-KF
15.排气口法兰：
DN16ISO-KF
16.进气口滤网：
DN25ISO-KF
1
进口产品
8
高压电源
性能指标不低于斯坦福高压电源PS350
1.输出电压：
0～±5KV
2.电压分辨率和可调性：
1V
3.电压设定精度：
0.01%
4.响应时间：
＜10μs
5.电压调节精度：
0.001%
6.输出纹波：
满量程的0.0015%
7.输出最大电流：
5mA
8.电流分辨率：
1μA
9.温度漂移：
50PPM/℃
10.稳定性：
0.01%/h，＜0.03%/8h
11.恢复时间：
12ms
12.放电时间：
＜6s
2
进口产品
9
高速脉冲发生器
性能指标不低于DEIPVM-1001-P型号产品
1.输入电源电压：
≤975VDC
2.输入功率：
＞5W
3.输出电压：
0～950V
4.上升时间：
＜8ns
5.脉冲宽度：
55ns～10000ns
6.脉冲频率：
1MHz（最大5MHz）
7.重量：
＜0.5kg
8.体积：
1325cm3
1
进口产品
10
脉冲阀高压电源
性能指标不低于BenkleHTS51
1.最大稳定工作电流：
30A
2.控制极触发电流：
6mA
3.最大持续负载电流：
0.58A
4.反向重复峰值电压：
5KV
5.静态导通电阻：
30Ω（最大电流时）
6.上升/下降时间：
9ns
7.可变脉冲宽度：
≥100ns
1
进口产品
11
高压脉冲模块/开关
性能指标不低于BehlkeHTS31-03-GSM
1.额定正向平均电流：
60A
2.控制极触发电流：
6mA
3.最大稳定工作电流：
60A
4.反向重复峰值电压：
3KV
5.上升/下降时间：
20ns
6.可变脉冲宽度：
≥150ns
7.控制方式：
单向；极数：
二极
8.封装材料外形：
陶瓷平板型（不带散热片）
2
进口产品
12
快速前置放大器
性能指标不低于斯坦福SR445
1.输入：
50Ω阻抗，DC耦合，BNC连接
2.输出：
DC耦合，BNC连接
3.电压增益：
5，25，125
4.带宽：
300MHzDC（-3dB）
5.上升/下降时间：
1.2ns
6.传输延迟：
2.2ns
7.恢复时间：
＜4s@20次过载
8.控制范围：
输入±200mV，输出±1.0V
9.超调：
±5%
10.噪声：
＜50μVrms
11.稳定度：
10μV/℃
12.偏置：
输入±50μV（自适应）
13.保护：
±3.5VDC，±50V短时
14.功率：
16W，220/VAC，50Hz
1
进口产品
13
数据采集卡（配件）
性能指标不低于FCFR-USB9982C
1.分辨率：
8位
2.通道数量：
2通道同步
3.实时传输：
36MByets/S
4.采样率：
双通道1GS/s/通道，单通道2GS/s
5.输入极性：
单端输入
6.输入范围和增益：
-0.5V~+0.5V（默认），-1V~+1V，焊接选择，无数字可调增益
7.输入阻抗：
50Ω
8.带宽：
300MHz（-3dB）
9.触发源：
触发模式：
连续采集，后触发，延时触发
10.硬件FIFO/采样点：
2G，最大4G
11.数据传输：
轮询，DMA
12.模拟输入接插件：
SMA
13.处理能力：
累加长度512KS：
500MS/s，累加长度1MS：
450MS/s，累加长度大于2MS：
400MS/s
14.AD通道：
CH1CH2都支持累加，或者单通道2G累加；如果使能2个通道累加，每通道处理能力是上面处理能力除以2
15.累加次数：
最大65536（8bitAD累加结果是24bit）
16.累加长度：
最大16MS
17.尺寸：
200×148mm
18.工作温度：
0～50℃
19.存储温度：
-20℃～80℃
20.湿度：
5-95%（无凝露）
21.电源要求：
5V/2.5A
22.传输接口：
USB2.0
1
14
UPS电源（配件）
性能指标不低于山特3C10KS
1.★额定容量：
9000W
2.输入电压：
210～475VAC
3.输入频率：
（40～70）Hz
4.输入功因：
≥0.95
5.输出电压：
220VAC
6.输出精度：
±1%
7.输出频率：
50/60Hz±0.2Hz
8.输出波形：
纯净正弦输出
9.输出谐波失真：
≤3%，输入THD-V＜1%
10.外观尺寸：
248×500×616mm
11.★电池：
12V/24Ah×16PCS（松下电池）
12.★电池备用时间：
＞30分钟
13.回充时间：
5小时回充90%
14.效率：
市电模式＞94%，ECO高效模式＞98%
15.LED显示：
负载/电量/输入/输出/运行模式
16.连接：
三相四线+接地
17.过载能力：
1min@105%～125%负载，30s@125%～150%负载，0.5s@＞150%负载
18.环境参数：
温度0-40℃，湿度20-90%（无凝露），噪声＜50dB@距离1米
19.标准和认证：
IEC61000，IEC62040，GB7260，GB4943，TLC/节能认证/广电认证CQCReady
20.通讯接口和软件：
RS232（标配），可扩展插槽（选配）：
可选择NMC卡，CMC卡，AS400卡或USB卡
1
15
微通道板（配件）
1.外径：
35.9±0.04mm
2.有效直径：
31mm
3.通道直径：
12±0.5μm
4.通道间距：
14.5±0.5μm
5.斜切角：
15.5º±0.5º
6.厚度：
0.5±0.02mm
7.体电阻：
65~185Ω
8.增益：
≥4000
9.开口比：
≥60％
10.电极材料：
Ni-Cr
11.电极浸没深度：
输入端≤9.6mm，输出端24～36mm
4
16
加速区高压开关（-1500V）（配件）
1.额定正向平均电流：
>30A
2.控制极触发电平：
3.3V/5VTTL/CMOS电压
3.最大稳定工作电流：
60A
4.反向重复峰值电压：
1.2KV
5.上升/下降时间：
<125ns40pF或<100ns3pF
6.可变脉冲宽度：
≥150ns
7.控制方式：
电平控制双向脉冲；单脉冲极性（正负可定制或切换）
8.电源220VAC或24VDC
2
17
直流电源（-1000V）（配件）
1.工作环境：
-10℃～+50℃（商业级）
2.输入电压：
DC24V±10%
3.基准电压输出：
±5VDC±2%，IR＞1mA
4.输出电流：
2mA
5.温度系数：
≤50ppm/℃
6.漂移：
≤0.05%/h
7.纹波系数：
0.002%～0.01%
8.电压调整率：
0.01%～0.05%
9.负载调整率：
0.01%～0.2%
10.外形尺寸（长×宽×高）：
50×38×25mm
1
18
直流电源（±200V）（配件）
性能指标不低DW-P201-1F32和DW-N201-1F32
1.工作环境：
-10℃～+50℃（商业级）
2.输入电压：
DC24V±10%
3.基准电压输出：
±5VDC±2%，IR＞1mA
4.输出电流：
1mA
5.温度系数：
≤50ppm/℃
6.漂移：
≤0.05%/h
7.纹波系数：
0.002%～0.01%
8.电压调整率：
0.01%～0.05%
9.负载调整率：
0.01%～0.2%；
10.外形尺寸（长×宽×高）：
50×38×25mm
2
19
直流电源（3000V）（配件）
性能指标不低于DW-P302-1F74
1.工作环境：
-10℃～+50℃（商业级）
2.输入电压：
DC24V±10%
3.基准电压输出：
±5VDC±2%，IR＞1mA
4.输出电流：
1mA
5.温度系数：
≤50ppm/℃
6.漂移：
≤0.05%/h
7.纹波系数：
0.01%～0.1%
8.电压调整率：
0.01%～0.05%
9.负载调整率：
0.01%～0.2%
10.外形尺寸（长×宽×高）：
76×64×23mm
1
20
直流电源（20XXV）（配件）
性能指标不低于DW-P202-0.5F33
1.工作环境：
-10℃～+50℃（商业级）
2.输入电压：
DC24V±10%
3.基准电压输出：
±5VDC±2%，IR＞1mA
4.输出电流：
0.5mA
5.温度系数：
≤50ppm/℃
6.漂移：
≤0.05%/h
7.纹波系数：
0.01%～0.1%
8.电压调整率：
0.01%～0.05%
9.负载调整率：
0.01%～0.2%
10.外形尺寸（长×宽×高）：
60×38×25mm
2
21
直流电源（10000V）（配件）
性能指标不低于DW-P103-0.1F53
1.工作环境：
-10℃～+50℃（商业级）
2.输入电压：
DC24V±10%
3.基准电压输出：
±5VDC±2%，IR＞1mA
4.输出电流：
0.1mA
5.温度系数：
≤50ppm/℃
6.漂移：
≤0.05%/h
7.纹波系数：
0.05%～0.1%
8.电压调整率：
0.01%～0.1%
9.负载调整率：
0.01%～0.5%
10.外形尺寸（长×宽×高）：
100×70×50mm
1
22
水冷机AC2600B（配件）
1.★制冷量：
2600W（25℃）
2.输出温度范围：
5～35℃
3.控温精度：
±1℃
4.水箱大小：
26L
5.额定输出扬程：
17m
6.出水口压力：
0.8～2.0bar
7.额定输出流量：
12～25L/min
8.温控方式：
启停式温控系统
9.过滤装置：
10μm
10.进出水管径：
Rc8mm（可更改）
11.水箱尺寸：
Φ326×330mm（直径×高度）
12.机器尺寸：
490×580×820mm（宽×深×高）
13.报警信号：
水位报警、超温报警、高低压报警
1
23
真空计（配件）
1.测量范围：
连续测量（自动模式）1×105～1×10-5Pa；独立测量（手动模式）电阻单元1×105～1×10-1Pa，电离单元5～1×10-5Pa
2.测量路数：
2低3高
3.控制范围：
电阻单元2.5×103～1×100Pa，电离单元1×100～1×10-4Pa
4.控制路数：
4路，可扩展至8路
5.控制精度：
±1%
6.控制方式：
继电器触点输出，负载能力AC220V/3A，无感负载
7.去气方式：
焦耳去气
8.采样时间：
1s
9.电源：
90-260V/50Hz或220V±10%/50Hz
10.显示：
LED数字显示
1
24
电离规（配件）
1.测量范围：
4-1×10-5Pa
2.X射线极限：
＜1×10-6Pa
3.规管灵敏度：
0.15±15%/Pa
4.灯丝电压：
1.3V
5.灯丝电流：
2.5A
6.灯丝对地电位：
25V
7.栅极对地电位：
200V
8.栅极电流（发射电流）：
0.1/1mA
9.收集极对地电位：
0V
10.焦耳（I2R）除气：
栅极电压11V，栅极电流3A
11.真空连接形式：
CF16/CF25/CF35
12.烘烤温度：
450℃
3
25
热偶规（配件）
1.测量范围：
1×105-1×10-1Pa
2.灯丝材料：
钨丝（或铂丝或镍铬丝）
3.灯丝冷阻：
86.5±1.7Ω（23±3℃）
4.灯丝温度：
40-300℃
5.零散性：
≤±25%（3×103～1×10-1Pa）
6.真空连接形式：
KF16/KF25/KF40
7.烘烤温度：
80℃
2
26
电磁阀-1（配件）
1.适用范围：
适用范围：
105～10-2Pa
2.阀门漏率：
≤6.7×10-3Pa.L/s
3.适用温度：
-30～+50℃
4.线围温升：
≤65℃
5.开闭时间：
≤3s
6.电源电压：
220V/50Hz
7.口径：
DN25
1
27
电磁阀-2（配件）
1.适用范围：
适用范围：
105～10-2Pa
2.阀门漏率：
≤6.7×10-3Pa.L/s
3.适用温度：
-30～+50℃
4.线围温升：
≤65℃
5.开闭时间：
≤3s
6.电源电压：
220V/50Hz
7.口径：
DN40
1
28
微型高速高真空分配阀
性能指标不低于parker009-0347-900
1.供电电压：
20VDC
2.阀门类型：
惰性非隔离
3.真空压力范围：
1×10-5torr～1250psi
4.阀门孔径：
0.51mm
5.阀门材料：
316不锈钢及PTFE（阀体），FFKM&PTFE（密封材料）
6.阀门形式：
双门常闭
7.泄漏率：
1×10-7atmcc/sec（氦）
8.响应时间：
＜4ms
9.安装类型：
锥形法兰
10.外形尺寸：
33.8×33.8×45.6mm（长×宽×高）
4
进口产品
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插板阀（配件）
1.电源电压：
AC220V/50Hz
2.适用范围：
105～1.3×10-7Pa
3.阀门漏率：
1.3×10-7Pa·L/S
4.阀门烘烤温度：
≤150℃
5.开阀时阀板两侧压力差：
≤2.7×103Pa
6.气源压力：
0.4～0.6MPa
7.通径：
80mm
8.主要尺寸参数：
宽130mm，厚度75mm，阀高608mm
9.法兰标准：
GB/T6071
1
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光学平台
1.结构：
蜂窝内核三层夹心结构
2.表层板：
6.0mm厚度430系列高导磁镍合不锈钢，沙化表面处理
3.边墙：
4.0mm厚度碳钢包裹高阻尼处理木材，聚乙烯材料外包饰
4.底板：
5.0mm厚度碳钢氧化表面处理
5.固有频率：
3.5～6Hz
6.平面度：
≤0.02～0.05mm每600mm*600mm
7.固定螺孔：
公制M6螺纹孔25×25mm栅格，37.5mm边缘
8.螺孔/内核密封：
方便清洁的杯形柱状密封（深度25mm）
9.阻尼形式：
面包板标准阻尼形式
10.承载：
800kg
11.★外形尺寸：
3000×1500×800mm
1
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激光能量计
性能不低于newport843-R-USB
1.★计算机接口：
USB
2.采样频率：
15Hz
3.重复频率：
最高可达25kHzpulses
4.数据存储：
通过USB
5.精度：
±0.25%；±20pA
6.显示模式：
15mm数字显示
7.显示器刷新频率：
15Hz
8.分辨率：
18bitsplussign
9.尺寸：
213*113*40mm
10.RoHS:
Compliant
11.测量速率：
15Hz
1
进口产品
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激光能量计探头
性能不低于newport919P-030-18
1.★光谱范围：
0.19至11µm
2.最大可测量功率：
30W
3.感光尺寸：
Ø17.5mm
4.最大功率密度:
20kW/cm2
5.最大能量密度：
<100ns,0.3J/cm2；0.5ms,2J/cm2；2ms,2J/cm2；10ms,2J/cm2
6.★功率范围:
20mW-30W
7.冷却：
HeatSink
8.端口类型：
DB15
9.上升时间：
0.8s
10.线性度：
±1%
11.重复精度：
±0.5%
12.光斑尺寸相关性:
±0.5%
13.探测器有效面积:
2.40cm2
14.尺寸：
64x64x49mm
15.RoHS:
Compliant
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进口产品
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软件采集系统
包括质谱采集系统和成像后处理系统各1套
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★整套设备集成要求及指标（验收时必须满足指标）
需将上述33项设备或配件集成成整套的原子级原位飞行时间质谱-速度影像光谱联用系统，并满足整套设备的技术指标：
1）腔体真空度指标：
真空度优于10-6Pa。
2）飞行时间质谱质量分辨率：
优于3500
3）选质分辨率优于单位质量分辨（指标样品为197Au+离子）
4）能谱能量分辨率：
优于5%。
5）TOF类型：
反射式飞行时间质谱
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