WIRD0325镀膜机操作及镀膜工艺指导书共29页文档.docx
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WIRD0325镀膜机操作及镀膜工艺指导书共29页文档
镀膜机操作及镀膜工艺指导书
受控状态及编号
文件编号
GL/WI-RD-03-25
页码
Page1of30
部门
技术部
发布日期
2019年12月9日
拟制
徐威
审核
批准
变更履历
1
2019-05-28
文件整合
将老版文件改为新版的格式
聂旭光
2
2019-08-15
内容新增
1、增加产品镀膜前烘烤要求Page15
周霞
2、增加表单Page20
周霞
3
2019-10-09
客户审核要求
1、增加变更履历Page1
杨莎
2、去掉产品镀膜前烘烤要求Page15
周霞
3、5#镀膜机增加光栅增透Page15
聂旭光
4
2019-04-29
内容新增
新增镀膜应急情况处理办法Page7.8
冯浩
5
2019-09-09
内容新增
Page12
冯浩
6
2009-04-13
内容变更
更新3#镀膜机作业流程Page9-14
何健
7
2009-04-24
内容新增
新增4#镀膜机作业流程Page19-21
何健
8
2009-05-18
客户审核要求
新增镀膜产品切换要求Page21
何健
9
2009-08-05
文件整合
全部更新全文
冯浩
10
2019-01-15
内容变更
1.变更4#5#6#机台清洗周期2变更4#工艺参数
冯浩
11
2019-04-7
内容新增
1.新增7.95um/10.8um光栅镀膜工艺page9-14
2.增加405nm增透工艺page20
徐威
12
2019-7-28
内容变更
1.变更3#镀膜机保养规范Page13
2.变更4#镀膜机工艺参数Page18-22
3.变更5#镀膜机工艺参数Page25-26
4.变更6#镀膜机工艺参数Page30
徐威
袁超
13
2019-9-13
内容新增
新增《镀膜工艺卡片》Page18，32
叶小兵
14
2019-9-20
内容新增
新增3#，4#镀膜机烘烤温度点检要求
冯浩
15
2019-4-18
内容新增
新增镀膜工艺卡片三洋BD414蓝光偏小AR、正常AR、偏大AR
徐威
16
2019-11-21
文件整合
全部更新全文
靖泽兵
17
2019-12-30
内容变更
部分内容调整Page3.4.7
靖泽兵
18
2019-2-8
内容变更
表单变更Page28
靖泽兵
19
2019-3-12
内容变更
表单变更Page28
靖泽兵
20
2019-5-21
内容新增
1.增加测温时机，时机为停机大于等于24小时后测温。
2.明确8.2.4中C条处理办法
靖泽兵
21
2019-12-26
内容变更
表单变更Page28
靖泽兵
22
2019-1-5
内容新增
新增阳极筒更换注意事项Page16
徐威
23
2019-1-14
内容新增
1.新增清扫注意事项及膜料存放要求Page3、4
2.新增下伞条件Page8
3.新增离子源存放要求Page16
4.变更设备清洗流程Page13、15、20、22
5.变更配件更换要求Page14、21
徐威
24
2019-12-9
应客户要求
增加《产品面别一览表》Page29-30
杨莎
25
2019-4-23
内容变更
Sio2加料变更Page4
徐威
一、目的
要练说，先练胆。
说话胆小是幼儿语言发展的障碍。
不少幼儿当众说话时显得胆怯：
有的结巴重复，面红耳赤；有的声音极低，自讲自听；有的低头不语，扯衣服，扭身子。
总之，说话时外部表现不自然。
我抓住练胆这个关键，面向全体，偏向差生。
一是和幼儿建立和谐的语言交流关系。
每当和幼儿讲话时，我总是笑脸相迎，声音亲切，动作亲昵，消除幼儿畏惧心理，让他能主动的、无拘无束地和我交谈。
二是注重培养幼儿敢于当众说话的习惯。
或在课堂教学中，改变过去老师讲学生听的传统的教学模式，取消了先举手后发言的约束，多采取自由讨论和谈话的形式，给每个幼儿较多的当众说话的机会，培养幼儿爱说话敢说话的兴趣，对一些说话有困难的幼儿，我总是认真地耐心地听，热情地帮助和鼓励他把话说完、说好，增强其说话的勇气和把话说好的信心。
三是要提明确的说话要求，在说话训练中不断提高，我要求每个幼儿在说话时要仪态大方，口齿清楚，声音响亮，学会用眼神。
对说得好的幼儿，即使是某一方面，我都抓住教育，提出表扬，并要其他幼儿模仿。
长期坚持，不断训练，幼儿说话胆量也在不断提高。
为了规范镀膜作业员镀膜操作，特制定该文件。
宋以后，京师所设小学馆和武学堂中的教师称谓皆称之为“教谕”。
至元明清之县学一律循之不变。
明朝入选翰林院的进士之师称“教习”。
到清末，学堂兴起，各科教师仍沿用“教习”一称。
其实“教谕”在明清时还有学官一意，即主管县一级的教育生员。
而相应府和州掌管教育生员者则谓“教授”和“学正”。
“教授”“学正”和“教谕”的副手一律称“训导”。
于民间，特别是汉代以后，对于在“校”或“学”中传授经学者也称为“经师”。
在一些特定的讲学场合，比如书院、皇室，也称教师为“院长、西席、讲席”等。
二、适用范围
其实,任何一门学科都离不开死记硬背,关键是记忆有技巧,“死记”之后会“活用”。
不记住那些基础知识,怎么会向高层次进军?
尤其是语文学科涉猎的范围很广,要真正提高学生的写作水平,单靠分析文章的写作技巧是远远不够的,必须从基础知识抓起,每天挤一点时间让学生“死记”名篇佳句、名言警句,以及丰富的词语、新颖的材料等。
这样,就会在有限的时间、空间里给学生的脑海里注入无限的内容。
日积月累,积少成多,从而收到水滴石穿,绳锯木断的功效。
本文件适用于参与镀膜操作的全体人员。
三、设备及辅助材料
3.11#：
昭和真空镀膜机；
3.22#：
昭和真空镀膜机；
3.33#：
莱宝真空镀膜机；
3.44#：
韩一真空镀膜机；
3.55#：
现代南光ZZS1100真空镀膜机；
3.66#：
现代南光ZZS1100真空镀膜机；
3.7其它设备及辅助材料：
镀膜材料、吸尘器、铜刷、锤子、镊子、丙酮、口罩、手套。
四、镀膜机制作产品范围
编号
名称
适用产品
4.1
1#昭和镀膜机作业流程
全反、增透膜等
4.2
2#昭和镀膜机作业流程
全反、增透膜等
4.3
3#莱宝镀膜机作业流程
光栅、滤光片、分光、全反、增透膜等
4.4
4#韩一镀膜机作业流程
滤光片、分光、全反、增透膜等
4.5
5#南光镀膜机作业流程
分光、增透膜等
4.6
6#南光镀膜机作业流程
增透膜等
4.7
镀膜产品切换要求
生产中减少产品切换频率
五、镀膜作业内容
后留下一工序
5.1镀膜流程图
OK
NG
报废
产品性能检查
光控、晶控确认
添料
清扫
开机
关机
下伞
进气
镀膜
排气
（抽真空）
上伞
5.2镀膜操作说明
昭和
莱宝
韩一
南光
开机
参考设备部文件
参考设备部文件
参考设备部文件
参考设备部文件
清扫
清扫完毕
清扫电子枪周边防护板
清扫遮料板
清扫洁坩埚周边
清扫支架
清扫镀膜机四周防护板
盖住坩埚
1、使用工具：
铜刷和吸尘器
2、清扫流程：
※注意事项：
⑴整个清洁过程中操作人员必须戴口罩、手套；
⑵遮料板每罩清扫，每3罩反射镜更换1次，并拆网喷砂处理。
（3）用铝纸包的护板每5罩反射镜（35罩AR）须更换。
添料
1、添加SiO2时，先将坩埚周围卫生清洁再将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料。
添加时，用添料勺一边添加一边压紧，最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。
2、添加TiO2时，需将前一次熔出的坑填平。
※添加膜料注意相对应坩埚序号，及所需添加的材料名称；
※膜料添加完毕后，需将坩埚周边的多余膜料清除干净。
膜料的存放要求：
1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存
2、已开启的膜料，0.5KG以内的放1包干燥剂，0.5KG以上的放2包干燥剂。
SiO2添加图
SiO2添加后图：
TiO2添加后图：
1、添加SiO2时，先将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料，添加时，用专用治具一边添加一边压紧（见图示），最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。
2、添加Ti3O5时，将前一次熔出的坑填平即可。
3、添加ZrO2时，只需将前次使用的膜料取出，更换成新膜料即可，膜料必须放置到坩埚中心位置。
※添加膜料注意相对应坩埚序号，及所需添加的材料名称；
※膜料添加完毕后，需将坩埚周边的多余膜料清除干净。
膜料的存放要求：
1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存
2、已开启的膜料，0.5KG以内的放1包干燥剂，0.5KG以上的放2包干燥剂。
SiO2添加图
SiO2添加后图
SiO2添加后图：
TiO2添加后图：
1、添加SiO2时，先将坩埚周围卫生清洁再将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料，添加时，用添料勺一边添加一边压紧（见图示），最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。
2、添加TiO2时，将前一次熔出的坑填平即可。
3、添加Si时，添加的膜料需低于坩埚边缘2mm～3mm。
※添加膜料注意相对应坩埚序号，及所需添加的材料名称；
※膜料添加完毕后，需将坩埚周边的多余膜料清除干净。
膜料的存放要求：
1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存
2、已开启的膜料，0.5KG以内的放1包干燥剂，0.5KG以上的放2包干燥剂。
SiO2添加图
SiO2添加后图：
TiO2添加后图：
1、添加SiO2时，先将坩埚周围卫生清洁再将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料，添加时，用专用治具一边添加一边压紧（见图示），最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。
2、添加TiO2时，需将前一次熔出的坑填平即可。
3、添加Si时，添加的膜料需低于坩埚边缘2mm～3mm。
※添加膜料注意相对应坩埚序号，及所需添加的材料名称；
※膜料添加完毕后，需将坩埚周边的多余膜料清除干净。
膜料的存放要求：
1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存
2、已开启的膜料，0.5KG以内的放1包干燥剂，0.5KG以上的放2包干燥剂。
SiO2添加图
SiO2添加后图：
TiO2添加后图：
光控、晶控确认
每罩均需更换光控片
1、镀FM时更换20个光控片；
2、镀AR时更换4个光控片。
※更换过程中注意保持光控片表面洁净。
※更换后需在《镀膜原始数据记录表》中做好更换记录。
使用光控时：
每罩均需更换光控片，同时检查晶振寿命值，寿命值＞10时必须更换晶振片；
单独使用晶控时，每罩检查晶振寿命值：
1、镀GT产品时，晶振寿命值＞3时必须更换晶振片；每更换阳极筒时也必须更换晶振片
2、镀除GT以外其它产品时，晶振寿命值＞8时必须更换晶振片；
3、晶振片更换好后，需检查晶振频率是否正常显示，寿命值是否为0，若不是，则需重新更换。
※更换过程中注意保持光控/晶控片表面洁净；
※※更换后需在《镀膜原始数据记录表》中做好更换记录。
使用光控时：
每罩镀膜前需检查光控片使用状况，并根据下罩镀膜产品决定是否需要更换光控片（例：
光控共40个点，若已用28个点，而下一罩需要用16个点，则28+16=44＞40，故在镀下一罩之前需更换光控片），同时检查晶振寿命值，寿命值＞16时必须更换晶振片；
单独使用晶控时：
检查晶振寿命值，寿命值＞10时必须更换晶振片；
晶振片更换好后，需检查晶振频率是否正常显示，寿命值是否为0，若不是，则需重新更换。
※更换过程中注意保持光控/晶控片表面洁净；
※更换后需在《镀膜原始数据记录表》中做好更换记录。
1、检查晶振片寿命值，寿命值＜96%时，必须更换晶振片。
2、晶振片更换好后，需检查晶振频率是否正常显示，寿命值是否≥98%，若不是，则需重新更换。
※更换过程中注意保持光控/晶控片表面洁净；
※更换后需在《镀膜原始数据记录表》中做好更换记录。
上伞
将装好镜片的伞架放置到镀膜机工件架上，并确认是否放置到位。
※上伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。
将装好镜片的伞架放置到镀膜机工件架上，并确认是否放置到位。
※上伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。
将装好镜片的伞架放置到镀膜机工件架上，并确认是否放置到位。
※上伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。
参考《镀膜装取片作业指导书》GL/WI-RD-13-02
排气
（抽真空）
1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿，以防脏污影响抽真空速度；
2、关闭真空室门，点击面版上的“排气开始”键,进入自动排气、加热状态。
※记录开始排气的时间点
3、检查镀膜机自动运行状态：
“PowerSupply”是否保持“ON”状态。
1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿，以防脏污影响抽真空速度；
2、关真空室门，按VENT键（关放气阀），设备即进入抽真空状态。
※记录开始排气的时间点
1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿，以防脏污影响抽真空速度；
2、关闭真空室门，按一下“RUN”键，设备进入自动排气、加热状态。
※记录开始排气的时间点
3、检查自动运行的几个AUTO开关状态：
ROTATION，POCKET，SHUTTER，HEATER，APC（RVC300；充氧需要），电子枪、加热是否均为EXT模式。
※熔Si时需手动熔料
1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿，以防脏污影响抽真空速度；
2、关闭真空室门，同时开烘烤，进入排气状态。
※记录开始排气的时间点
※在抽真空同时要如实记录抽真空时间。
3、预熔膜料
※SiO2膜料不需要预熔。
镀膜
镀膜制程文件选择：
镀膜机电脑操作软件界面中依次选择：
“成膜实行”→“镀膜条件名选择”（根据产品制造单产品名称选择镀膜制程文件，如：
FM-23I81选择制程文件“M-23I81”）→“成膜开始”，则设备进入自动运行状态。
※在整个自动过程中，注意调整电子束光斑的位置和大小。
※镀膜过程中需观察光控曲线极值点走势是否正常，进氧是否正常,真空度是否稳定,若不正常则需在《镀膜原始数据记录表》中记录异常状况。
1、按STEP键、再按8键，检查程序编辑是否正确。
2、按STEP键，再按7键，检查所镀膜系是否正确。
3、按AUTO键、START键，则设备进入自动运行状态。
※在整个自动过程中，注意调整电子束光斑的位置和大小。
※镀膜过程中需观察监控速率是否稳定，束流是否正常，进氧是否正常,真空度是否稳定,若不稳定则需在《镀膜原始数据记录表》中记录异常状况。
检查镀膜程序调用是否正确，若确认无误，单击HOPE程序界面中绿色START键，则设备进入自动运行状态。
※在整个自动过程中，注意调整电子束光斑的位置和大小。
※镀膜过程中需观察监控速率是否稳定，束流是否正常，进氧是否正常,真空度是否稳定,若不稳定则需在《镀膜原始数据记录表》中记录异常状况。
1、当真空度达到3.0E-3Pa且抽真空时间达到2小时时可进行镀膜；
2、镀膜前确认所镀产品型号，寻找该产品的镀膜程序，并根据程序规定进行镀膜。
3、镀膜完成后关闭烘烤保持高真空5分钟后关闭高阀。
※镀膜时同种膜料的光斑放置位置要一致，光斑扫描大小要一致。
※电子枪电流调节不可忽大忽小，时常使用的电流调节位置做好标记，以便下次使用时参考。
※Si膜料镀完后要将坩埚中的膜料突起熔平才能旋转坩埚，以免坩埚卡住。
※当镀膜过程中发现膜料喷溅时，需及时关闭蒸发挡板，并记录此时晶振所显示的厚度值，待膜料预溶至无喷溅现象时方可继续镀膜。
※镀膜过程中需观察监控速率是否稳定，束流是否正常，进氧是否正常,真空度是否稳定,若不稳定则需在《镀膜原始数据记录表》中记录异常状况
进气
1、镀膜完成后，镀膜机触膜屏控制面板上“排气系”界面自动进入“大气”状态。
2、若需手动放气，在镀膜机触膜屏控制面板上“排气系”界面选择“手动”→关闭“MV1\MV2”→（Polycold开始除霜，35℃时除霜完成）→点击“W\SW”（开始进气）。
※开门时间点需记录到《镀膜原始数据记录表》中。
1、镀膜完成后等待腔体门自动打开；
2、若需手动放气，则按下VACUUMSELECT菜单中放气阀VENT键。
※开门时间点需记录到《镀膜原始数据记录表》中。
1、镀膜完成后，镀膜机将按以下顺序动作：
MVOFF（设定时间），HEATEROFF（设定时间），ROTAT10NOFF冷却结束（设定时间），LV开，充气，开门。
2、若需手动放气，则待POLYCOLD除霜结束后按下白色VENT键等待自动开门。
※开门时间点需记录到《镀膜原始数据记录表》中。
温度降至220℃后打开放气阀待真空室门自动打开。
※开门时间点需记录到《镀膜原始数据记录表》中。
下伞
将伞架从镀膜机工件架上取下，放置到净化工作台中。
※下伞时需带石棉网手套，避免烫伤；
※下伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。
将伞架从镀膜机工件架上取下，放置到净化工作台中。
※下伞时需带石棉网手套，避免烫伤；
※下伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。
将伞架从镀膜机工件架上取下，放置到净化工作台中。
※下伞时需带石棉网手套，避免烫伤；
※下伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。
参考《镀膜装取片作业指导书》GL/WI-RD-13-02
※
1.当车间温度低于22℃时，每罩产品镀完膜后等温度降至200℃以下开进气阀，开门后等温度降至50℃以下取伞。
2.当车间温度高于22℃时，按照原工艺进行生产。
机
参考设备部文件
参考设备部文件
参考设备部文件
参考设备部文件
5.3镀膜后自检
5.3.1光学性能检查：
A.镜片冷却至常温后，取1、3、5圈各一片，测试光学性能（见测试清单），并按镀膜批号保存好镀膜曲线；
B.光栅产品冷却至常温后，每圈伞片边缘各取一片，去胶并测试衍射比值；
C.若测试光学性能OK，则将测试片归还到吸塑盒中原位置后，将测试曲线与对应产品一同后流品质抽检；
D.若测试光学性能NG，则及时通知当班组长，当班组长若能自行调整则调整后再知会项目负责人，若不能自行调整则第一时间通知产品负责人，待产品负责人制定调整方案后再做调整，调整状况均需详细记录到《镀膜原始数据记录表》中。
5.3.2外观检查：
A.每罩取测试了光学性能的3片产品进行外观检查；
B.检查方式：
置于强光灯下，目视检查；
C.检查项目：
麻点、喷点、雾状、手指印、水渍等；
D.处理方法：
3片中只要发现有1片不良，及需上报当班组长，由组长确认是否可继续生产，当组长不能判定时，需上报项目负责人，由项目负责人确定是否可继续生产，同时项目负责人需制定改善方案。
六、膜料更换及使用
6.1膜料更换
膜料名称
SiO2
Si
TiO2Ti3O5Ta2O5
Nb2O5Al2O3H4
M1
常规
更换周期
每次洗设备后更换
≤15天（15天为蒸着使用时间）
≤15天（15天为蒸着使用时间）
≤20天（（20天为蒸着使用时间）
更换流程
添加新膜料
酒精擦拭
清水冲洗
坩埚
喷砂
将坩埚中的膜料敲出
投入生产
镀膜过程中膜料污染
达到规定使用天数
熔料
有杂质或严重污染
局部小面积污染
将污染的膜料敲出
添加新料
※高折射率材料熔料遵循先大光点将膜料颗粒熔化,再中光点进行小范围熔（光点控制成小圆圈路线）,最后小光点大面积的扫描（整个坩埚内全部扫描到,使药品得到充分的溶化）的原则；
※熔料次数≥2次，手动熔料电流控制见附件。
※低折射率材料不需要进行熔料。
※更换膜料后需将更换信息记录到《镀膜原始数据记录表》中。
备注
※此药品属于使用量比较小的药品,在平时使用过程中选择小瓶盛装拿起使用,原装的大瓶膜料放入干燥箱中保管.
※此药品属于使用量比较小的药品,在平时使用过程中选择小瓶盛装拿起使用,原装的大瓶膜料放入干燥箱中保管.
6.2熔料
6.2.1昭和、莱宝镀膜机都是设备自动熔料；
6.2.2韩一镀膜机熔料
当真空达到8.0E-5Torr时进行Si材料预熔，预熔前先将电子枪2调到手动状态并开启电子枪及高压电源，将扫描X、Y分别调整到6慢慢加大束流至100mA等待60s再慢慢加到200mA等待90s这时Si已慢慢熔化，在降束流将至150mA并将扫描X、Y调整到0等待60s，再慢慢加到250mA等待90s，再慢慢加到350mA等待90s，再慢慢加到450mA等待30s，将扫描X、Y分别调整到10并慢慢降束流至200mA等待20s,再慢慢降束流至100mA等待20s，再慢慢降束流至50mA等待20s，再将束流慢慢降到0扫描X、Y分别调整为0，关闭电子枪将其调到自动状态。
熔料曲线：
Tio2/M1
0
50
100
150
200
250
300
350
400
0
100
200
300
400
500
600
700
6.2.3南光镀膜机熔料：
当真空计显示为5.0E-3时,方可预熔膜料。
将工转电压调至100V,熔料，开电子枪灯丝,调节遥控盒上束流使电流表2显示为0.5A预热5分钟，（若用电子枪Ⅰ,则把电子枪选择开关指向枪Ⅰ），开扫描电源,开高压,慢慢加大束流,注意观察真空室内光斑的位置,不断调节X,Y扫描移动光斑,在坩埚的位置,使膜料均匀预熔,当束流达到规定值,膜料预熔放气,直到真空计显示放气量只降不升时,再把光斑放到坩埚中间烧1分钟左右,关电子枪束流,关预置。
※熔Al2O3时将X扫描加一圈Y扫描加半圈
熔料曲线：
七、设备清洗
7.1昭和镀膜机清洗
7.1.1清洗周期
A.镀FM时：
3天/周期（≤15罩FM）；
B.镀AR时：
7天/周期（≤105罩AR）；
C.FM+AR的混合生产时，先安排生产FM,后生产AR,更换周期不超过105罩AR（1罩FM=7罩AR）.
拆卸坩埚周围盖板
7.1.2清洗流程图
放置到干燥柜中
取出镀膜机内坩埚
送喷砂房喷砂
包铝纸的护板需更换新的铝纸
清水冲洗干净
拆卸真空室内的底板、左右护板、伞架、挡板、电子枪护板
清洁加热管边缘，工件架边缘，机内侧壁沉积膜料
用铜刷或刮刀
用酒精擦拭
用吸尘器将粉尘吸除用铝纸将电子枪盖好
清洁电子枪周边
吸除镀膜机内掉落的膜料及粉尘
用酒精擦拭
擦拭扩散泵上方真空室、POLYCOLD管道及真空室内壁
用酒精浸泡并擦拭
用1000#砂纸打磨
清洁电子枪体
更换枪灯丝
安装电子枪、电子枪护板、真空室内的底板、左右护板及挡板
排气测试
护板清洗要求：
拆卸人员与喷砂人员共同填写《昭和镀膜机清洗交接表》
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