Fortix自动上下料系统manualWord下载.docx
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ONLOADER:
1935（H）x2855（L）x3590（W）
UNLOADER:
1.2.7重量：
ONLOADER3.5TON
UNLOADER3.5TON
1.3安装与维护
1.3.1systemcoverarea
1.3.2SYSTEMMOVING&
LOCATION
1.3.2.1移动
移动设备时请关闭电源与设备内存的压空阀，提高机器底部的连铸机转动螺母，并仔细检查电源连接线与压缩空气管是否断开。
1.3.2.2LOCATION
1.3.2.3连接电源
电源:
380ACV±
10%,50Hz,3Phase
在设备顶部连接电源并打开电源开关。
1.3.2.4连接压空
连接空气软管连接器的空气在系统的一边。
提供空气压力：
5〜6kgf/㎟
连接管路:
Φ10㎜,2PLS
1.3.2.5气压控制
调节控制:
手动调至5-6公斤
1.3.2.6空气过滤器的拆装
1.4.TOWERLAMP
红
黄
绿
RedBlinking:
Machinestoppedduetosomeerrors.
Red:
Machineisstoppedbyoperatororbyhostcomputer.
Yellow:
Warning,Someactionbyoperatorisrequired.
Machineisstillrunning.
Green:
MachineisrunninginAutomode
Off:
Machineisinstandbymode
1.5.手册使用
（1）本手册定义为经营者的参考基本条件。
因此，请充分了解
每学期前阅读本手册。
（2）本手册提供的基本信息和方法，以有效地操作本系统
生产。
（3）本手册显示的错误，在操作过程中可能发生，并提出
快速的解决方案。
请参考手册第一，如果发生任何问题。
如果问题不能得到解决，请接受维修工程师的帮助。
（4）本手册介绍了实用的规格，这是必然要求运行
系统。
请检查系统安装前的实用工具的所有要求。
（五）本手册介绍的安全标准和拆包的细节，移动
和安装。
请按照本手册中列出的程序。
（6）有关更多信息，请与我们联系如下。
Fortix科技有限公司
地址：
548-19，佳佐洞，西区，仁川，韩国。
电话：
82-32-819-5420
传真：
82-32-819-5418
电子邮箱：
fortix@fortix.biz
1.6.安全
1.机器运转时，不要将你身体的任何部位或其他东西放在机器里面。
2.在紧急情况推向紧急开关，所有的操作将停止。
3.当紧急情况结束后，将机器打到开始运转模式然后进行下一步操作
4.因为机器所有的安全门都装有传感器，设备运转时请不要打开安全门。
1.6.1.紧急关机按钮
该应急电源开关切断主电源，以保护操作者和
系统由系统故障和错误操作所造成的损害。
紧急开关红色按钮，它上面有一个箭头标志。
为紧急开关程序不能修改，除非客户要求
并关闭主电源完全停止系统。
1.6.2.急停开关操作
按下急停开关
1.6.3.急停按钮解除
RotatetheEmergencyswitchclockwise,thenthebuttonwillbereleased.
1.6.4Howtodounderemergencysituation
1）PresstheEmergencyswitchfirst.
2）Ifthesystemisindangeroussituationortheoperatorgetsinjured,callforthe
supervisorincharge.
3）Thesupervisorshouldtakeanactionasbelowfordifferentsituation.
A.Iftheoperator'
shandisinjuredbyTransferunit
-Releasetheemergencyswitch.Ifthepowerisonagain,allthemovingpartswill
movetotheiroriginalhomepositionautomatically.Ifnot,disassemblethetransfer
unitandtakeoutthehand.
B.Ifoperator'
sbodyisheldbyPickerorTrayelevator.
-Releasetheemergencyswitch.Gointothemanualmodeandmovethemovingpart
byten-keytorescuetheoperator.
C.Ifoperator'
sbodyisheldbyothermovingpart
-Ifthepowerisnoton,thosemovingpartscanbemovedbyhandeasily.So,move
thepartandrescuetheoperator.
D.Ifsomeofthepartscrashedtootherpart.
♉
PARTI–TECHNICALMANUAL
2.SYSTEMMANUAL
综述----------------------------------------------------------------2.1.
上料输送机部分-----------------------------------------------2.2.
CASSETTEM/Z升降机部分----------------------------2.3.
行走臂部分-----------------------------------------------------2.4.
装片部分----------------------------------------------------2.5.
硅片托盘部分--------------------------------------------2.6.
主传送部分--------------------------------------------------------2.7.
托盘升降部分--------------------------------------------------------2.8.
下料抓放部分------------------------------------------------2.9.
下料测量输送机部分---------------------------------2.10.
硅片下料部分--------------------------------------------------------2.11
2.系统部分
2.1综述
本手册对设备每部分的功能与结构进行了描述。
.
Thissystemistoload&
unloadthewafersforRoth&
RauPECVDsystem.
Two100slotcassettemagazinesareloadedandeachwaferistransferredto
loadingconveyorbyworkingbeam.When5wafersarereadyontheconveyor,main
pickerrobotpicksup5wafersandtransfertothetray.
Whenthetrayisfilledwithwafers,itwillbeloadedintoRoth&
AfterPECVDprocess,thetrayistransferredfromRoth&
RauPECVDsystemto
unloadingzonebybottomconveyor,liftunitandtopconveyor.Then,thepickerrobot
picksup5waferseachtimeandtransfersthemtotwooffloadingconveyor
alternatively.Eachwaferistransferredtostackmagazinethroughflippingunitand
offloadingpickerpicksupthewaferandplacesitintostackmagazine（Dualstack
magazineloading/unloading）.
2.2装在传送部分
2.2.1功能
装满硅片的cassette从底部的传送传送带装载，然后通过底部的传送带传送到cassette升降部分。
Cassettemagazines空了以后，将从顶部的传送部分卸载。
2.2.2组成
2.2.2.1底部传送部分
该部分takes100slotcassettemagazinetocassette升降机部位.
2.2.2.2顶部传送部分
该部分takes100slotcassettemagazineoutcassette升降机部位
2.2.3执行器
2.2.3.1MAGAZINESTOPPER上下
执行器:
CQ2B16-10D（气缸）[SMC]
Thecassettemagazinestopperworkbycylinder.
如果气缸持续三秒没有动作,timeovererror出现在监视器上.
Checkitem:
*气体供给
*传感器
*零部件的干扰
2.2.3.2MAGAZINE检测传感器
型号:
EX-14A[SUNX]
;
检测magazine的装载与到达.
检查项目:
*传感器连接（线弯曲或断开）
*C/P电路板的连接点
2.2.3.3传输电机
驱动器:
2IK6RGNC（速度控制电机）[ORIENTAL]
如果电机持续30秒无动作，黄色指示灯报警
检查项目:
*设备前端的音量开关.
*电机控制电路板继电器
*C/P连接点
*电机接线.
2.3.1功能
向上移动cassettemagazine与行走臂移动每片硅片一致
Cassettemagazine空了以后，将被传送到顶部的传送部分
2.3.2执行器
2.3.2.1Z轴升降机部分
执行器r:
HF-KP43B（伺服电机）[MITSUBISHI]
如果cassettemagazine不能移动到Z轴.
*传感器设置
*零部件干扰
*驱动盘故障.
*电机连接线
2.3.2.2CASSETTEMAGAZINECLAMPUNIT（夹具部分）
CDQ2B20-25DM-A73C（气缸）[SMC]
如果气缸持续3秒没有上下动作,timeovererrorwillappearon
themonitor.
*气体供应
*传感器设置
2.3.2.3CASSETTEMAGAZINE到达检测传感器
传感器型号:
检查cassettemagazine是否到达
*传感器连接线（线弯曲或未连接）.
*检查I/O输出是否正常.
2.3.2.4CASSETTE传输电机
2RK6RGNC（可逆调速电机）[ORIENTAL]
2.4行走臂部分
2.4.1功能
将cassettemagazine里的硅片传送到上料部分的传送带
Theconveyortransferseachwaferafteraligninguntil5wafersarereadyontheconveyor.
2.4.2ACTUATOR
2.4.2.1FORKMOVING
Actuator:
HF-KP13（SERVOMOTOR）[MITSUBISHI]
Ittransfersthewaferfromcassettemagazinetopitchconveyor.
*Sensorsetting.
*Partsinterferences.
*Paneldriveralarm.
*MotorConnector.
2.4.2.2FORKUP/DOWN
Actuator:
CDQ2B80-10DM-A93（CYLINDER）[SMC]
Ifthecylinderdoesnotwork3sec,timeovererrorwillappearonthemonitor
*Airsupply.
*Sensorsetting.
*Partsinterference.
2.4.2.3GAGINGUNIT
KH56QM2-901（STEEPINGMOTOR）[ORIENTAL]
IftheMotordoesnotmovefor3sec,timeovererrorwillappearonthe
monitor.
2.4.2.4WAFERHOLDINGUNIT
ZQ1073-Q15L-FK（VACUUMEJECTOR）[SMC]
Ifthepickercannotpickupthewaferduetolackofairtovacuumpump,misloading
errorappearsonthemonitor.
*SOLV/V.
2.5LOADINGPICK&
PLACEUNIT
2.5.1FUNCTION
Thisunitistransferthewaferfrompitchconveyortotray.
2.5.2ACTUATOR
2.5.2.1WAFERHOLDINGUNIT
2.5.2.2WAFERDETECTSENSOR
SENSOR:
SKD12M-T[SANIL]
Itcheckthewaferonthepitchconveyor
*Sensorconnector（wirebendingordisconnection）.
*CheckwhethertheI/Oontheinput/outputmonitorisworking.
2.5.2.3PICKERUP/DOWN
HF-KP43B（SERVOMOTOR）[MITSUBISHI]
Cylinderup/downforthewaferpickup.
Ifthecylinderdoesnotmovefor3sec,timeovererrorwillappearonthe
2.5.2.4PICKERMOVING
LPS180S-F1700-S10-W（LINEARROBOT）[LPK]
Pickermovingmotor.
IftheMotordoesnotmovefor3sec,timeovererrorwillappearonthe
2.6WAFERNEST&
TRAYCLAMPUNIT
2.6.1FUNCTION
Wafernestunitreceivesthewafersbeforeloadingthemintotraypocketandtrayclampunit
alignsthetrayduringwaferloadingbypicker.
2.6.2ACTUATOR
2.6.2.1TRAYCLAMP
MXS16-20B-A93（CYLINDER）[SMC]
Ifthecylinderdoesnotmovefor3sec,timeovererrorwillappearonthe
MXS20-10BT-A93（CYLINDER）[SMC]
2.6.2.2TRAYNEST
MXS25-30B-A93（CYLINDER）[SMC]
2.6.2.3TRAYDETECTORTOUCHSENSOR
N-MSTKE[MISUMI]
Ifitdoesnotdetecttray,analarmwillappearonthemonitor.
*Checkwhetherthei/oontheinput/outputmonitorisworking
2.7MAINCONVEYORUNIT
2.7.1FUNCTION
Thisunitistotransferthetray.
AfterPECVDprocess,thetraywillbetransferredfromRoth&
RauPECVDsystemtotray
elevatorbybottomconveyorunitandthetrayelevatormovesthetrayupwardandthenthetop
conveyortransfersthetraytounloadingpickupzone.
Whenthetrayisempty,theemptytraywillbetransferredtowaferloadingzoneagainby
conveyor.
2.7.2ACTUATOR
2.7.2.1CONVEYORMOTOR
5IK40GN-SW（SPEEDCONTROLMOTOR）[ORIENTAL]
Ifthemotordoesnotmovefor30sec,theyellowlightofthetowerlampwill
beontoalarm.
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