清洗工艺指导书.docx

1、清洗工艺指导书清洗工艺指导书1 目的 介绍清洗工艺的原理，目的，准备工作，操作流程，机械的使用和维护方法2内容 1原理与目的 2工艺操作流程 3机械的使用方法 4机械的维护3原理与目的清洗工艺包括太阳能工艺中所有的湿法处理的过程，分为比表面处理和表面清洁两部分。表面处理包括减薄和制绒，减薄是处理硅片的表面状况，把表面的机械损伤和表面污垢全都去除的步骤，方法是用30%的NaOH溶液，利用其强效的腐蚀性各向同性腐蚀硅片表面，去处表面的所有物质，处理过的表面将是均匀分布的以晶格形态排列的硅。制绒是处理硅表面，把类似于镜面的硅晶格表面腐蚀成一片金字塔结构的形态，增大光线的多次反射，更好的吸收光，方法是

2、用12%的NaOH溶液，利用其各向异性的腐蚀效果，腐蚀出密布金字塔结构的表面。表面清洁包括酸洗和洗磷，酸洗是处理硅片绒面以后表面残存的杂质，使表面完全干净无有害的金属离子，SiO2等杂质，方法是首先用H2O2：HCL：H2O=1：1：6 的溶液浸泡去处Na+离子，然后再用HF去除SiO2等杂质，洗磷是去除硅片扩散后表面生成的磷硅玻璃，方法是用10%HF湿法反应去除。4工艺操作流程 4.1 准备部分 4.1.1 进入净化室时必须穿好工作衣、工作鞋，戴工作帽，清洗操作时必须佩戴防酸碱手套和口罩。 4.1.2 用专用毛巾清洗工作台，保证工作台面的清洁度。 4.1.3 打开去离子水和氮气总开关，去离子

3、水空放5分钟去处管道里的死水（如果没有间断使用可以不用放空死水），然后将各槽水注到标定水位（楼上各槽 64000mL，清洗机80000mL）由槽上水位线和水位监控器标定。 4.1.4 准备整理当天所用的原材料，领取化学品原料，按照当天的生产产量要求领取相应的酒精，NaOH，双氧水，HCL，HF，专人负责，放置在车间的规定区域（一般原料应由上一班人领好准备）按照当天的产量：液体NaOH：80000mL 30%的（两次）20L准备液面降低添加固体NaOH：每绒面槽固体640g；添加150g/200片酒精：每绒面槽起始 8000mL，添加4000mL/200片HCL：每酸洗槽4瓶（每瓶2.5L）；H

4、2O2：每酸洗槽10L；HF：每洗磷槽16瓶（250mL/瓶）每4000片全换一次 4.1.5 预热升温，待减薄80摄氏度，酸洗80摄氏度，绒面85摄氏度，所有温差不超过两度，准备配液。4.1.6 在各槽按照要求开始配液 减薄槽直接倒入30%的NaOH，液位高于硅片盒35cm；制绒加入640g NaOH（槽内水量为64000mL，规定刻度）；酸洗按照H2O2：HCL：H2O=1：1：6 配液；HF按照10%配液。待温度重新稳定到规定时，准备开工。 4.2 接收硅片 4.2.1 从首检接收硅片，点清片数，察看硅片信息，有严重花片，缺角， 厚薄不均等，与首检交涉，退回，然后通知该片的集成经理，确认

5、无误，开始生产4.2.2 从刻蚀接收硅片，点清片数，察看硅片信息，确认无误，开始生产4.3 工作流程 1# 减薄 制绒4.3.1 减薄：操作人员加置压杆，用硅片盒夹夹好，然后两篮一组开始减薄，时间按照不同工艺代码要求确定4.3.2 冲洗：把硅片盒从减薄槽拿出放在旁边的水洗槽内用去离子水冲洗一遍，去除大部分NaOH4.3.3 清洗：冲洗一次的硅片放入T形槽内，仔细清洗5分钟以上4.3.4 清洗测量： 每200片（8篮）取4片用测厚仪测量，要求用5点法测量，即4个角测量加上中心测量，记录数据，算出平均值，得出厚度值，记录在流程上。4.3.5 制绒：准备制绒，初始制绒往制绒槽中加入8000mL酒精，

6、以后每次3000mL4000mL，除了初始以后每次还要补充NaOH 120170g （上一次反应出来时间30分钟 加170g，20分钟 加120g，正常加150g ），制绒开始后15分钟第一次检查，察看绒面情况，根据绒面情况判断时间，决定多长时间可以取出，达到预定时间察看结果，达到完全无亮点，绒面完成，如果还有亮点再延长510分钟，达到完全无亮点，取出放入T形槽内清洗。4.3.6 制绒测量：从制绒水洗后的硅片盒中抽取硅片进行厚度测量，每200片随机取4片测量，要求5点法测量，即4个角上加上 中心点，记录数据，算出平均值，得出厚度值，记录在流程卡上，目测的绒面状况（轻微亮点，花片，有花篮印等）也

7、要记录在流程卡上，记录槽号。4.3.7 将制绒清洗好的硅片放入网带烘干机里进行简单烘干 3# 酸洗4.3.8 工艺号选择：按下“工艺号选择”按扭，输入正确的工艺号，然后按“工艺号选择”加以确认。 将工作状态转换到“自动”状态，点击“设备状态”，如果各个指示灯变亮，则表示选择完毕，可以运行，如果有指示灯没亮，表示相应项没选好，则回到前一步重新选择。4.3.9 运行：从1#车间领取制绒清洗干燥后的硅片，用密闭小车运送到3#清洗车间把小花篮装入大花篮中，等到一切条件满足要求时，将插好硅片的花篮放到机器入口的传送带上，并靠右对齐，按下“投片确认”，等花篮到设定点时按下“启动”按钮， 此时机器将进入自动

8、运行状态。4.3.10 补液：每做完一张单子的硅片后，要往相应的酸洗槽内加入2000毫升的双氧水和1000，然后重复第一次操作。4.3.11 甩干：等工艺结束后在出口处把硅片取掉，并拿到甩干机内进行甩干。4.3.12 目检：每单抽检5片，无水渍，花片，送到扩散车间。 3# 洗磷 4.3.13 工艺号选择：按下“工艺号选择”按扭，输入正确的工艺号，然后按“工艺号选择”加以确认。将工作状态转换到“自动”状态，点击“设备状态”，如果各个指示灯变亮，则表示选择完毕，可以运行，如果有指示灯没亮，表示相应项没选好，则回到前一步重新选。 4.3.14 从扩散车间领取刻蚀后的硅片，用密闭小车运送到清洗车间，把

9、小花篮装入大花篮中，等到一切条件满足要求时，将插好硅片的花篮放到机器入口的传送带上，并靠右对齐，按下“投片确认”，等花篮到设定点时按下“启动”按钮， 此时机器将进入自动运行状态。 4.3.15 等工艺结束后在出口处把硅片取掉，并拿到甩干机内进行甩干5 设备操作5.1 酸洗机5.1.1 打开电柜总开关，去离子水总开关，氮气总开关5.1.2 打开机器总开关，设定温度（面板上直接升降温度调节）5.1.3 进入操作界面，开始运行5.1.4 进入密码界面，输入密码5.1.5 进入菜单界面，工艺号选择5.1.6 编辑工艺时间，选择工艺号5.1.7 进入设备状态区，察看设备状态5.1.8 如果设备状态全部就

10、位，开启自动运行5.1.9 运行过程中进行补液操作，进入 自动工艺换水操作5.1.10 机器本班使用完，关闭加热，放掉所有的溶液，然后将槽内注满水，然后关闭机器总开关。（如果下一班继续做，要预热酸洗槽的水） 5.2 洗磷机5.2.1 打开电柜总开关，去离子水总开关，氮气总开关5.2.2 打开机器总开关5.2.3 进入密码界面，输入密码。5.2.4 进入菜单选项，选择工艺号5.2.5 进入设备状态区，察看设备状态 5.2.6 如果设备状态全部就位，开启自动运行 5.2.7 运行过程中进行补液操作，进入 自动工艺换水操作5.2.8 机器本班使用完，关闭加热，放掉所有的溶液，然后将槽内注满水，然后关

11、闭机器总开关。 甩干机5.3 将所有按钮置于图1所示的初始位置，按下绿色的“开门”按钮（箭头所示），此时甩干机顶盖自动开启。图然后将装有硅片的花篮置于图2绿色箭头所示的框体位置，双手同时按住图的“关门”按钮（双箭头所示），直至甩干机顶盖自动关上，注意：在该操作过程中，如果中途双手离开“关门”按钮，甩干机顶盖会恢复到打开状态。图图甩干机顶盖盖上后，按下图的绿色“启动 ”按钮（见图示），甩干机即可开始工作如果操作过程中出现异常，应立即按下图的红色“急停”按钮（见图示），待问题解决后再解除“急停”按钮，按照该按钮上的箭头指示方向旋转即可解除。当操作过程中出现甩干机报警的情况时，立即急停，寻找当班技术

12、员进行解决。 甩干结束后，设备会有蜂鸣器报警，响声结束，按“开门”按钮即可打开顶盖。6机械的维护注意事项：1原始硅片均不能用手直接拿取，操作时必须戴一次性手套或使用镊子。2发现加热槽漏水或带电，立即切断电源并及时通知班长，避免损坏恒温槽和发生事故。3进行酸洗作业时是必须带防酸碱手套。4加水至水位线以上，才能开启加热槽电源。5工作结束后即关闭电源、排风和水源。6操作时注意酸碱的腐蚀性，如酸碱接触人体要及时用自来水冲洗。发生意外事件，切断电源，再报警！异常情况，立即将硅片从槽中取出，放入水洗槽等待技术人员处理所有机械出不可预料的机械问题立即按下 急停 ，马上通知集成工程师，与集成工程师一起解决。洗磷1按下“照明”按钮，打开“电源开关”旋转90度，通电源。2等待机械臂找原点，机械臂稳定后检查清洗机是否干净，不干净先清洗一下，关好玻璃门，然后对机器操作。3点击屏幕上的“手动按钮”，对1#、2#、3#、4#槽进行加水，加到一定水位开关时关闭相应的开关。4等1#槽水位到了以后，加入一定比例的氢氟酸，加酸时要戴好防酸碱眼镜和手套。