DLD_不良原因及分析.ppt

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DLD不良原因及分析KDS中元DLD不良？

nD:

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Dependency励振電力依存性周波数励振電力依存性周波数励振電力依存性CI励振電力依存性励振電力依存性DLD不良要因DLD不良）晶片晶片表表面不良面不良）晶片表面晶片表面污脏）膜強度不足）膜強度不足8）溅点点（Ni））蒸着膜厚不良）蒸着膜厚不良）異物付着）異物付着）支架表面支架表面污脏）接着剤不良）接着剤不良）内部雰囲気）内部雰囲気要因：

晶片表面不良研磨不良研磨不良（作作业员不同不同、研磨剤不研磨剤不良良等等等等）腐腐蚀斑斑、腐腐蚀不足不足、残留残留应力力这些些层次残留次残留要因）晶片表面污脏水晶片洗浄液残渣洗浄液残渣（氟氟酸酸、HNO3等等等等）晶片上不能有洗晶片上不能有洗净液残液残留物留物要因）膜強度不足水晶片蒸着真蒸着真空度空度不良不良存在存在水分水分蒸着膜蒸着膜水分水分膜下存在水分膜下存在水分,造成和造成和水晶片之水晶片之间的的密密着着性低性低下下要因）蒸着膜厚不良水晶片水晶片蒸着膜蒸着膜蒸着膜厚厚不平均不平均遮蔽板不遮蔽板不備備等等等等膜薄膜薄导致致導導通通性性变不良不良要因）接着剤不良银的填充的填充变少少、導通導通性性变差差要因6）支架表面污脏酸化酸化、污脏等等会使等等会使導導通通性性变差差支架支架長長期保期保管管的状的状态会造成会造成酸化、酸化、污脏等等等等要因）異物付着工程内治具管理、清掃管理不備工程内治具管理、清掃管理不備有异物付着有异物付着,会使振会使振动困困难.特特别是是、銀、銀、Ni,铝、焊料等等料等等金金属異属異物物的影响的影响特特别大大）溅点封止、溶接工封止、溶接工程程的的管管理不備理不備溅点点NiNi電極平行電極平行度度不良不良电压高高材料変形材料変形等等等等要因）内部雰囲気溶接溶接時時氮气氮气置置換不良換不良、在空气中放置在空气中放置时间过长水分、酸水分、酸化化等不良影响等不良影响異物DLD不良结构（图解）異物異物正常品正常品DLD不良品不良品電位分布CI的大小変位矢量振動的大小因因为异物的原因异物的原因,变位矢量会位矢量会变小小,電電位分位分布布下降下降,CI増増大大良品、不良品的DLD特性CIF正常品正常品DLD不良品不良品FDLCIDLDLD解析顺序（工程用）n收集DLD不良品的DLD数据n确认DLD数据,将CI値大的不良品挑出n打开不良品n内部确认,电极上下面确认n假如无异常、就追加确认DLD形成的主要原因.不明白的时候,就向技术,QA报告DLD不良改善因此、分析各种DLD不良、找出原因、制定对策、达成高产出的目标