电子厂静电防护管理程序文档格式.docx

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负责在仓储期间及发料过程对ESD敏感性元器件进行重点防护以及防静电辅材（7.4.2.5中规定）的来料检查与管控。

3.4生产部：

负责ESD控制标准的执行及日常点检与测量。

3.5企管部：

负责安排ESD人员培训和认证考核，及相关资料归档。

4.0参考文件

4.1ANSI/ESDS20.20-2007

4.2IEC61340

4.3ANSI/EIA-625

5.0定义及相关术语

5.1ESD（ElectrostaticDischarge）：

静电放电

由于电子不均匀分布使电荷在不同电位物体间相互转移的现象。

5.2EOS（ElectricalOverStress）:

电压过应力

即当外加电压超过零件所能承受的电压范围时，造成零件的崩溃。

5.3导电材料：

材料表面电阻率低于1.0x105Ω/SQ或体电阻系数低于1.0x105Ω/CM的材料。

5.4绝缘材料：

材质表面阻值至少是1.0x1012Ω/SQ或电阻系数至少是1.0x1012Ω/CM的材料。

5.5静电耗散材料：

一个材料其表面电阻率大于1.0x106Ω/SQ，小于1.0x109Ω/SQ.（如防静电手套、防静电工作台等）。

5.6抗静电材料：

指表面电阻率大于1.0x109Ω/SQ,小于1.0x1011Ω/SQ的材质。

5.7CPG（CommonGroundPoint）共同接地点

5.8EPA（ESDProtectedArea）静电防护区域

5.9ESD接地：

静电充电物（人）经由汇流排、金属支板或系统传导至地面。

5.10设备接地：

从电子设备到硬接地电极之低阻抗路径。

6.0流程图

《静电防护管理程序流程图》

7.0内容

7.1长城电脑电源事业部ESD组织结构

7.1.1主要职责

7.1.1.1解决本公司重要的ESD事件，对ESD执行进行技术性指导。

7.1.1.2每月对本公司ESD控制环境进行考核评估。

7.1.1.3按国际标准和客户要求，保证ESD防护设施的导入。

7.1.1.4定期对本公司员工进行ESD教育训练和考核，加强员工的ESD意识。

7.1.2组织结构

7.1.2.1ESD管控区域分布

7.1.2.2ESDteam组织图

7.2ESD教育培训

7.2.1所有从事处理或接触静电敏感器件的工作人员，都必须接收ESD培训，并经检定考试合格者方可从事该项工作。

7.2.2认证共分为A,B,C三级

A级-公司培训讲师，稽核员及各工作区主管级以上干部皆属之。

B级-工作区之工程师，技术员，领班，线组长，QC人员需具备之。

C级-一般作业人员及新进人员。

7.2.3培训计划的安排及每次个人培训档案的收集，汇总将由企管部做统一统筹。

7.2.4重新培训认证：

凡经认定为认证资格已失效者（违反ESD规定二次以上者）及所有人员每年都必须接收一次重新培训及认证（公司内部讲师每年不需要重新受训一次）

7.3ESD、设备接地之要求

7.3.1静电ESD接地采用2mm*4cm的扁铁埋入地表面以下0.8m深度，接地极与接地线必须用高温熔接保证电性连接良好，且用50mm2的电线接出引至厂房各控制区域，再用6mm2的电线连接至各线体；

设备接地线由三相五线制的保护地线引出，连接至各区域线体作为设备接地使用，起到双重接地保护作用。

7.3.2为确保人员的安全性，车间设备地线必须为独立，不可与ESD地线共用。

工程部ME组技术员须每半年对厂区设备地进行全规模检测，用一根6m2电缆线一端牢固接在厂房配电箱主设备地，一端接在万用表一端，万用表另一端接在各线体设备地末端进行检测，此时用万用表“Ω”档位进行测量，测量阻值应<

4Ω；

ESD接地需ME技术员每半年检查一次，用一根6m2电缆线一端牢固接在静电接地主线，一端接在万用表一端，万用表的另一端接在各线体ESD接地末端检测点进行检测，此时用万用表“Ω”档位进行测量，测量阻值应<

10Ω。

检测结果记录于《接地线点检记录表》中。

7.3.3生产线的ESD、设备接地末端接地电阻均需小于10Ω，此设备接地与ESD接地状况的检测由使用部门各负责人每月自行测量一次，并分别记录于《ESD接地检测记录》和《设备接地检测记录》中。

7.3.4为避免ESD/EOS的发生，所有设备（AI/RI/SMD，加工成型机、测试设备、锡炉、烙铁电动起子等）请一律使用美式或欧式三芯电源插头，确保设备工具良好接地，同时，为了确保设备的接地可靠性与避免EOS的发生，所有的带电仪器设备与电动治工具都需连接设备接地线。

7.3.5所有测试治具（ICT、INT与保护站）需采用抗静电材料如电木制成，外加工治具一律用防静电或抗静电材料制成，且机台需做好接地处理。

7.3.6ESD接地主线尾端需贴ESD共同接地测试点标签见标识图C。

7.4ESD防护区域及ESD防护工作站要求

7.4.1ESD防护区域的要求：

7.4.1.1凡是有对半导体材料进行存放、加工、组装、包装与检验的区域均为ESD防护区域，包括：

IQC、IC仓、AI、HI、T/H段、组装段与维修站等。

7.4.1.2ESD防护区域内如有铺设导电地板，其接地阻抗需保持在2.5x104Ω/SQ至1.0x106/SQ之间；

且需每月对其进行清洁及检测，并落实填写记录于《导电地板检测记录表》上。

7.4.1.3所有人员（包括间接人员、来宾）进入铺设导电地板之ESD防护区时，必须穿静电鞋，且经检测合格后，方可进入。

7.4.1.4所有人员（包括间接人员、来宾）进入ESD防护区时应依静电环点检说明书自觉点检，并落实填写点检记录表。

7.4.1.5为避免检测仪器不良引起人员误测，故各部门负责人应每日对仪器进行检查，使其处于设备良好状态。

（如接法是否良好，电量是否足够）

7.4.1.6所有人员进入生产线之ESD管制区域时头发过肩的人员必须将其放入静电帽内，头发过腰的人员可将头发盘起或放入静电衣内，否则严禁进入生产区。

7.4.1.7所有需穿静电衣的人员（包括间接人员、厂商及参观者）在穿静电衣时其袖子严禁挽起，静电衣之扣子或拉链必须系好，且所穿的便装之衣领/衣帽严禁外露。

7.4.1.8静电衣清洗时需使用小于30℃的中性水配合中性洗洁剂轻揉后晾干即可；

其标准阻抗值为106Ω～109Ω之间；

需每月抽检一次并记录于《静电衣检测记录》上。

7.4.2ESD防护工作站要求：

7.4.2.1ESD防护工作站指ESD防护区域内所有具有防静电功效之工作站。

7.4.2.2ESD安全工作站之静电环、静电桌垫接地方式必须并联，绝不能串联于ESD主线上。

且必须接到ESD接地线上，不可夹在设备接地线或各种被误认为已接地设备上。

7.4.2.3静电桌垫需经串联1MΩ电阻的接地扣接至ESD地，而非设备地；

且接地采用之鳄鱼夹与香蕉插头不能混合使用。

7.4.2.4防静电桌垫需每月进行点检一次，贴点检标签如标识图D，并将检测结果记录于《防静电桌垫点检记录》中；

标签应横向贴在工作台靠近静电接地扣处。

7.4.2.5公司所有新购之防静电辅材（防/抗静电袋、静电手腕带、静电手套、静电衣/鞋/帽、导电桌垫、静电车、静电盒/箱/框、PCB挂篮、静电泡棉、静电毛刷、导电镊子、防静电溶剂瓶等）进厂或铺设时，必须经由仓库ESD人员对来料进行抽检（抽检比例：

样品数N<

100时，抽检20%；

100≤N<

500时，抽检10%；

N≥500时,抽检5%）,待检验合格后，方可导入使用，检测报告记录于《防静电材料来料检测记录表》中，且所有防静电材料在使用前由各使用部门负责全检。

7.4.2.6静电安全工作站30cm以内的所有物体、材料表面及人体所带静电量（即放电模式）应小于100V。

7.4.2.7对于生产线上具有静电发生源之工位（如：

撕贴胶纸、HI处物料之绝缘包装盒）等，应增设离子风扇有效中和静电。

7.4.2.8针对已组装好外壳的成品所进行的操作，原则上操作人员不需要佩戴静电环；

但针对个别使用高静电物料的工位（如包装塑料袋等），需要用离子风机对吹，以消除静电。

离子风机每班巡检一次，结果记录于《离子风扇巡检记录表》中；

领班应每周对离子风机平衡电压进行检测，平衡电压应小于100V，检测结果记录于《离子风机平衡电压测试记录表》中，同时，为保证离子风扇使用之可靠性应每两个月进行一次校准，校准结果记录于《离子风扇校准记录表》中。

7.4.2.9工作站使用之测试治具、电动工具需每班在上班前对其进行设备接地电阻及EOS对地电压检测，结果分别记录于《EOS检测记录表》及《机器设备/电动治工具接地检测记录表》中。

7.5工作现场ESD之要求

7.5.1静电环佩戴须知

7.5.1.1作业员在作业时必须依MOI要求佩戴静电环、静电手套或静电手指套，且静电环腕带之金属片必须与手腕皮肤紧密接触，不可松脱或套于衣袖上。

7.5.1.2为确保1MΩ电阻之有效性，严禁用力拉扯静电环的导线。

7.5.1.3所有人员（含间接人员、流动员）接触ESD敏感性零组件时均须佩戴静电环，且静电环须处于接地良好状态。

7.5.2所有人员每日上班前应主动检测静电环/鞋接地状况，每日点检两次，加班需另进行点检一次，点检完毕后如实记录点检结果于《静电环点检记录》和《静电鞋点检记录》上，且由各区域线长或区域ESD负责人签字确认；

如点检失败，应及时找线长更换新的静电环，并重新点检合格方可上线作业。

7.5.3使用静电环自动测试仪的工位，采用自主点检和线长检查的方式，自主点检方法为：

不戴静电环，打开电源开关，此时测试仪上红灯亮，蜂鸣器叫；

佩戴静电环后，只有绿灯亮。

以上测试结果符合，表示静电环自动测试仪处于良好的实时监控状态，人员可靠接地。

每日三次（上午、下午、晚上）需要点检，员工在自主点检的同时，线长进行确认，并填写《静电环点检记录》。

7.5.4未使用静电环自动测试仪的工位，由线长使用静电环测试仪器逐工位进行点检，点检方法为：

先将静电环测试仪器的接地线接地，让员工用手触摸静电环测试仪器的金属面盖，如绿色灯持续亮，表示人员可靠接地；

其它灯亮表示接地不良。

线长对点检结果作记录并填写《静电环点检记录》。

7.5.5对于操作静电敏感性零组件之工位除以上点检外还应：

7.5.5.1所有ESD敏感零组件，应使用防静电盒/框或防静电容器盛装。

7.5.5.2取放ESD敏感零件时，请使用防静电手套/镊子进行操作；

对PCB清洁时必须使用防静电刷方可；

装PCB清洗溶剂所使用的容器必须为防静电容器；

以上使用之治工具需每月对其ESD功能进行检测并记录于《ESD治工具点检记录》。

7.5.5.3防静电盒/防静电桌垫等各种ESD材料上必须有ESD点检标签存在。

7.5.5.4工作台上严禁张贴胶带或防止普通塑料盒、塑料袋等绝缘材料；

生产线使用的绝缘废弃物应及时清扫处理。

7.6ESD敏感性材料之来料检验、包装、储存、运输搬运过程中ESD控制要求

7.6.1所有ESD敏感材料或产品在静电防护区域外应完好封装于静电屏蔽IC管或静电屏蔽袋内，不可打开包装；

不能使用易产