清洗工艺指导书.docx

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清洗工艺指导书

清洗工艺指导书

1．目的

介绍清洗工艺的原理，目的，准备工作，操作流程，机械的使用和维护方法

2．内容

1．原理与目的

2．工艺操作流程

3．机械的使用方法

4．机械的维护

3．原理与目的

清洗工艺包括太阳能工艺中所有的湿法处理的过程，分为比表面处理和表面清洁两部分。

表面处理包括减薄和制绒，减薄是处理硅片的表面状况，把表面的机械损伤和表面污垢全都去除的步骤，方法是用30%的NaOH溶液，利用其强效的腐蚀性各向同性腐蚀硅片表面，去处表面的所有物质，处理过的表面将是均匀分布的以晶格形态排列的硅。

制绒是处理硅表面，把类似于镜面的硅晶格表面腐蚀成一片金字塔结构的形态，增大光线的多次反射，更好的吸收光，方法是用1~2%的NaOH溶液，利用其各向异性的腐蚀效果，腐蚀出密布金字塔结构的表面。

表面清洁包括酸洗和洗磷，酸洗是处理硅片绒面以后表面残存的杂质，使表面完全干净无有害的金属离子，SiO2等杂质，方法是首先用H2O2：

HCL：

H2O=1：

1：

6的溶液浸泡去处Na+离子，然后再用HF去除SiO2等杂质，洗磷是去除硅片扩散后表面生成的磷硅玻璃，方法是用10%HF湿法反应去除。

4．工艺操作流程

4.1准备部分

4.1.1进入净化室时必须穿好工作衣、工作鞋，戴工作帽，清洗操作时必须佩戴防酸碱手套和口罩。

4.1.2用专用毛巾清洗工作台，保证工作台面的清洁度。

4.1.3打开去离子水和氮气总开关，去离子水空放5分钟去处管道里的死水（如果没有间断使用可以不用放空死水），然后将各槽水注到标定水位（楼上各槽64000mL，清洗机80000mL）由槽上水位线和水位监控器标定。

4.1.4准备整理当天所用的原材料，领取化学品原料，按照当天的生产产量要求领取相应的酒精，NaOH，双氧水，HCL，HF，专人负责，放置在车间的规定区域（一般原料应由上一班人领好准备）

按照当天的产量：

液体NaOH：

80000mL30%的（两次）20L准备液面降低添加

固体NaOH：

每绒面槽固体640g；添加150g/200片

酒精：

每绒面槽起始8000mL，添加4000mL/200片

HCL：

每酸洗槽4瓶（每瓶2.5L）；

H2O2：

每酸洗槽10L；

HF：

每洗磷槽16瓶（250mL/瓶）每4000片全换一次

4.1.5预热升温，待减薄80摄氏度，酸洗80摄氏度，绒面85摄氏度，所有温差不超过两度，准备配液。

4.1.6在各槽按照要求开始配液

减薄槽直接倒入30%的NaOH，液位高于硅片盒3~5cm；制绒加入640gNaOH（槽内水量为64000mL，规定刻度）；酸洗按照H2O2：

HCL：

H2O=1：

1：

6配液；HF按照10%配液。

待温度重新稳定到规定时，准备开工。

4.2接收硅片

4.2.1从首检接收硅片，点清片数，察看硅片信息，有严重花片，缺角，

厚薄不均等，与首检交涉，退回，然后通知该片的集成经理，确认无误，开始生产

4.2.2从刻蚀接收硅片，点清片数，察看硅片信息，确认无误，开始生产

4.3工作流程

1#减薄制绒

4.3.1减薄：

操作人员加置压杆，用硅片盒夹夹好，然后两篮一组开始减薄，时间按照不同工艺代码要求确定

4.3.2冲洗：

把硅片盒从减薄槽拿出放在旁边的水洗槽内用去离子水冲洗一遍，去除大部分NaOH

4.3.3清洗：

冲洗一次的硅片放入T形槽内，仔细清洗5分钟以上

4.3.4清洗测量：

每200片（8篮）取4片用测厚仪测量，要求用5点法测量，即4个角测量加上中心测量，记录数据，算出平均值，得出厚度值，记录在流程上。

4.3.5制绒：

准备制绒，初始制绒往制绒槽中加入8000mL酒精，以后每次3000mL~4000mL，除了初始以后每次还要补充NaOH120~170g

（上一次反应出来时间>30分钟加170g，<20分钟加120g，正常加150g），制绒开始后15分钟第一次检查，察看绒面情况，根据绒面情况判断时间，决定多长时间可以取出，达到预定时间察看结果，达到完全无亮点，绒面完成，如果还有亮点再延长5~10分钟，达到完全无亮点，取出放入T形槽内清洗。

4.3.6制绒测量：

从制绒水洗后的硅片盒中抽取硅片进行厚度测量，每200片随机取4片测量，要求5点法测量，即4个角上加上中心点，记录数据，算出平均值，得出厚度值，记录在流程卡上，目测的绒面状况（轻微亮点，花片，有花篮印等）也要记录在流程卡上，记录槽号。

4.3.7将制绒清洗好的硅片放入网带烘干机里进行简单烘干

3#酸洗

4.3.8工艺号选择：

按下“工艺号选择”按扭，输入正确的工艺号，然后按“工艺号选择”加以确认。

将工作状态转换到“自动”状态，点击“设备状态”，如果各个指示灯变亮，则表示选择完毕，可以运行，如果有指示灯没亮，表示相应项没选好，则回到前一步重新选择。

4.3.9运行：

从1#车间领取制绒清洗干燥后的硅片，用密闭小车运送到3#清洗车间把小花篮装入大花篮中，等到一切条件满足要求时，将插好硅片的花篮放到机器入口的传送带上，并靠右对齐，按下“投片确认”，等花篮到设定点时按下“启动”按钮，此时机器将进入自动运行状态。

4.3.10补液：

每做完一张单子的硅片后，要往相应的酸洗槽内加入2000毫升的双氧水和1000，然后重复第一次操作。

4.3.11甩干：

等工艺结束后在出口处把硅片取掉，并拿到甩干机内进行甩干。

4.3.12目检：

每单抽检5片，无水渍，花片，送到扩散车间。

3#洗磷

4.3.13工艺号选择：

按下“工艺号选择”按扭，输入正确的工艺号，然后按“工艺号选择”加以确认。

将工作状态转换到“自动”状态，点击“设备状态”，如果各个指示灯变亮，则表示选择完毕，可以运行，如果有指示灯没亮，表示相应项没选好，则回到前一步重新选。

4.3.14从扩散车间领取刻蚀后的硅片，用密闭小车运送到清洗车间，把小花篮装入大花篮中，等到一切条件满足要求时，将插好硅片的花篮放到机器入口的传送带上，并靠右对齐，按下“投片确认”，等花篮到设定点时按下“启动”按钮，此时机器将进入自动运行状态。

4.3.15等工艺结束后在出口处把硅片取掉，并拿到甩干机内进行甩干

5设备操作

5.1酸洗机

5.1.1打开电柜总开关，去离子水总开关，氮气总开关

5.1.2打开机器总开关，设定温度（面板上直接升降温度调节）

5.1.3进入操作界面，开始运行

5.1.4进入密码界面，输入密码

5.1.5进入菜单界面，工艺号选择

5.1.6编辑工艺时间，选择工艺号

5.1.7进入设备状态区，察看设备状态

5.1.8如果设备状态全部就位，开启自动运行

5.1.9运行过程中进行补液操作，进入自动工艺换水操作

5.1.10机器本班使用完，关闭加热，放掉所有的溶液，然后将槽内注满水，然后关闭机器总开关。

（如果下一班继续做，要预热酸洗槽的水）

5.2洗磷机

5.2.1打开电柜总开关，去离子水总开关，氮气总开关

5.2.2打开机器总开关

5.2.3进入密码界面，输入密码。

5.2.4进入菜单选项，选择工艺号

5.2.5进入设备状态区，察看设备状态

5.2.6如果设备状态全部就位，开启自动运行

5.2.7运行过程中进行补液操作，进入自动工艺换水操作

5.2.8机器本班使用完，关闭加热，放掉所有的溶液，然后将槽内注满水，然后关闭机器总开关。

甩干机

5.3将所有按钮置于图1所示的初始位置，按下绿色的“开门”按钮（箭头所示），此时甩干机顶盖自动开启。

图　１

然后将装有硅片的花篮置于图2绿色箭头所示的框体位置，双手同时按住图３的“关门”按钮（双箭头所示），直至甩干机顶盖自动关上，注意：

在该操作过程中，如果中途双手离开“关门”按钮，甩干机顶盖会恢复到打开状态。

图　２

图　３

甩干机顶盖盖上后，按下图４的绿色“启动”按钮（见图示），甩干机即可开始工作

如果操作过程中出现异常，应立即按下图４的红色“急停”按钮（见图示），待问题解决后再解除“急停”按钮，按照该按钮上的箭头指示方向旋转即可解除。

当操作过程中出现甩干机报警的情况时，立即急停，寻找当班技术员进行解决。

甩干结束后，设备会有蜂鸣器报警，响声结束，按“开门”按钮即可打开顶盖。

6．机械的维护

注意事项：

1．原始硅片均不能用手直接拿取，操作时必须戴一次性手套或使用镊子。

2．发现加热槽漏水或带电，立即切断电源并及时通知班长，避免损坏恒温槽和发生事故。

3．进行酸洗作业时是必须带防酸碱手套。

4．加水至水位线以上，才能开启加热槽电源。

5．工作结束后即关闭电源、排风和水源。

6．操作时注意酸碱的腐蚀性，如酸碱接触人体要及时用自来水冲洗。

发生意外事件，切断电源，再报警！

异常情况，立即将硅片从槽中取出，放入水洗槽等待技术人员处理

所有机械出不可预料的机械问题立即按下急停，马上通知集成工程师，与集成工程师一起解决。

洗磷

1．按下“照明”按钮，打开“电源开关”旋转90度，通电源。

2．等待机械臂找原点，机械臂稳定后检查清洗机是否干净，不干净先清洗一下，关好玻璃门，然后对机器操作。

3．点击屏幕上的“手动按钮”，对1#、2#、3#、4#槽进行加水，加到一定水位开关时关闭相应的开关。

4．等1#槽水位到了以后，加入一定比例的氢氟酸，加酸时要戴好防酸碱眼镜和手套。