电镀药水化验操作规范.docx

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电镀药水化验操作规范

电镀药水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-1页共10页

工序

槽名体积

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

化学沉铜线

P

T

H

清洁1线886L2线820L

CD-210

0.16-0.24N

1次/班

（1）取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚

红指示剂用0.1N盐酸滴至绿黄为终点体积为V

（2）计算:

CD-210（N）=0.2*N*V（3）补加:

CD-210（L）=（0.20-测）*0.263V槽

微蚀1线886L2线900L

SPS

65-95g/l

3次/班

（1）取样品2ml加DI水50ml、10%H2SO410ml,用移液管取100g/l（NH4）2Fe（SO4）210ml.

（2）用0.1NKMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A.（3）取DI水代替样品,重复上述步骤,滴定毫升数为B.（4）计算:

SPS（g/l）=5.95（B-A）（5）补加:

SPS（kg）=（80-测）*V槽/1000

H2SO4

2.0-3.0%

（1）取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙指示剂3-4滴.用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V.

（2）计算H2SO4（%）=1.33NV%（3）补加:

H2SO4（L）=（2.5-测）*V槽/100

Cu2+

≤25g/l

（1）取样品2ml加入DI水50ml,加入20mlPH=10的缓冲液,加PAN指示剂2-3滴用0.05NEDTA-2Na滴至黄色即为终点.

（2）计算Cu2+（g/l）=63.5*N*V/2

微蚀速率

30-50U"

1次/班

（1）取a×bcm的覆铜基板经酸性除油水洗在120℃烘干30分钟,冷却称重W1.

（2）经微蚀槽（与流程微蚀槽时间一样）水洗,吹干在120℃烘干30分钟,冷却称重W2.

（3）计算:

U"=（W1-W2）*106/（2ab*8.92*2.54）

电镀药水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-2页共10页

工序

槽名

体积

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

化学沉铜线

P

T

H

化学铜（1线2000L2线2526L）

Cu2+

1.8-2.2g/l

3次/班

（1）取试样20ml于锥形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色，加10%KSCN20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点，体积为V。

（2）计算:

Cu2+（g/l）=3.175*N*V.

（3）补加：

EC-251A（L）=（2-测）*26.67

NaOH

8-10g/l

（1）取试样5ml加50mlDI水以0.1NHCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为A,加10ml10%Na2SO3用0.1NHCl滴至PH=10.5滴定数为B

（2）计算:

NaOH（g/l）=8*A*NHCHO（g/l）=6*B*N（3）补加:

EC-251B（L）=（9-测值）*6.67EC-251C（L）=（6-测值）*8.33

HCHO

5-7g/l

络合剂

>0.05N

（1）取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX指示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点

（2）计算:

络合剂（N）=0.002v+0.0158Cu2+

（3）补加:

EC-251M（L）=（0.06-测）*2667

沉积

速率

0.4-0.6μm

1次/班

（1）将a×b的无铜基板按化铜正常流程走出后,将试验板放入250ml烧杯中,加20mlPH=10缓冲液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示剂用0.05NEDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V.

（2）沉积厚度（μm）=635NV/（2ab*8.92）

除胶渣

总锰

60-70g/l

1次/班

（1）取1ml槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水，加入10mL20%KI和10ml50%HNO3

（2）用0.1NNa2S2O3滴至淡黄色加1%淀粉指示剂5-6滴,再用0.1NNa2S2O3滴至无色,记下一共所需毫升数.

（3）计算:

Mn（g/l）=31.6NV

（4）补加:

KMnO4（kg）=（65-测值）*V/1000

水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-3页共10页

工序

槽名（体积）

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

化学沉铜线

P

T

H

除胶渣（1线1800L2线2616L）

六价锰

<20g/l

1次/班

（1）取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中,以纯水作参比,用玻璃比色皿取样.读取波长为540、610nm时的吸光度为A、B。

（2）计算：

Mn6+（g/l）=147.3B-13.6A

（3）计算：

Mn7+（g/l）=85.7A-170.1B

七价锰

35-55g/l

NaOH

35-45g/l

（1）取试样1ml,加50mlDI水于250ml烧杯中。

（2）以0.1N盐酸滴至PH=10.5为终点.

（3）计算:

NaOH（g/L）=40NV

（4）补加:

NaOH（L）=（40-测）*V/400

除胶渣速率

20-50mg/dm2

（1）取a×bcm的双面板无铜基板,在120℃烘烤30分钟,冷却称重为W1（g）.

（2）将上述基板从膨润走至中和槽水洗吹干在120℃下烘烤30min,冷却称重为W2（g）.

（3）计算:

结果=（W1-W2）*100000/ab

中和（1线886L2线820L）

Nu-121

90-110ml/l

1次/班

（1）取槽液2ml加50mlDI水加入10ml20%的硫酸,加热至60℃,用0.1NKMnO4滴定至淡红色为终点，滴定数为V.

（2）计算:

Nu-121（ml/l）=74NV（3）补加:

Nu-121（ml）=（100-测）*V槽

H+

1.8-2.2N

（1）取2mL槽液于250mL锥形瓶中加50mLDI水及3-4滴酚酞指示剂.

（2）用0.5N的氢氧化钠滴至红色为终点,滴定体积为V。

（3）计算：

〔H+〕（N）=0.5NV（4）补加:

H2SO4（L）=（2.0-测值）*V槽/18.4

膨润1线886L2线820L

SW-110

35-45%

1次/班

（1）取槽液数滴于旋光光度计内,直接读数A.

（2）计算:

SW-110（%）=1.43A（3）补加:

SW-110（L）=（40-测）*V槽∕100

电镀药水化验操作规范

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品保部

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QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-4页共10页

工序

槽名（体积）

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

化

学

沉

铜

P

T

H

预浸

1线886L

2线820L

PD-221B

0.58-0.78N

1次/班

（1）取试样2ml,加50mlDI水,加2-4滴PP指示剂以0.5NNaOH滴至红色滴定数为V.

（2）计算:

PD-221B（N）=0.5NV（3）补加:

PD-221B（L）=（0.68-测）*V槽*70/680

活化

1线886L

2线900L

PD-221B

0.68-1.08N

1次/班

同上

Pd2+

50-60ppm

（1）取5ml活化槽液，至100ml容量瓶中，加纯硝酸少许，解胶至澄清为止，加纯水定容到刻度，摇匀，用AA机测，读数为a.

（2）计算：

Pd2+（ppm）=20*a.

添加公式：

CA-230（L）=（中値-测値）*V槽/1500

比重

>1.145

用量程为1.1-1.2的比重计测,直接读数.

速化

1线886L

2线900L

AL-242B

0.9-1.3%

1次/班

（1）取加速槽液5mL于锥形瓶中加入50mL水加入6N盐酸25mL,加入20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸钠标液滴定至黄色,加入淀粉指示剂继续滴至无色为终点。

（2）计算:

AL-242B（%）=1.2NV%

（3）补加:

AL-242B（L）=（1.2%-测）*V槽

PH

8.75-9.25

用PH计直接测量

电镀药水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-5页共10页

工序

槽名（体积）

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

　脉冲电镀线

铜槽　

1500L

H2SO4

210-230g/L

1次/3天

计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸　

CuSO4.5H2O

60-80g/L

1次/3天

计算与分析方法同一铜线硫酸铜

　CL-

55-85ppm

1次/3天

计算与分析方法同一铜线CL-　

　光剂

3-5mL/L

1次/周

计算与分析方法同一铜线光剂　

哈氏试验

1次/周

电流2A，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换

污染指数

≤120uA

1次/周

由CVS仪直接测定

酸洗700L

　H2SO4

　9-11%

1次/3天

计算与分析方法同一铜线酸洗　

脱铜

600L

　HNO3

300-500mL/L

1次/3天

计算与分析方法同一铜线脱铜　

电镀药水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-6页共10页

工序

槽名（体积）

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

填孔电镀线

铜槽　

H2SO4

210-230g/L

1次/3天

计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸

CuSO4.5H2O

60-80g/L

1次/3天

计算与分析方法同一铜线硫酸铜

　CL-

55-85ppm

1次/3天

计算与分析方法同一铜线CL-

　光剂

2.5-6.5mL/L

1次/周

计算与分析方法同一铜线光剂

润湿剂

7-11mL/L

1次/周

1）用8mL/L的润湿液作标准曲线并保存

2）把槽液放在吸管下,把VMS液放在电极下,按分析即可,记录数据

整平剂

6-10mL/L

1次/周

1）作整平剂曲线并保存

2）用50mL的含LEVER标准液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光剂（6-光剂测值）/20毫升,润湿剂（25-润湿测值）/20毫升,按分析即可,记录数据

哈氏试验

1次/周

电流2A，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换

污染指数

≤120uA

1次/周

由CVS仪直接测定

预浸

预浸剂

9-11%

1次/周

1）用75mL的INTERCEPT标准液作空白

2）加入25mL的预浸槽液按分析即可,记录数据

酸洗

H2SO4

　9-11%

1次/3天

计算与分析方法同一铜线酸洗

脱铜

HNO3

300-500mL/L

1次/3天

计算与分析方法同一铜线脱铜

电镀药水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-7页共10页

工序

槽名

（体积）

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

一次电镀铜1#线

电镀铜槽（12000L）

H2SO4

200-240g/l

1次/3天

（1）取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V.

（2）计算:

H2SO4=49*N*V

（3）补加:

H2SO4=（220-测）*7.9

CuSO4·5H2O

55-75g/l

（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶

液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示

剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴

定毫升数为V

（2）计算:

CuSO4·5H2O（g/l）=250*N*V.　

（3）补加:

CuSO4·5H2O（Kg）=（65-测）*5.5

Cl-

40-80ppm

（1）取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加

入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较

（2）重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1NAgNO3标液.

（3）用0.01NHg（NO3）2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到

清晰,清晰度与此液比较核实.

（4）计算:

Cl-（ppm）=1420*N*V（5）添加:

HCl（mL）=（60-测）*14.5

哈氏试验

1次/周

电流2A，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换

光剂含量

1-3mL/L

1次/周

由CVS仪直接测定

污染指数

≤120uA

1次/周

由CVS仪直接测定

脱铜

（2800L）

HNO3

300-500ml/l

1次/3天

（1）取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V.

（2）计算:

HNO3（L）=65.94*V*N

（3）补加:

HNO3（L）=（400-测）*V槽/1000

酸洗

（1600L）

H2SO4

6-8%

同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析

养板槽（1000L）

H2SO4

0.5-1.0%

1次/班

同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析

电镀药水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-8页共10页

工序

槽名

（体积）

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

一次电镀铜2#线

电镀铜槽（5500L）

H2SO4

200-240g/l

1次/3天

（1）取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至

黄色为终点,滴定毫升数为V.

（2）计算:

H2SO4=49*N*V

（3）补加:

H2SO4=（220-测）*17.1

CuSO4·5H2O

55-75g/l

（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶

液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示

剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴

定毫升数为V

（2）计算:

CuSO4·5H2O（g/l）=250*N*V.　

（3）补加:

CuSO4·5H2O（Kg）=（65-测）*12

Cl-

40-80ppm

（1）取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加

入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较

（2）重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1NAgNO3标液.

（3）用0.01NHg（NO3）2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核实.

（4）计算:

Cl-（ppm）=1420*N*V（5）添加:

HCl（mL）=（60-测）*31.5

哈氏试验

1次/周

电流2A，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换

光剂含量

1-3mL/L

1次/周

由CVS仪直接测定

污染指数

≤120uA

1次/周

由CVS仪直接测定

脱铜

（2768L）

HNO3

300-500ml/l

1次/3天

（1）取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,

用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为

终点,记下NaOH之毫升数V.

（2）计算:

HNO3（L）=65.94*V*N

（3）补加:

HNO3（L）=（400-测）*V槽/1000

酸洗

（1600L）

H2SO4

6-8%

同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析

养板槽（1000L）

H2SO4

0.5-1.0%

1次/班

同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析

电镀药水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-9页共10页

工序

槽名

（体积）

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

一次电镀铜3#线

电镀铜槽（3700L）

H2SO4

200-240g/l

1次/3天

（1）取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液

滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V.

（2）计算:

H2SO4=49*N*V

（3）补加:

H2SO4=（220-测）*7.9

CuSO4·5H2O

55-75g/l

（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶

液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示

剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴

定毫升数为V

（2）计算:

CuSO4·5H2O（g/l）=250*N*V.　

（3）补加:

CuSO4·5H2O（Kg）=（65-测）*5.5

Cl-

40-80ppm

（1）取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较

（2）重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1NAgNO3

标液.

（3）用0.01NHg（NO3）2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核实.

（4）计算:

Cl-（ppm）=1420*N*V（5）添加:

HCl（mL）=（60-测）*14.5

哈氏试验

1次/周

电流2A，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换

光剂含量

1-3mL/L

1次/周

由CVS仪直接测定

污染指数

≤120uA

1次/周

由CVS仪直接测定

脱铜

（780L）

HNO3

300-500ml/l

1次/3天

（1）取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,

用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为

终点,记下NaOH之毫升数V.

（2）计算:

HNO3（L）=65.94*V*N

（3）补加:

HNO3（L）=（400-测）*V槽/1000

酸洗

（1200L）

H2SO4

6-8%

同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析

养板槽（1000L）

H2SO4

0.5-1.0%

1次/班

同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析

电镀药水化验操作规范

制作单位：

品保部

文件编号：

QY-QA3009-05

制作日期：

2010/01/20

版本号：

D1

总页数：

第05-10页共10页

工序

槽名

（体积）

分析项目

控制范围

分析频率

分析方法及计算公式

一次电镀铜4#线

电镀铜槽（3700L）

H2SO4

200-240g/l

1次/3天

（1）取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,

加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH标准液滴定至

黄色

为终点,滴定毫升数为V.

（2）计算:

H2SO4=49*N*V

（3）补加:

H2SO4=（220-测）*7.9

CuSO4·5H2O

55-75g/l

（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶

液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示

剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴

定毫升数为V

（2）计算:

CuSO4·5H2O（g/l）=250*N*V.　

（3）补加:

CuSO4·5H2O（Kg）=（65-测）*5.5

Cl-

40-80ppm

（1）取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较

（2）重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1NAgNO3

标液.

（3）用0.01NHg（NO3）2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核实.

（4）计算:

Cl-（ppm）=1420*N*V（5）添加:

HCl（mL）=（60-测）*14.5

哈氏试验

1次/周

电流2A，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换

光剂含量

1-3mL/L

1次/周

由CVS仪直接测定

污染指数

≤120uA

1次/周

由CVS仪直接测定

脱铜

（780L）

HNO3

300-500ml/l

1次/3天

（1）取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,

用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为

终点,记下NaOH之毫升数V.

（2）计算:

HNO3（L）=65.94*V*N

（3）补加:

HNO3（L）=（400-测）*V槽/1000

酸洗

（1200L）

H2SO4

6-8%

同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析

养板槽（1000L）

H2SO4

0.5-1.0%

1次/班

同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析