P12异常报错处理下.docx
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P12异常报错处理下
A2353WAFERSHOULDBEONCASSETTESLOT
MEASUREAftermovingthearmtoitshomeposition,tryagain.
3.Message
3.消息
3.1StageMessage
3.1阶段的信息
3.1.1StageMessage
3.1.1Stage消息
M0001STAGEINITIALIZATIONNOTEXECUTED
M0001STAGE初始化不执行
M0002XYSTAGETRANSFERDESTINATIONEXCEEDSSOFTWARELIMIT
M0002XY阶段转移目的地超过软件限制
M0003ZSTAGETRANSFERDESTINATIONEXCEEDSSOFTWARELIMIT
M0003Z阶段转移目的地超过软件限制
M0004θSTAGETRANSFERDESTINATIONEXCEEDSSOFTWARELIMIT
M0004θ阶段转移目的地超过软件限制
M0005UNABLETOFINDSEARCHPATTERN
M0005UNABLE找到搜索模式
M0006PROCEEDPOINTISNOTCORRECT
M0006PROCEED观点是不正确的
M0007ARITHMETICERROR
M0007ARITHMETIC错误
M0008MARKERNOTCONNECTED
M0008MARKER没有连接
M0009BRIDGEWILLINTERFEREWITHTARGETMOVEMENT
M0009BRIDGE将干扰目标运动
M0010COMMANDPARAMETERSEXCEEDLIMIT
M0010COMMAND参数超过限制
M0011NOFILENAMEISSPECIFIED
M0011NO指定文件名
M0012BRIDGEMOVEMENTNOTPOSSIBLEBECAUSEOF3PINISUP
M0012BRIDGE运动不可能因为3针
M0013BRIDGEWILLINTERFEREWITHCHUCKTOP
M0013BRIDGE将干扰卡盘
M0014BRIDGEWILLINTERFEREWITHTARGET
M0014BRIDGE将干扰目标
M0015BRIDGEWILLINTERFEREWITHPROBEPOLISHER
M0015BRIDGE将干扰探测器抛光机
M0016PROBEPOLISHERWILLINTERFEREWITHBRIDGE
M0016PROBE抛光机将干扰桥
M0017PROBEPOLISHERWILLINTERFEREWITHPROBECARD
M0017PROBE抛光机将干扰探针卡
M0018BRIDGEWILLINTERFEREWITHCHUCKTOPDURINGZMOVEMENT
M0018BRIDGE将在Z运动干扰卡盘上
M0019BRIDGEWILLINTERFEREWITHTARGETDURINGZMOVEMENT
在Z运动M0019BRIDGE将干扰目标
M0020POLISHERWILLINTERFEREWITHBRIDGEDURINGZMOVEMENT
M0020POLISHER将在Z运动干扰桥
M0021PROBECARDWILLINTERFEREWITHWAFERDURINGZMOVEMENT
M0021PROBE卡将在Z运动干扰晶片
M0022PROBECARDWILLINTERFEREWITHPOLISHERDURINGZMOVEMENT
M0022PROBE卡将在Z运动干扰抛光机
M0023CHUCKWILLINTERFEREWITHUPPERARMDURINGZMOVEMENT
M0023CHUCK将在Z运动干扰上臂
M0024CHUCKWILLINTERFEREWITHLOWERARMDURINGZMOVEMENT
M0024CHUCK将在Z运动干扰下臂
M0025SURFACEMAPNOTCOMPLETED
M0025SURFACE地图没有完成
M0026WAFERMACRO-ALIGNMENTNOTCOMPLETED
M0026WAFERMACRO-ALIGNMENT没有完成
M0027WAFERMICRO-ALIGNMENTNOTCOMPLETED
M0027WAFERMICRO-ALIGNMENT没有完成
M0028PADREGISTRATIONOVERLIMIT
M0028PAD登记超过限制
M0029INSPECTIONPADREGISTRATIONOVERLIMIT
M0029INSPECTION垫登记超过限制
M0030THISPADNAMEHASALREADYBEENUSED
M0030THIS垫名称已被使用
M0031STANDARDPROBESETTINGNOTCOMPLETED
M0031STANDARD探头设置未完成
M0032PROBESETTINGSOVERLIMIT
M0032PROBE设置了限制
M0033PROBEMACRO-ALIGNMENTNOTCOMPLETED
M0033PROBEMACRO-ALIGNMENT没有完成
M0034PROBEMICRO-ALIGNMENTNOTCOMPLETED
M0034PROBEMICRO-ALIGNMENT没有完成
M0035PROBEMICRO-ALIGNMENTNOTCOMPLETED
M0035PROBEMICRO-ALIGNMENT没有完成
M0036PROBEALIGNMENTNOTPOSSIBLEWHILE3PINISUP
而3销M0036PROBE对齐不可能的
M0037NOPROBECARDDATASAVED
M0037NO探针卡数据保存
M0038NOTANOPTIONORNOTSET
M0038NOT或没有设置一个选项
M0039SACCORINKER’SARMAREINTERFERING
M0039SACC或墨棒的手臂是干扰
M0040THEMARKINGCOUNTISNOTSET
M0040THE标记数没有设置
M0041THEMARKINGPARAMETERSAREABNORMAL
M0041THE标记参数异常
M0042THECONNECTORPARAMETERSAREABNORMAL
M0042THE连接器参数异常
M0043SACCHOMETRANSFERWILLOCCUR
M0043SACC家里会发生转移
M0044PERFORMINGAUTOHFOPERATION
M0044PERFORMING汽车高频操作
M0045AUTOHFSTATUSERROR
M0045AUTO高频状态错误
M0046THISWILLINTERFEREWITHMARKERARM
M0046THIS将干扰标记的手臂
M0047Thereisnowaferloaded
M0047There没有晶片加载
M0048Theangleofthewaferonthechuckisabnormal
M0048The卡盘上的晶片角是不正常的
M0049Thepositionofthewaferonthechuckisabnormal
M0049The卡盘上的晶片的位置是不正常的
M0050Cannotexecutebecausetheneedlemarkexecutionsizeistoolarge
M0050Cannot马克执行执行,因为针尺寸太大
M0053MACROVISUALFIELDZPOSITIONOFTHEMARKERISOUTOFRANGE
M0053MACRO视野Z位置标记的范围
M0054MICROVISUALFIELDZPOSITIONOFTHEMARKERISOUTOFRANGE
M0054MICRO视野Z位置标记的范围
M0055THEREISNOPATTERNDATAFORALIGNMENT
M0055THERE没有模式数据对齐
M0056Transferamountatoffsetistoolarge
M0056Transfer在抵消量太大
M0057Thesameprobeisdesignated
M0057The相同的探针被指定
M0058Awaferisalreadyloaded
M0058A晶圆已经加载
M0059Thefilecountisexcessive
M0059The文件数过多
M0060ThereisnoDeleteFileattheCopySource
M0060There不删除源文件副本
M0061TheTransferAmountatXYPositionOffsetistoolarge
M0061The转移金额在XY位置偏移量太大
M0064PROBECONTACTOFFSETAMOUNTERROR
M0064PROBE接触抵消金额错误
M0065CONTACTPOSITIONOFFSETAMOUNTERROR
M0065CONTACT位置偏移误差
M0070THESACCCOVERISOPEN
M0070THE、覆盖是开放的
M0071PRESSOKAFTEROPENINGTHESACCCOVER
M0071PRESS好后打开、封面
M0072THESACCCOVERISCLOSED
M0072THE、关闭
M0073MOVETOTHETRAYHAND-OVERPOSITION
M0073MOVE托盘交接位置
M0080CHECKTHATTHEREISNOWAFERONTHECHUCK
查克M0080CHECK没有晶片
M0081CHECKAGAINTHATTHEREISNOWAFERONTHECHUCK
M0081CHECK又没有晶片在卡盘上
M0084Perpendicularcumulativecoefficientvaluewasincorrectinthewaferalignmentresults.
M0084Perpendicular累积系数值是不正确的在晶片对齐结果。
M0086ZPTPACorrectionreachedmaximumoverdrivevalue.
M0086ZPTPA校正达到最大超速值。
M0087ZPTPACorrectionreachedZDownAmount.
M0087ZPTPA校正达到Z数量。
M0094CannotexecuteneedlepolishduetosetlimitofXYstage.
M0094Cannot执行针波兰由于XY限量阶段。
M0095Thesurfaceoftheneedlepolishwaferisusedup.
M0095The针表面抛光晶片用完了。
M0098SectionedpolishingWAPPsettingerror.
M0098Sectioned抛光WAPP设置错误。
M0125TESTHEADOPENERROR
M0125TEST头打开错误
M0151Cannotsection-polishedasPolishPatternisnot"Up/Down".
M0151Cannotsection-polished作为波兰模式不是“上/下”。
M0270CANNOTDOWNLOADINKMARKTRAININGDATA
M0270CANNOT下载墨水标记训练数据
M0271CANNOTDOWNLOADINKCOUNTTRAININGDATA
M0271CANNOT下载墨水计算训练数据
M0272CANNOTDOWNLOADPADTRAININGDATA
M0272CANNOT下载垫训练数据
M0273CANNOTLIGHTINKINSPECTIONLIGHT.
M0273CANNOT光油墨检验光。
M0274CANNOTLIGHTINKCOUNTCHECKLIGHT.
M0274CANNOT光油墨计数检查。
M0275CANNOTLIGHTPROBEMARKINSPECTIONLIGHT
M0275CANNOT光探针标记检查光
M0276INKMARKINSPECTIONTIMEOUT
M0276INK马克检查时间
M0277INKCOUNTCHECKTIMEOUT
M0277INK计数检查时间
M0278PROBEMARKINSPECTIONTIMEOUT
M0278PROBE马克检查时间
M0279NOINKMARKTRAININGDATA
M0279NO墨水标记训练数据
M0280NOINKCOUNTTRAININGDATA
M0280NO墨水计算训练数据
M0281NOPADTRAININGDATA
M0281NO垫训练数据
M0282ThePMIClassinthePadCoordinatesisnotset.
垫M0282ThePMI类坐标没有设置。
M0900REMOVETHEWAFERONTHECHUCK
M0900REMOVE卡盘上的晶片
M0901PUTTHEWAFERONTHECHUCK
M0901PUT卡盘上的晶片
M0902POSITIONTHEMACROPATTERNONTHECROSSHAIRS
M0902POSITION瞄准器上的宏观模式
M0903POSITIONTHEMICROPATTERNONTHECROSSHAIRS
克罗斯M0903POSITION微观模式
M0904POSITIONTHEREFERENCEDIEONTHECROSSHAIRS
M0904POSITION参考死在这网站
3.2LoaderMessage
3.2加载程序信息
3.2.1UndefinedLoaderMessage
3.2.1Undefined装载机的信息
M2001UNDEFINEDLOADERERROR
M2001UNDEFINED加载程序错误
M2005AWAFERSIZEVALUEOTHERTHAN200mmOR300mmHASBEENSET.
M2005A晶片大小价值以外的200毫米或300毫米。
3.2.2UpperArmMessage
3.2.2Upper部门消息
M2010UPCMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2010UPC电机驱动板有缺陷
M2020UPPERARMMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2020UPPER臂电机驱动板有缺陷
M2021UPPERARMMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2021UPPER臂电机驱动板有缺陷
M2022LOADERZNOTONTABLEPOSITION（ARMDRIVE）
M2022LOADERZ不是表位置（臂驱动）
M2023UPPERARMENCODERDEFECTIVE（CHECKTHEWAFER）.
M2023UPPER手臂编码器缺陷（检查晶片）。
M2024WAFERTABLEDOORISOPEN（ARMDRIVE）
M2024WAFER表门是开放的（驱动）
M2025UPPERARMDOWNLIMITCHECKERROR
M2025UPPER手臂下极限检查错误
M2026UPPERARMUPLIMITCHECKERROR
M2026UPPER手臂极限检查错误
M2027LOADPORT1DOORISOPEN（ARMDRIVE）
M2027LOAD端口1门是开放的（驱动）
M2028LOADPORT2DOORISOPEN（ARMDRIVE）
M2028LOAD端口2门是开放的（驱动）
3.2.3LowerArmMessage
3.2.3Lower部门消息
M2029LOWERARMMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2029LOWER臂电机驱动板有缺陷
M2030LOWERARMMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2030LOWER臂电机驱动板有缺陷
M2031LOWERARMMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2031LOWER臂电机驱动板有缺陷
M2033LOWERARMENCODERDEFECT（CHECKTHEWAFER）.
M2033LOWER手臂编码器缺陷（检查晶片）。
M2035LOWERARMDOWNLIMITCHECKERROR
M2035LOWER手臂下极限检查错误
M2036LOWERARMUPLIMITCHECKERROR
M2036LOWER手臂极限检查错误
3.2.4LoaderθθθθMessage
3.2.4Loaderθθθθ消息
M2037LOADERθMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE（ORIGINDRIVERDATA）
M2037LOADERθ电机驱动板有缺陷（起源司机数据）
M2038LOADERθMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2038LOADERθ电机驱动板有缺陷
M2039LOADERθMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE（ATINITIALIZATION）
M2039LOADERθ电机驱动板有缺陷（初始化）
M2040LOADERθENCODERDEFECTIVE（CHECKTHEWAFER）.
M2040LOADERθ编码器缺陷（检查晶片）。
M2041LOADERθDOWNLIMITCHECKERROR
M2041LOADERθ下极限检查错误
M2042LOADERθUPLIMITCHECKERROR
M2042LOADERθ极限检查错误
M2043UPPERARMISNOTATHOMEPOSITION（LOADERθDRIVE）
M2043UPPER手臂不在家位置（装载机θ驱动器）
M2044LOWERARMISNOTATHOMEPOSITION（LOADERθDRIVE）
M2044LOWER手臂不在家位置（装载机θ驱动器）
M2045LOADPORT1DOORISOPEN（LOADERθDRIVE）
M2045LOAD端口1门是开放的（装载机θ驱动器）
M2046LOADPORT2DOORISOPEN（LOADERθDRIVE）
M2046LOAD端口2门是开放的（装载机θ驱动器）
M2047WAFERTABLEDOORISOPEN（LOADERθDRIVE）
M2047WAFER表门是开放的（装载机θ驱动器）
3.2.5SubchuckθθθθMessage
3.2.5Subchuckθθθθ消息
M2049SUBCHUCKθMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2049SUBCHUCKθ电机驱动板有缺陷
M2050SUBCHUCKθMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2050SUBCHUCKθ电机驱动板有缺陷
M2051SUBCHUCKθMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2051SUBCHUCKθ电机驱动板有缺陷
M2053SUBCHUCKθENCODERDEFECTIVE（CHECKTHEWAFER）.
M2053SUBCHUCKθ编码器缺陷（检查晶片）。
M2054SUBCHUCKθDOWNLIMITCHECKERROR
M2054SUBCHUCKθ下极限检查错误
M2055SUBCHUCKθUPLIMITCHECKERROR
M2055SUBCHUCKθ极限检查错误
M2056NOWAFERSHOULDBEONSUBCHUCK
SUBCHUCKM2056NO晶片应该
M2057WAFERSHOULDBEONSUBCHUCK
M2057WAFERSUBCHUCK应该
M2058SUBCHUCKISATITSLOWESTPOINTBUTTHEREISAWAFERPRESENT
M2058SUBCHUCK在最低点,但有一个晶片
（CANNOTTRANSFER）
（不能转移）
3.2.6LoaderZMessage
3.2.6LoaderZ的信息
M2059LOADERZMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2059LOADERZ电机驱动板有缺陷
M2060LOADERZMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2060LOADERZ电机驱动板有缺陷
M2061LOADERZMOTORDRIVERBOARDDEFECTIVE
M2061LOADERZ电机驱动板有缺陷
M2063LOADERZENCODERDEFECTIVE（CHECKTHEWAFER）
M2063LOADERZ编码器缺陷（检查晶片）
M2064LOADERZSOFTWAREINTERLOCKERROR
M2064LOADERZ联锁软件错误
M2065LOADERZDOWNLIMITCHECKERROR
M2065LOADERZ极限检查错误
M2066LOADERZUPLIMITCHECKERROR
M2066LOADERZ极限检查错误
M2067NOTRAYONWAFERTABLEINLOADERZ
表在装载机ZM2067NO托盘在晶片
M2068LOA
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