电子显微镜操作流程Word文件下载.docx
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能谱分析（EDS）的使用方法：
选择合适的试样位置后，开始采集，待采集完成后，选择适合的谱图进行计算，从而得到试样中相应元素的定量分析数据，并且还具有线、面分析功能及其粒度分析统计功能。
下面就这几天的学习简单制作了如下操作流程，仅供大家参考！
1.开启电源开关。
2.把钥匙拧到START处，启动电子显微镜。
3.待电脑开启之后，点击OK键4.点击AIR键泄出里面的真空气体。
5.等待*字样的进度条完全消失，电脑6.双手轻轻拉出真空罩，注意手的位置。
连续“嘟”三声，说明样品台里面真
空气体完全泄出。
进度条
7.用手轻轻取出样品。
8.用碳胶带把样品贴在样品台上，注意
不要用手直接接触样品台。
9.以样品的最高点为基准，测出高度。
10.把样品台放入轻轻放入。
11.输入尺寸和高度，点击StageMove12.待样品台自动调整到指定的位置，
然后点击OK
13.把样品台轻轻推入真空罩，样品台14.一只手轻轻搭住真空罩，另一只手
的高度必须低于真空罩口的高度。
点击EVAC键，开始抽真空。
15.点击ON键，加高压。
16.点击B/C键，自动调整亮度。
17.点击FOCUS，自动聚焦。
18.调整后的图像。
19.控制图像横向、纵向移动的操作台20.放大图像、聚焦、调整亮度对比的
X为横轴，Y为纵轴。
操作台。
21.F1表示快速扫描，S1、S3皆为满速扫描，通过之前的一系列操作把图像调
整到您认为的最佳效果。
S3
S1
F11
22.点击M/S键拍照。
23.点击Save，保存图像。
24.设置文件名之后保存。
25.必须先设置样品台距离为10之后
才能开始能谱分析。
26.打开电源开关，启动计算机进行能27.点击选项，选择电镜控制。
谱分析。
28.输入放大倍数、高压、工作距离参数29.点击电镜设置。
30.点击开始采集。
31.进入感兴趣区。
32.点击开始采集。
33.点击采集图谱。
34.选择点或者面区域然后开始采集电子图像，待采集时间进度条结束为止。
35.确认元素。
36.定量分析。
37.点击报告，选择创建Word文件。
38.用好电子显微镜之后关机，先把能谱分析的计算机关闭，之后点击HOME
键自动调整样品台高度，然后点击OFF键关闭高压，两者也可以同时进行。
39.点击AIR键泄出真空气体，取出样品。
40.设置样品台高度，把样品台放入真空罩。
41.把样品放入真空罩抽真空，然后把钥匙拧到OFF关闭电子显微镜，注意关
闭电子显微镜之前真空罩里面必须是真空状态。
附：
空压机放水每周一次！
SMR100真空油，油棉需要购买！
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