PTH制程规范Word格式.docx

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25.槽液濃度分析方法……………………………………….47

26.藥品安全規範（MSDS）…………………….…………….55

一.除膠渣/化學銅流程簡介

除膠渣流程鍍化學銅流程

膨鬆槽整孔清潔槽

三段水洗二段水洗

高錳酸錳鈉槽微蝕槽

預中和槽二段水洗

二段水洗預浸槽

中和槽活化槽

二段水洗二段純水洗

化學銅槽

三段水洗

抗氧化槽

單段水洗

熱水洗

烘乾段

二.目的

1.膨鬆劑是將樹脂膨潤鬆軟,以便除膠渣過程可以輕易的將樹脂咬蝕掉。

2.除膠渣是將樹脂表面的樹脂咬蝕掉,使孔壁表面有良好條件。

3.預中和能有效清除表面及孔之錳鹽並溶解之

4.中和劑能清洗孔壁表面的樹脂氧化殘餘物及錳鹽。

5.整孔清潔劑是一種有高度清潔能力的有機化合物,它能有效調整孔壁表面特性,使孔壁增強吸收活化劑能力。

6.活化劑是一種膠狀體的錫化鈀,錫鈀膠體具有化學銅反應的催化能力,使吸附活化劑的樹脂,玻纖等材質,順利沈積化學銅。

7.化學銅是在有鈀膠體的表面產生氧化還原反應,使非電鍍的表面建立一層能電鍍的銅層。

三.設備及要求

槽名

槽積

槽體

材質

入水

排水

加熱

冷卻

熱交換器材質

熱水洗

525L

市水

Yes

膨鬆

不鏽鋼

純水

三段水洗

高錳酸鈉

1300L

硫酸雙氧水

二段水洗

中和

Tefloncoating

清潔整孔

SS316

Teflon

微蝕（SPS）

預浸

Tefloncoating/Ti

活化

二段純水洗

化學銅

990L

Tefloncoated

抗氧化

單段水洗

●排水代號說明:

一般廢水

C1:

高濃度酸性廢液

C2:

高濃度鹼性廢液

F1:

清潔槽

F2:

化學銅

水洗量:

1.市水之水洗量為20公升/分鐘,閥開約1/2

2.純水之水洗量為10公升/分鐘,閥開約1/4

打氣:

1.清潔整孔槽丶活化槽後之水洗槽嚴禁打氣

2.中和槽丶膨鬆槽後之第一個水洗槽開微量以避免泡沫太多

3.其餘各水洗槽半開即可

4.化學銅槽須全時打氣,不論生產與否

5.微蝕槽生產時打氣開至最小,不生產時則關掉

6.其餘各藥水槽嚴禁打氣

高錳酸鉀再生機電流

1.每公升高錳酸鉀槽液需0.66安培電流,故貴公司之再生機電流共需約860安培,10支再生機,平均每支約需86安培,必要時可增加至每支150安培電壓約在8~9伏特,若Mn+6濃度有持續上升時,須酌量增加電流,若無法降低Mn+6濃度,再升至極限。

若Mn+6濃度連續3次超過20g/L時,必須安排清槽

2.不生產待機時,再生機維持280安培之電流,約生產時之1/3的電流

全線之震盪器規格

震盪器之震幅須在最小25mm/sec以上

液位之補充:

1.活化槽請配新鮮溶液補充液位,嚴禁直接以純水補充

2.膨鬆槽丶高錳酸鉀槽請盡量以熱水補充,

3.其餘各藥水槽（包括回收槽）請以純水補充

4.藥水槽液位切不可比水洗槽液位高,以防水洗不淨

5.藥水槽之液位切勿低於加熱管之加熱液位,以防加熱管燒毀

注意事項

1.預浸槽液顏色會由配槽時之混濁白色,轉淡黃,澄清透明,隨操作時間轉為淡綠至翠綠,當槽液為翠綠色時,必須化驗Cu含量

2.化學銅之自動添加控制器,嚴禁任意轉動調整鈕

3.化學銅880之濃度調整之加藥順序為880E,880A,CupositY,CupositZ。

4.天車軌道須保乾燥,隨時注意擦拭,以防天車剎車失靈

5.PTH後之板子須浸泡在稀酸中（約0.1%之硫酸溶液）,且須於8小時內完成一銅電鍍

6.或加抗氧化後,水洗吹乾,且須於16小時內完成一銅電鍍。

六.自主檢查所需之工具及項目

工具

1.溫度計:

測各槽溫度

2.直流電勾錶:

測高錳酸鉀再生機電流

3.震盪測定儀:

測各藥水槽之震盪器震幅

項目

頻率

各藥水槽溫度

每班

各藥水槽濃度

化學銅沈積速率

微蝕速率

高錳酸鉀咬蝕量

每週

背光

2hr

水洗槽入水量

過濾器壓力

自動添加是否動作

再生機流電

藥水添加記錄

其他藥水槽之自動添加

槽別

添加藥水

藥水用量/1000SF

Pump流量

Pump啟動時間

膨鬆

自行調整

1.25L

“

中和

0.5L

0.3L

預浸

1.6L

活化

自動添加為計算面積添加,故添加頻率不定

八.各槽自動添加之藥品及添加桶體積

自動添加之藥品

添加桶體積

備註

60公升

高錳酸鉀

150公升

10公升

化學銅

九.手動添加方式

以每月產量20萬SF估算:

藥品

添加量

添加方式

2.5L

1次/4hr

1.6L

0.4L

整孔

1.5L

依分析添加

1次/1hr

十一.配槽程序

膨鬆

1.加入半槽純水於槽中

2.加入濾心於過濾器中,蓋緊

3.啟動過濾馬達

4.加入105公升,等4~5分鐘

5.補純水至溢流口下1吋

6.開啟加熱器,升溫至75℃

高錳酸鈉

1.加入純水,液位高於加熱之最低高度

2.加熱至60℃

3.開動攪拌器及打氣

4.加入,130公升

5.加入,156公升

6.補純水至溢流口下1吋

7.繼續加熱至75℃

中和加入半槽純水於槽中

1.加入濾心於過濾器中,蓋緊

2.啟動過濾馬達

3.加入公升

4.補充純水至溢流口下1吋

5.開啟加熱器,升溫至40℃

加入半槽純水於槽中

3.再加入,16公升

5.啟動加熱器,升溫至50℃

微蝕SPS

4.啟動打氣

5.加入98%硫酸16公升（或50%硫酸約32公升）

6.加入SPS37公斤

7.升溫至28℃

預浸加入半槽純水於槽中

2.加入公斤

3.補純水至溢流口下1吋

4.升溫至25℃

5.同時以沈水馬達或以空氣攪拌使404溶解

6.再開啟過瀘馬達。

活化加入半槽純水於槽中

2.加入,131公斤

3.補充純水至溢流口下1吋

4.攪拌及加溫至40℃,須等404完全溶解

5.最後才加入公升

化學銅加入半槽純水於槽中

3.開始打氣

4.先倒入

5.再倒入

6.再倒入再倒入

7.再倒入,請依上列順序加藥不可顛倒

8.補充純水至溢流下1吋

9.加溫至32℃

十二.藥品消耗量

藥品名稱

每1000平方呎消耗量

約2公升

約0.8公升

約1.25公升

約0.5公升

清潔整孔

約0.3公升

微蝕

SPS

約0.8公斤

98%硫酸

約0.02公升

約1.6公斤

約0.16公斤

880

約2.5公升

約5公升

化學銅之消耗量是依平均鍍銅厚度為11.8u”來估算

十五.開工規則

1.先通知化驗室分析各槽藥水濃度

2.調整藥水濃度,補足所槽中之液位

3.檢查各槽溫度（不可只看錶溫,須以溫度計實測一次）

4.將天車及飛靶歸位

5.檢查所有過濾器功能是否正常,過濾管路是否滲漏

6.檢查各自動添加儲液桶液位是否足夠

7.檢查化學銅自動添加控制器

a.按Power,等待讀數出現

b.打開Pump開關1~4

c.按MAN,添加燈亮起

d.檢查各添加管是否能加藥

e.一切正常,則按MAN至AUTO,完成

8.檢查水洗槽入水閥及打氣閥須半開

9.活化後之水洗槽嚴禁打氣

10.檢查假鍍板（Dummy）是否足夠,須有4掛×

2籃的板子

11.每次開始量產前,須先走Dummy板,再接著上量產板

十六.停工規則

1.將高錳酸鉀槽溫控制調降至40℃,關掉其餘藥水槽中的加熱器

2.關掉水洗槽中的入水閥及打氣閥

3.保持化學銅槽的打氣及過濾

4.保持活化槽及清潔整孔槽的過濾

5.關掉天車

6.關掉各槽自動添加Pump

7.關掉化學銅自動添加器

a.關掉Pump開關1~4

b.再關掉電源Power,完成

十七.停電或機械故障之處理（含重工程序）

1.遇到停電或機械故障時,超過10分鐘,便要想辦法把板子從藥水槽中移至水洗槽,超過1個小時,便須由水洗槽取出,並記錄:

（1）日期,

（2）料號,（3）板子數量,（4）班別

2.微蝕槽的板子須立刻吊出來,以免咬蝕過度。

3.其間若可恢復生產,則將板子由水洗槽吊回藥水槽繼續生產,活化槽的板子由水洗槽吊回之前須先在預浸槽泡2分鐘,才能吊回

4.化學銅槽的打氣絕不可斷。

5.若有緊急供電,須將各槽中的板子用手動天車吊出,化學銅槽中的板子可繼續鍍滿時間再吊出,視為正常板。

6.從各藥水槽吊出的板子均須先進水洗槽,以免藥水腐蝕板面

7.此時吊出來的板子重工程序如下:

a.微蝕（清除表面氧化層）,本步驟可用手動天車吊入微蝕槽中浸泡約15秒即可,若是孔內有鍍上化學銅,則浸泡約30秒（以微蝕速率為40u”為準,其他之微蝕速率,請將浸泡時間略為增減）,切勿浸泡過久,以免孔的內層銅被咬蝕過度,造成內縮

b.水洗

c.輕磨刷

e.重走PTH流程,儘可能不要走Desmear（膨鬆+除膠渣+中和）以免孔內樹脂被咬蝕過度,若天車能再設定一組重工程式,不走Desmear段。

f.一次銅孔破之重工程序亦同上步驟,但須注意:

在重走PTH過程,清潔整孔後之微蝕,絕對不可以超過15秒,否則孔破機率還是會很高

g.當供電恢復或故障排除後,生產前須再一次分析“NaOH“和“HCHO“,調整後才能開始正常生產

十八.保養事項

保養項目

頻率

程序

各水洗槽

清槽

1次/星期

1.打開洩水閥,將槽內水排盡

2.以水及布擦洗槽壁

3.關洩水閥,放入清水

更換槽液

1次/3個月

2.以水及布擦洗槽壁,加熱器

3.關洩水閥

4.依配槽程序重新配槽

更換濾心

1次/2週

1.打開過濾器上蓋,取出舊濾心

2.清洗過濾器

3.裝入新濾心（請先用60℃熱水浸泡1小時）

4.灌入膨鬆槽液,鎖緊上蓋

1次/月

1.將槽液降至50℃,關掉攪拌及打氣,讓槽液雜質沈澱1小時以上

2.騰出3槽乾淨的水洗槽

3.將槽液抽至騰出來的水洗槽,留下約1/6槽液

4.將留下的槽液排掉

5.以清水及布擦洗槽壁

6.關緊洩水閥,抽回槽液

7.開始加熱,補液位（用回收槽液補）分析調整濃度

清洗再生機

1.取出再生機,置入桶中,以中和槽液浸泡,勿泡太久,約10分鐘即可

2.取出以清水沖淨

3.勿以H2SO4/H2O2浸泡,以免損壞再生機銅心

預中和槽

更新全槽

1/週

3.裝入新濾心（請先用60℃熱水浸泡1小時）

4.灌入槽液,鎖緊上蓋

1次/1個月

1次/1週

更換1/3槽

微蝕速率<

15u”

4.灌入槽液,鎖緊上蓋（不可灌水）

1次/年

翻槽清洗沈銅

1次/二星期

1.將槽液抽至另一化學銅槽

2.用清水沖槽內,切勿用刷子或菜瓜布刷洗槽壁,因槽壁刮痕易引發沈銅

3.加市水至半槽

4.加SPS:

1包（25公斤）

50%硫酸:

100公升

5.打一些泡好的微蝕液至副槽

6.將過濾袋丟入副槽一起泡

7.待槽底的沈銅咬蝕掉,再加水至滿槽,打開循環Pump,視情況再加一點SPS和硫酸

8.沈銅咬掉後,將廢液排掉,用清水沖淨,備用

9.下次翻槽前,加滿槽市水,並倒入CupositZ,10公升裝好濾袋打開循環Pump和空氣攪拌,少半小時,排掉廢液後,即可進行翻槽

1次/12個月

1.在另一備用槽直接配新槽液

2.將舊槽液全部排掉

3.依上述之清槽步驟咬蝕沈銅

十九.各槽濾心規格

濾心長度

濾心孔徑

20吋

80-100u”,SS316

10-20u”

速化

化學銅（濾袋）

二十二.問題分析程序

1.檢查槽液溫度

2.檢查槽液濃度是否在控制條件範圍內

3.化學銅沈積速率是否在8~20u”

4.檢查水洗槽內的水是否清澈,流量是否止夠

1.微蝕後的板面銅箔是否呈均勻亮粉紅色

2.微蝕速率是否在20~60u”

7.檢查所有過濾器是否正常,壓力錶謮數應在綠色範圍內,壓力太大表示濾心阻塞,壓力太小表示pump有損壞或流量大而沒有過濾作用（濾心沒裝好…..等）

8.自動添加系統是否正常運作

9.自動添加之管路是正常出藥,其比例是否正確

10.自動添加之比色計的燈泡是否燒掉

11.檢查高錳酸鉀槽之再生機及整流器電流是否正常

12.檢查鑽孔效果,及磨刷機之破水測試須在30秒以上,刷痕測試不可有狗骨頭或梯形的刷痕

二十三.問題原因及對策

孔瘤（Nodules）

原因

對策

活化劑中的SnCl2分解

把活化槽濾心換新作全槽過濾,並把比重維持

在1.150~1.167之間,保持溫度於40℃（不可高於48℃

整孔清潔劑中的有機化合物分解

把槽壁及加熱器清潔乾淨,並用5u濾心過濾,溫度不能高於50℃,嚴重時須當槽

化學銅的沈積速率太高

降低槽溫,降低NaOH濃度,及減少上板數量

高錳酸鉀槽中的MnO2濃度太高

當槽1/2,將槽底污泥清掉

水洗的水質污染

尋求無污染的水

加速槽中的銅離子濃度過高

當槽,重新配槽

一銅電鍍槽有雜質顆粒

更新過濾之濾心,用Dummy板以低電流電鍍,

吸附槽中顆粒

電鍍槽之陽極袋破損

更換陽極袋

化學銅槽在手動添加藥

水時,直接倒在槽中或是各加藥管靠太近（加藥時藥水直接混合）

應慢慢加入或加在副槽中,加藥管須分開一些

孔破（化學銅背光不良）

孔壁整潔不良,或受到污染

提高清潔整孔劑濃度至上限,必要時當槽

化學銅沈積不良,溫度過低,槽液受到污染,或壽命已到

把NaOH及HCHO之濃度拉高,或增加掛板量Loading需在0.1SF/Gal以上,檢查溫度是否正常,必要時當槽

樹脂咬蝕不良

保持高錳酸鉀在理想範圍48~58g/L,並把溫度及當量提高

膨潤不良

提高膨鬆劑的溫度及當量,必要時當槽

鑽孔不良導致壓合面有裂縫或過於粗糙

改善鑽孔條件

活化孔壁不足,或槽液銅離子大於2000ppm或鐵離子大於100ppm

提高活化劑濃度

水洗太髒

更新水洗槽,檢查入水之流量是否在15~20L/hr

錳鹽殘留於孔內（

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