静电产品检测规范Word文档下载推荐.docx
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5.3CGP（CommonGroundPoint）共同接地点
5.4EPA（ESDProtectedArea）静电防护区
6流程图:
6.1ESD设施/材料检验流程.参阅附件一.
7内容
7.1设备﹑ESD接地系统量测
Device﹑ESDGroundtestspec:
Device﹑ESDGroundResistance:
R>
10Ω
测试仪器:
MK-8406A数显GroundSystemMonitor
7.1.1测试方法
7.1.1.1插上电源线,按下红色极性辨识按键,按下按键时灯应亮起﹐否则表示电源接线极性错误.
7.1.1.2打开主机电源开关,此时警报响起﹐接地状况指示之”FAIL”红灯亮起﹔同时LCD屏幕显视CIRCUITOPEN字样.（旋转音量旋钮﹐将警报声调之适当大小）
7.1.1.3将测试线末端之鳄鱼夹夹在设备自检测试点上进行设备自检.（此时警报声立即停止﹐接地状况指示之”OK”绿灯亮起﹔LCD屏幕显视R=x.xxxKΩOK字样）
7.1.1.4将测试线末端之鳄鱼夹夹在欲测的生产设备金属外壳或ESD接地线末端﹐此时警报声应停止﹐接地状况指示之”OK”绿灯亮起﹔LCD屏幕显示出测试值即为实际检测结果.
7.1.2作业规范
7.1.2.1生产线的设备﹑ESD工作站变更时,变更设备﹑产线之部门应及时通知部门ESD负责人对其重新检测;
否则后果由变更部门负责.
7.1.2.2静电接地线与设备接地线严禁出现短路现象（通常情况下﹐纯绿色线为设备接地线﹔黄绿双色线为静电接地线）
7.1.2.3设备﹑ESD接地系统检测周期为每30天1次.
7.2.导电地板测试
FloorMaterialstestspec:
ResistancetoGroundpoint:
2.5*104Ω~1.0*106Ω
Resistancetoptotop:
数显式双锤表面阻抗测试器（测试模式:
10V）
7.2.1测试方法
7.2.1.1连接数显阻抗测试仪并按下仪器右下方黑色电压模式选择按钮使其处于10V检测檔位.
7.2.1.2用抹布将双锤底部擦拭干凈﹐分别将双锤放在地板上或一端放在地板上另一端连接地板接地测试点上进行表面阻抗或体积阻抗测试（注意两锤测试点的距离应保持在90cm）
7.2.1.3按住仪器中央红色测试键（约15秒）,这时LCD屏幕按顺序依次显示”华氏温度﹑摄氏温度﹑相对湿度﹑电阻值﹑电压模式”
7.2.1.4LCD屏幕显示上面各项数值时﹐屏幕下方的LED显示灯会指示出相应的电阻指数
7.2.1.5当仪器上10V处的蓝色指示灯亮时读取仪器上所显示的数值.
7.2.1.6阻抗测试结果由LCD显示屏和LED指示灯共同显示﹐例如电阻值为135000Ω﹐显示如下﹕1.35显示在LCD显示屏上﹐同时指示灯的5会亮﹐表示结果为1.35X105Ω
7.2.2作业规范
7.2.2.1地板平均每100平方米必须有壹个测试点﹐且每月必需对其导电性能（接地阻抗）进行1次检测.
7.2.2.2地板清洗时需先用洗地机将地板澈底洗干净,再进行打腊将地板表面恢复原貌及光亮的最佳方式,打腊后的地板须经ESD检测合格方可
7.2.2.3对地板的表面阻抗进行检测时,请选择地板表面摩擦率较高的地方进行检测（如员工作业区域）
7.2.2.4当地板损坏时（破损﹑起泡）应及时通知设施部进行维修
7.3静电衣帽测试
AntistaticSmocktestspec:
ResistanceAntistaticSmocktop:
106Ω~109Ω
数显式双锤表面阻抗测试器（测试模式:
AUTO）
7.3.1测试方式
7.3.1.1连接数显阻抗测试仪并按下仪器右下方黑色电压模式选择按钮使其处于AUTO检测檔位.
7.3.1.2用抹布将双锤底部擦拭干凈,将一重锤平放与一衣服袖口上,另一重锤平放与衣服的前胸处进行表面阻抗测试（注意两锤测试点的距离应保持在60cm~90cm之间）
7.3.1.3按住仪器中央红色测试键（约15秒）,这时LCD屏幕按顺序依次显示”华氏温度﹑摄氏温度﹑相对湿度﹑电阻值﹑电压模式”
7.3.1.4LCD屏幕显示上面各项数值时﹐屏幕下方的LED显示灯会指示出相应的电阻指数
7.3.1.5当仪器上100V处的蓝色指示灯亮时读取仪器上所显示的数值.（检测结果识别方法参阅7.2.1.6）
7.3.2作业规范
7.3.2.1静电衣帽验收标准值为小于1.0*107Ω/SQ,日常检测标准应小于1.0*109Ω/SQ
7.3.2.2静电衣帽验收抽检量为10%（不满100件时均检测10件）;
验收时出现2件以上（含2件）不良时应及时给予判退货.
7.3.2.3在线作业员静电衣检测周期为每30天1次,检测过程中发现不良时应强制更换.
7.3.2.4静电衣在清洗时应使用中性水（水温不可超过30℃）配合中性洗洁剂轻揉后晾干﹐严禁熨烫﹑拧干﹑用刷子刷衣服.
7.3.2.5静电衣﹑鞋﹑帽只允许在ESD防护区或管制区内使用﹐离开此区时必需及时更换静电衣﹑鞋﹑帽.
7.4导电车测试
ConductiveRacksMatstestspec:
ResistanceConductiveRacksMatstop:
105Ω~109Ω
7.4.1测试方式
7.4.1.1连接数显阻抗测试仪并按下仪器右下方黑色电压模式选择按钮使其处于AUTO检测檔位.
7.4.1.2用抹布将双锤底部擦拭干凈,将一重锤平放静电车表面,另一重锤平放与地板上（注意两锤测试点的距离应保持在60cm~90cm之间）
7.4.1.3按住仪器中央红色测试键（约15秒）,这时LCD屏幕按顺序依次显示”华氏温度﹑摄氏温度﹑相对湿度﹑电阻值﹑电压模式”
7.4.1.4LCD屏幕显示上面各项数值时﹐屏幕下方的LED显示灯会指示出相应的电阻指数
7.4.1.5当仪器上100V处的蓝色指示灯亮时读取仪器上所显示的数值.（检测结果识别方法参阅7.2.1.6）
7.4.2作业规范
7.4.2.1导电车必须在规定的日期内按控管标签准时检测,否则后果由使用部门负责.
7.4.2.2导电车的导电轮应每30天清洗1次确保其导电性.
7.4.2.3导电车由使用部门负责每30天检测1次,且每层检测均合格时才视为合格品.
7.5导电桌垫测试
ConductiveTabletestspec:
ResistanceTabletop:
7.5.1测试方法
7.5.1.1连接数显阻抗测试仪并按下仪器右下方黑色电压模式选择按钮使其处于AUTO检测檔位.
7.5.1.2用抹布将双锤底部擦拭干凈,分别将一重锤平放在工作台静电皮表面,另一端接静电接地在线（注意两锤测试点的距离应保持在60cm~90cm之间）
7.5.1.3按住仪器中央红色测试键（约15秒）,这时LCD屏幕按顺序依次显示”华氏温度﹑摄氏温度﹑相对湿度﹑电阻值﹑电压模式”
7.5.1.4LCD屏幕显示上面各项数值时﹐屏幕下方的LED显示灯会指示出相应的电阻指数
7.5.1.5当仪器上100V处的蓝色指示灯亮时读取仪器上所显示的数值.（检测结果识别方法参阅7.2.1.6）
7.5.2作业规范
7.5.2.1静电桌垫由使用部门负责每个月检测1次.
7.5.2.2静电桌垫必须经1MΩ电阻接地,且每日下班要对其进行清洁.
7.5.2.3工作台或流水线之桌垫在2米内必须有一接地线接地.
7.5.2.4静电桌垫的下方严禁放置任何导电材料,静电桌垫在使用中严禁反面铺设
7.6导电容器（料盒,导电箱）的测试
AntistaticContainertestspec:
ResistanceContainertop:
简易型表面阻抗测试仪
7.6.1测试方法
7.6.1.1将表面阻抗测试仪放置与待测物体上（注意:
测试仪背面导电轨要与被测物体充分接触）.
7.6.1.2按下面板上的红色TEST键,读取LED灯亮处所显示的值.
7.6.2作业规范
7.6.2.1所有物料在ESD防护区内必须做好静电防护动作.（如:
包装或储存时使用静电屏蔽袋,翠盘,真空包装袋,静电泡棉;
运输时使用静电箱,导电料盒,导电车;
维修及作业时使用导电毛刷,防静电溶剂瓶,导电镊子,防静电套板）
7.6.2.2所有容易产生静电的物料或绝缘材质必须使用离子风扇.
7.7其他静电产品的测试
屏蔽袋:
109Ω~1011Ω泡棉:
109Ω~1011Ω
输送带:
109Ω~1011Ω毛刷:
104Ω~109Ω
镊子:
104Ω~109Ω溶剂瓶:
手套:
106Ω~109Ω瓦楞纸:
104Ω~109Ω
7.7.1测试方法
7.7.1.1用抹布将待测物体擦拭干凈.
7.7.1.2将表面阻抗测试仪放置待测物体上（注意:
测试仪背面的导电轨要与被测物体充分接触）.
7.7.1.3按下面板上的TEST键,读取LED灯亮处所显示的值.
7.7.2作业规范
7.7.2.1ESD防护区外严禁使用不防静电和静电放电物质来贮存（普通塑料袋）所有容易产生静电或静电放电的物品（如:
塑料袋,梳子）未经ESD人员确认严禁带入ESD防护区内.
7.7.2.2ESD防护区外物料包装或储存时使用静电屏蔽袋,真空包装袋;
运输时使用静电箱,导电料盒,导电车
7.8各设备的EOS测试（烙铁头、电动起子﹑治工具……）
掌上型数字式万用表
7.8.1测试方法
7.8.1.1取三用电表将指针播到AC380V以上檔位.
7.8.1.2将红棒接到待测设备金属外壳,.
7.8.1.3黑棒分别接触电源接座的基线孔、大地孔及ESD接地线
7.8.1.4得到三个数值,记录于EOS检查记录表
基线
大地孔
ESD接地线
正常数值应小5.5V（如果大于标准值既为漏电，原因可能是大地孔未接地）
正常数值应小于0.3V
7.8.2作业规范
7.8.2.1每日上班前各线全能员必须对其在线治﹐工具及进行EOS检测,并认真填写记录.
7.8.2.2领班在线检测过程有发现漏电时应及时反应给部门负责人.
7.9静电手环（脚环）检验.
7.9.1测试方法
7.9.1.1将有线静电环内部金属片紧贴检验者手腕上,
7.9.1.2静电环鳄鱼夹子与静电仪夹子相交（手不要触碰夹子相结处,以免测试不准确）
7.9.1.3另一只手按下“PRESSHERE”检测结果如下:
中间绿灯亮（GOOD）且有响声：
静电环回路检测正常
左边红灯亮（HIGH）：
静电环阻抗偏高
右边红灯亮（LOW）：
静电环阻抗偏低
7.9.2作业规范
7.9.2.1静电手环的佩戴和检测时内部金属片必须紧贴皮肤.
7.9.2.2静电环在作业当中严禁擅自借给他人使用.
7.9.2.3每次检测前,请先用750Kohm和10Mohm标准电阻件对其静电环测试仪进行验证.
7.10导电鞋检验.
7.10.1测试方法
7.10.1.1先将两脚站于踏板上,按下测试按钮.
7.10.1.2亮绿灯（PASS）时,表示导电鞋良好.
7.10.1.3亮红灯（HI-FAIL）或红灯（LOW-FAIL）时,表示导电鞋不良应立即更换
HIFAIL:
R＞35MΩPASS:
750KΩ≦R≦35MΩLOFAIL:
R＜750KΩ
7.10.2作业规范
7.10.2.1导电鞋检测时,请勿将鞋子湿水,以免测试不准确.
7.10.2.2所有人员（包括来宾）进入EPA生产车间时必须做导电鞋检测否则严禁入内
7.10.2.3导电鞋检测时严禁代替他人做测试记录
7.11各设施材料静电压的测试
测试仪器:
静电压测试仪
7.11.1测试方法:
7.11.1.1按下静电压测试仪上红色（POWER）按钮,听到嘀的一声长鸣,同时仪器顶部会出现一对红外线光源,此时仪器已处于待使用状态.
7.11.1.2将仪器的红外线光源垂直靠近导体材料,当距离导体材料约25mm两点光源重合为一点时,按下静电压测试仪上灰色（ZERO）按钮进行归零.
7.11.1.3摩擦待测物体,同时将仪器的红外线光源转移到待测物体表面,缓慢垂直接近待测物体.
7.11.1.4当距离待测物体约25mm时两点光源重合为一点,按下静电压测试仪上绿色（HOLD）按钮读取液晶显示之显示值.
7.12 ESD主体与接地主体测试
7.12.1测试仪器:
ZC29B-1型接地电阻测试仪.本仪表执行标准GB/T7676－1998＜接地电阻表＞国家标准.
7.12.2测量标准
根据电工学标准：
GBJ79-85&
GB2887-87 ESD接地阻抗R≦4Ω；
设备接地阻抗R≦10Ω
7.12.3测试方法:
7.12.3.1沿被测接地极E＇使电位探棒P＇和电流探棒C＇依直线彼此相距20M，且电位探棒P＇系在E＇和C＇之间.
7.12.3.2E端钮接5M导线，P端钮接20M导线，C端钮接40M导线.
7.12.3.3将仪表放置于水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调整正器调节零位.
7.12.3.4将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发电机的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指针指“0”.
7.12.3.5当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟150转。
再转动电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以位率档即为被测接地电阻数值。
7.12.3.6当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得正确读数。
7.12.4作业规范
7.12.4.1此仪表按照质量检测中心规定,每两年送检一次。
7.12.4.2接地系统每季度检测1次。
7.12.4.3接地系统设有专用点检表。
（设在点检现场）
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