3.5防静电材料
防静电材料:
一种在与各种材料分离时都能阻止摩擦电产生及最小静电产生的材料。
防静电材料产生的静电场应小于+/-100V。
3.6绝缘材料
绝缘材料的表面电阻:
R≥1012ohm/square
3.7离子风机
一种向空气释放离子为手段。
正离子被吸附到负离子表面而负离子被吸附到正离子表面从而达到中和电荷之效果
4.职责
4.1质量部管理职责
4.1.1发展ESD防护管理和制备适当的测试模式
4.1.2编写并更新ESD培训教材和控制规范
4.1.3依据ESD控制要求，指导并培训ESD负责人
4.1.4每天监控检查是否所有操作工在操作前用腕带测试仪测试自己的鞋子。
4.1.5监控所有操作工在操作前用腕带测试仪测试自己的鞋子。
4.2.3执行对员工的ESD培训。
4.2工程技术部职责
4.2.1执行并维护ESD控制
4.2.2批准新生产设备的ESD防护状况
4.3领班职责
4.3.1领班负责对本规范的执行，记录及保存。
4.3.2需要ESD控制的各个区域的领班最终负责正确的ESD防护用品的使用和坚决执行ESD的需求和程序。
4.3.4如发现设备上的ESD器件发生问题或需修理时领班应通知工程技术部。
4.3.54在工作台被移动过前领班应通知工程技术部以便作移动后的接地保护。
4.3.6一旦发现失效的材料和设备，领班应该更换。
4.4维修工程师
4.4.1按生产领班要求维修ESD工作。
4.4.2对ESD工作站、机器及工作架等进行日常检查和根据文件要求做预防维护。
4.4.3按QA和生产部的要求采取纠正措施。
4.5QA职责
4.5.1对组装和测试区域的不符合项提出整改要求
4.5.2批准并持续批准材料和设备的ESD控制项目
4.6员工职责
4.6.1所有员工在工作区域必须遵守并执行ESD防护。
4.6.2无论何时员工发现有与ESD规范不符，应停止工作并告知其主管。
4.6.3所有人员在切筋、测试、FVI、EVI/包装、后道质检区，都需做腕带测试。
Process
WristStrap
Shoe/Booty
圆片接收
X
√
圆片检验
X
√
贴片
X
√
划片
X
√
二光检验
X
√
装片
X
√
键合
X
√
三光检验
X
√
*塑封
X
√
*塑封后固化
X
√
*电镀
X
√
打印
X
√
切筋/打弯
√
√
外观检验/包装
√
√
4.7.4所有涉及人员在ESD测试通过并在记录纸上记录后方可进入ESD控制区域。
测试频率:
翻班人员每班一次,或常白班人员每天一次.
4.7来访人员职责
进入ESD防护区域的来访人员须穿着ESD鞋并通过ESD测试并记录,或接受指令站立距ESD敏感器件至少12英寸远的地方
5.程序内容：
5.1ESD防护要求
5.1.1个人的接地
5.1.1.1在静电保护区域和工作站接触器件的人员须戴上腕带或穿上防静电鞋。
接地腕带应与工作台或机器连接。
全体人员的腕带或鞋物应每天每班被测量并记录在《静电检查记录表》。
5.1.1.2.当操作工坐着操作设备的时候，必须在需要的区域带好腕带。
5.1.1.3所有的人必须穿好通过检查的防静电鞋或带上手腕才能进入放置产品的地方。
5.1.2手腕带，防静电鞋
5.1.2.1所有的员工在操作半导体产品的时候必须带好手腕带。
只有在移动产品或不可能带手腕带的地方可除外。
5.1.2.2如果腕带或防静电鞋不合格，操作工或其他人员必须经质量部确认，必要时更换新的。
5.1.2.3腕带的测量电阻应该在0.75Mohms到10Mohms之间。
5.1.2.4操作工穿上防静电鞋之后，人体和导电（或消散）地板间应0.75Mohms到100Mohms之间
5.1.3防护服
5.1.3.1所有的员工必须穿ESD防护服和防护帽。
5.1.3.2ESD防护服必须有传导的条线，不应产生超过+/-100伏的静电电压。
5.1.3.3ESD防护服必须每月定期测量，并保持记录。
5.1.4防护工作台表面
5.1.4.1有可能与单独器件直接接触的非抗静电工作台表面须铺有静电吸收垫。
该垫子应与接地工作台连接，必须用螺钉固定在工作台上，且用导线连通。
5.1.4.2工作台面的静电消散阻抗应该在105~109ohms
5.1.4.3每个ESD工作台必须连接到ESD接地点。
从静电消散的工作表面到接地点应该是105~109ohms
5.1.4.4静电消散工作台表面应该被每月度定期地测量并保留记录。
5.1.4.5在使用静电消散桌不实际的特殊应用的地方，不锈钢桌子可以被使用。
5.1.4.6各种工作台必须被识别和控制，应有辨认的号码。
5.1.5工作椅
5.1.5.1生产线上工作椅的表面电阻应在105ohms到109ohms之间，椅面到消散地板的电阻应在105ohms到109ohms之间。
5.1.6传导的或消散地板
5.1.6.1传导的或消散地板的表面电阻应该在105到109ohms之间.
5.1.6.2传导的或消散地板应连接到大地且表面。
传导地板到地的电阻应在105到109ohms之间
5.1.6.3地板应该被定期地清洁，测量，并保持记录。
5.1.7架子和氮气柜
5.1.7.1架子和氮气柜不必接地,但支架必须是导电材料,并且所有ESDS器件必须在ESD保护包装中.
5.1.7.2架子和氮气柜的工作表面到静电消散地板表面的电阻应在105到109ohms之间
5.1.7.3架子和氮气柜需要定期检查和记录.
5.1.8有源设备接地
5.1.8.1在ESD安全工作站的所有的有电源的设备应该被接地通接地插座。
注：
设备接地是指插座里被测试和达到地方要求的地线（绿线）。
5.1.8.2所有的有电源的设备应该接地从设备机身（底盘）到地线，防止电冲击。
5.1.8.3所有有电源的设备应该用绝缘材料从工作台和地板隔离开。
5.1.9无源设备接地
5.1.9.1所有的无电源的设备应该接地从设备机身（底盘）到地线。
5.1.10接地连接
固定连接装置类似于金属夹,吸合器及香蕉插头应被连接于指定接地点.线的结合应缠绕或焊接.鳄鱼夹是不被推荐使用的.
5.2材料的批准
5.2.1质量部提供ESD材料的测试报告给采购部，采购部根据测试报告保持一个被批准的ESD材料供应商清单。
5.2.2使用新的防静电材料需要通过IQA来料检查。
5.2.3在工作站的材料不应该产生超过+/-100伏的摩擦电荷,表面电阻在105~1012ohms/sq。
5.2.4其他材料包括:
5.2.4.1料盘
用于放置静电敏感器件的盘子应该有105~1012的表面电阻。
摩擦电荷不超过+/-100伏。
5.2.4.2防静电料管
用于放置静电敏感器件的条管应该是防静电的或传导的材料。
该105~1012的表面电阻。
擦电荷不超过+/-100伏。
5.2.4.3防静电袋
所有的纸（随件单）等应被放在防静电的或静电消散的袋子里。
不允许纸和静电敏感器件直接接触。
该有105~1012的表面电阻。
摩擦电荷不超过+/-100伏。
5.2.4.4手套和手指套
只有防静电的或传导的手套和手指套可以被使用在工作区。
该有105~1012的表面电阻，擦电荷不超过+/-100伏。
5.2.5静电电压的控制水平
所有生产工序中产生的静电电压应该在+/-100伏以内。
5.2.6保护区
5.2.6.1如果ESD警告标签损坏了，发现者应该通知部门主管，由对应部门进行修复。
5.2.6.2如果要建立新的生产线，由生产部把ESD警示标签贴上去。
5.2.6.3所有ESD和非ESD区域应该用不同的警示牌加以区分。
5.3将静电充电减至最小的方法
5.3.1电荷积累的预防/中和方法包括，抗静电液体的处理，相对湿度控制，离子风机和ESD防护服或其他方法。
5.3.2抗静电液体
抗静电化学品（抗静电液体）可以用于防止工作或存储区域可产生静电荷的材料上，防止静电电荷的产生。
在抗静电化学品的应中，用者应考虑以下几点：
5.3.2.1应选择让ESDS器件免受污染的抗静电液体
5.3.2.2抗静电液体不适用于器件或包装直接暴露于喷雾中
5.3.3相对湿度控制
相对湿度对静电的产生有重要的关系，它的控制参考《生产环境管控程序》。
5.3.4离子风机
5.3.4.1桌上的离子风机必须被安置于适当位置，以达到可以覆盖厂商指定的区域。
离子风机须对准器件和操作工的手，而不是对准操作工。
5.3.4.2器件不应太靠近离子风机，以至于超过离子发生器厂商指定的最小距离
离子风机正面至器件的最小距离为30厘米。
在离子风机不可能安装在足够距离的地方,例如小型设备内,必需安装在可能最远的位置上.
桌上离子风机正面到被操作器件的最大距离为100厘米.如果是其他型号的桌上离子风机需用于生产线，须根据离子中和功能试验出最大使用距离。
5.3.4.3离子发生器与无保护的器件之间应是自由的直接的空气流通
5.3.4.4操作离子风机的操作工应该在工作结束后（例如:
PM,calibration和layoutchange等）确认离子风机，处理和重新安装朝着device的方向。
5.3.5ESD防护服
5.3.5.1任何时候ESD防护服的穿着者在ESD防护工作区或指定的ESD防护区内必须扣紧防护服
5.3.5.2必须依从ESD防护服厂商的清洁指导以得到最大的效力和效用
5.3.6手套/指套
只有棉手套，抗静电/导电手套或抗静电/导电指套可被使用于操作ESDS器件
5.4测试方法
5.4.1腕带
目视检查:
被损坏或污染视为不合格
每天用腕带/鞋类测试仪进行快速检查，在A和C之间（0.75Mohms5.4.2防静电鞋
目视检查:
被损坏或穿破视为不合格。
每天用腕带测试仪进行快速检查。
5.4.3工作台
接地点连接检查:
接地线断开或松弛连接在接地点上视为不合格.公共接地点或腕带插座松弛视为不合格。
桌子接地点到接地点电阻：
<2ohms
垫子表面电阻:
105~109ohms
垫子表面到接地点:
105~109ohm
5.4.4地板
用表面电阻仪测地板垫子的表面电阻。
地板垫子的表面电阻必须在105到109之间。
地板垫子到接地线的电阻必须在105到109之间。
5.4.5防静电服
5.4.5.1采样率：
每季度全体。
5.4.5.2目检防静电服的外观，导电格或线是否连续。
5.4.5.3用静电场强计测量防静电服的抗静电特性
5.4.5.3.1让某人穿上ESD导电服，确保他是通过脚套接地的。
5.4.5.3.2用静电场强计测量ESD导电服的场强（距离ESD导电服1英寸）。
5.4.5.3.3读数应小于100静电伏特。
测量2次，并记录在记录表上。
5.4.5.4用表面电阻计测量ESD导电服的表面电阻。
5.4.5.4.1将ESD导电服放在一平的表面上，并在衣服上放上表面电阻计。
5.4.5.4.2测量读数，读数应小于1012，记录在记录表上。
5.4.5.5防静电服的使用寿命控制
5.4.5.5.1操作工包括QC检验工和线上维修工服装的有效期根据入厂日期为两年。
5.4.5.5.2工程师，技术员，培训员等服装的有效期根据入厂日期为两年
5.4.5.5.3企划，质量，营销，和部门领导等非一线员工服装的有效期根据入厂日期为三年
5.4.5.5.4当到期时，有关部门应在一个月前把相关的人员名单交于仓库，仓库负责旧的收集和新的发放
5.4.5.5.5当需要而过期发生时，必须在经QA检查合格后方可使用，但期限不超过半年
5.4.5.6防静电服装的防护
5.4.5.6.1操作工及QA检验员每人2件防静电服
5.4.5.6.2定期清洗一次防静电服
5.4.5.6.3须对损坏的防静电服进行修理，如拉链损坏，袖口松开等。
该防静电服无法修复，应立即更换。
5.4.6架子和氮气柜
5.4.7ESD材料
用表面电阻仪来测量导电的，消散的和防静电材料的表面电阻，用场强仪测量摩擦电压。
5.4.8机器接地
5.4.8.1有源设备
底盘接地电阻:
在A和B之间（最大10欧姆）
轨道接地电阻:
在C和B之间（最大10欧姆）
公共接地点或腕带插座电阻：
最大10M欧姆（推荐电阻小于10欧姆）
连接检测：
松弛视为不合格。
5.4.8.2无源设备
直接接地:
在A和B之间（最大10欧姆）
间接接地:
在A和B之间（最大35兆欧）
5.4.9ESD椅子
表面到地板的电阻:
105~109ohms
5.4.10静电鞋/腕带测试仪
5.4.10.1设备的校正应参照《测定仪器管控程序》。
5.5整改措施
5.5.1若发现某区域ESD防护不当，则该区域生产须停止直到问题被解决为止。
5.5.2所有ESD器件须从关闭区域转移到ESD安全区域
5.5.3若发现有ESD防护不当,失效原因和失效情况必须被纠正及记录,记录必须被存档保留.
5.6计量
所有的测试、测量设备的校正应参照《测定仪器管控程序》来进行。
6.安全
安全性须根据操作安全规范定义。
7.引用文件
7.1《测定仪器管控程序》
7.2《生产环境管控程序》
8.记录保存
8.1ESD警示培训
8.1.1所有操作ESD敏感器件的人员须接受最基本的ESD警示培训及至少每年一次的再培训。
8.1.2进入ESD防护区域的人员须接受ESD警示培训或站在ESD敏感器件防静电区域以外
8.1.3ESD警示培训必须包括静电原理，本规范相应部分的简介及在工作区域的实际运用。
8.1.4培训记录应为每个员工保留。
培训记录应至少需要包括培训时间，课程长度，主题及培训员姓名。
记录必须保留至少2整年。
8.2ESD检查记录
附件的检查记录至少保持一年，连续监控项目和目视检查无记录要求。
8.2.1合格的电阻和电势测量结果可被记录为数值或通过。
8.2.2不合格的项目，当测量设备可以提供数值时必须被记录为数值。
另外，必须记录为失效。
9.流程图
无
10.附件
序号
项目
项目NO
检查项目
规范
发生部门
责任部门
频率
样本数
规格
1
手腕带
1
目视检查
1次/季度
100%
是否损坏
生产部
质量部
2
电阻值测量
1次/天
100%
0.75~10M
生产部
生产部
2
防静电鞋
3
目视检查
1次/季度
100%
4
电阻值测量
1次/天
100%
0.75~100M
生产部
生产部
3
防静电工作台和不锈钢工作台
5
接地线接地目视检查
1次/季度
100%
正确接地
工程技术
工程技术
6
接地点
1次/月
100%
﹤2欧姆
工程技术
质量部
7
表面电阻
1次/月
100%
105Ω~109Ω
生产部
质量部
8
防静电垫接地
1次/月
100%
105Ω~109Ω
生产部
质量部
9
桌子移动
每次发生
100%
N/A
生产部
质量部
4
防静电地板
10
表面电阻
1次/月
5点
105Ω~109Ω
全车间
质量部
11
防静电地板接地
1次/季度
5点
105Ω~109Ω
全车间
质量部
5
防静电服
12
静态电压
1次/季度
100%
±100v
全车间
质量部
6
氮气柜
13
工作表面到静电消散地板表面
1次/季度
100%
105Ω~109Ω
工程技术
质量部
7
防静电椅
14
表面到地板的电阻
1次/季度
100%
105Ω~109Ω
生产部
质量部
出师表
两汉：
诸葛亮
先帝创业未半而中道崩殂，今天下三分，益州疲弊，此诚危急存亡之秋也。
然侍卫之臣不懈于内，忠志之士忘身于外者，盖追先帝之殊遇，欲报之于陛下也。
诚宜开张圣听，以光先帝遗德，恢弘志士之气，不宜妄自菲薄，引喻失义，以塞忠谏之路也。
宫中府中，俱为一体；陟罚臧否，不宜异同。
若有作奸犯科及为忠善者，宜付有司论其刑赏，以昭陛下平明之理；不宜偏私，使内外异法也。
侍中、侍郎郭攸之、费祎、董允等，此皆良实，志虑忠纯，是以先帝简拔以遗陛下：
愚以为宫中之事，事无大小，悉以咨之，然后施行，必能裨补阙漏，有所广益。
将军向宠，性行淑均，晓畅军事，试用于昔日，先帝称之曰“能”，是以众议举宠为督：
愚以为营中之事，悉以咨之，必能使行阵和睦，优劣得所。
亲贤臣，远小人，此先汉所以兴隆也；亲小人，远贤臣，此后汉所以倾颓也。
先帝在时，每与臣论此事，未尝不叹息痛恨于桓、灵也。
侍中、尚书、长史、参军，此悉贞良死节之臣，愿陛下亲之、信之，则汉室之隆，可计日而待也
。
臣本布衣，躬耕于南阳，苟全性命于乱世，不求闻达于诸侯。
先帝不以臣卑鄙，猥自枉屈，三顾臣于草庐之中，咨臣以当世之事，由是感激，遂许先帝以驱驰。
后值倾覆，受任于败军之际，奉命于危难之间，尔来二十有一年矣。
先帝知臣谨慎，故临崩寄臣以大事也。
受命以来，夙夜忧叹，恐托付不效，以伤先帝之明；故五月渡泸，深入不毛。
今南方已定，兵甲已足，当奖率三军，北定中原，庶竭驽钝，攘除奸凶，兴复汉室，还于旧都。
此臣所以报先帝而忠陛下之职分也。
至于斟酌损益，进尽忠言，则攸之、祎、允之任也。
愿陛下托臣以讨贼兴复之效，不效，则治臣之罪，以告先帝之灵。
若无兴德之言，则责攸之、祎、允等之慢，以彰其咎；陛下亦宜自谋，以咨诹善道，察纳雅言，深追先帝遗诏。
臣不胜受恩感激。
今当远离，临表涕零，不知所言。
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