阻焊直接成像曝光机Screen验收报告V.docx
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阻焊直接成像曝光机Screen验收报告V
SANY标准化小组#QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8-HHMHGN#
阻焊直接成像曝光机Screen验收报告V
阻焊直接成像曝光机（Screen）验收报告
一、验收目的：
检验设备的各项指标是否达到规格书要求，并评估设备工艺能力及产品品质是否达到我司要求。
二、验收信息：
序号
项目
信息说明
备注
1
型号
ScreenLI-5F-M曝光机与威志传送设备
2
供应商
Screen（网屏）、威志
3
用途
阻焊曝光
4
验收数量
1
5
使用厂区/部门/工序
ICS/工艺部/阻焊
6
设备负责人
甘斌、曾祥敏
7
验收人
王锋锋、刘成勇
8
验收时间
—
三、验收项目及结果：
项目Item
验收标准
AceeptanceStandard
结果
备注
机体结构
机体完整性
机体完整，表面无划痕，损伤，各部件可正常运行
OK
传送设备不锈钢表面未抛光处理
基本规格
:
960±30mm
2.设备尺寸：
符合规格书设计要求
3.运行方向（以操作面看）：
从右到左
4.传送尺寸：
415×510mm标准
OK
传送系统
1.各马达符合类型、数量和规格符合规格书要求
2.马达运行平稳
3.马达皮带（链条）转动正常
4.与板接触部位材质符合要求
5.各搬送部运行稳定，夹持无异常，无异常噪声
待改善
翻板机为皮带；传送滚轮间距较大；收放板机吸板不平整；放板后吸嘴会粘板（7/25）
电气系统
1.马达电流正确
2.接线正确无误,并标示正确
3.接线柱稳定无松动
4.线槽稳固良好
5.控制箱清洁良好
6.入板电眼调试正常
7.电源规格符合我司要求
8.电控柜需要有调温装置
OK
控制系统
1.运行正常，软件系统至少包括中文
2.电脑设有断电缓冲（UPS）装置
3.各控制项目符合要求
4.参数有分级修改权限设定
5.预留收放板机自动控制端口
待改善
转换文件软件CU-9000无设置页为英文，无中文;曝光机无分级修改权限设定；NG产品暂存机无NG暂存功能（7/25）
机台运行
1.曝光机，冷却机，温调机等各部运行正常，无异常噪声或者故障
2.开机试运行，抽真空后观察真空度数值是否达标
待确认
验收期间“主机冷却”常出现黄色警报，未知原因；目前正常产品在High模式下真空值约-5kpa。
（7/25）
机体温、湿度控制
1.温度控制精度：
±1℃
2.湿度控制精度：
±5%
OK
曝光机内部温度约25℃
机体灰尘控制
洁净度≤100级
洁净度按1000级控制
警报指示
1.故障报警正常
2.报警指示灯正确
3.各种保护、报警、急停等辅助装置可以正常使用
4.做各种违规等操作验证报警功能是否有效
5.按急停键验证能否实现急停功能
6.设备，控制箱，线路等标牌粘贴正确
7.异常情况、生产记录等自动存储功能，保存期限≥6个月
待改善
曝光主机无报警指示灯；抓板手臂在非指定区域可下降；
其他项目
此表中未涉及的项目依设备规格书逐项检查
待确认
能力与品质
传送能力
1.卡板，掉板，板折等导致的过板失败率＜%
2.出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲
待确认
有吸嘴印迹
防翘曲能力
水平放置前后翘曲≤6mm情况的板能顺利运行，未出现掉板、折板、卡板等，产品生产时不会出现曝光不良现象
待改善
板边翘曲情况下无法正常对位（7/25）
产能
产能满足：
≥5000m2/month
最小开窗
1.最小SRO能力：
50±5um
2.铜上及基材上阻焊undercutorfoot：
≤5um
3.开窗形态良好
OK
能量均匀性
1.开窗大小：
250±5um（245~255um）
2.均匀性≥95%
OK
阻焊桥
1.≥50um
2.无发白、桥弯、掉桥等
OK
台面印记
无台面印记、凹坑、吸盘印等
待改善
产品图形内有吸盘印
曝光条纹
无明显曝光过度线条、曝光不良条纹等
（依据Taiyodatasheet中能级要求，最高曝光能量均可满足要求）
OK
有轻微曝光条纹
位置精度
要求3σ≤10um，cpk≥
1.玻璃底片检查测试，1年/次--提供测试报告给FP,OK
2.定期校准检查，每季度/次--提供校准报告给FP
3.实际图形测试结果满足验收标准
（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：
45Points/Panel）
待确认
尚未提供校准报告
重复精度
要求3σ≤5um，cpk≥
1.玻璃底片检查测试，1年/次--提供测试报告给FP
2.定期校准检查，每季度/次--提供校准报告给FP
3.实际图形测试方法及结果满足验收标准
（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：
45Points/Panel）
待确认
尚未提供校准报告
Offset区域
要求重合部分≤2um,肉眼观察无明显曝光过度线条
待确认
油墨适应性
至少可以对应taiyo所有IC载板类型油墨（包括湿膜和干膜阻焊）
OK
评估测试AUS308、AUS320、AUS410、EG23、AQ4086，与ORC设备相比，更容易出现台面印迹问题（通过堵部分吸气孔改善）
文件格式兼容性
至少可以支持Gerber和ODB++格式的文件
OK
支持gerber、ODB++格式文件，但目前板边设计需作变更
设备与服务
拆箱
1.机台外观无损坏；
2.设备无明显划伤；
OK
部品点收
依清单内容，点收各部件，各部件规格以及物品与清单内容相符；
OK
常规漏电检查
无漏电；
OK
易耗品清单以及寿命
提供说明书
（中文1本、原版2本无尘纸、英文1本）
待确认
软件要求
随机的PC内用的软件必须正版
OK
设备安装
提供设备安装计划书
OK
设备可靠性
MTBF
MTBF（MeanTimeBetweenFailures）≥1000hrs；
（一个月后稳定生产）
待确认
MTTR
MTTR（MeanTimeToRepair）≤2hrs；
（一个月后稳定生产）
待确认
四、验收结论：
目前（7/27）确认主要存在问题：
1.传送装置的导轨、丝杠位于曝光台面正上方，导轨上油与灰尘易掉落污染产品；
2.吸嘴排气在曝光机内部，易导致异物增多；对于薄板，吸板板面不平。
3.传送设备运转过程中停止时，需重新启动时操作步骤繁琐，需打开安全门手取板出来。
4.气源停止时，手臂会自动下降，存在损坏产品与设备的可能。
5.滚轮传送速度无数值显示。
6.暂存机感应器不稳定。
7.放板时，吸嘴会有粘板，导致板有移动，最终无法正常对位；
8.板边翘曲时，对位图像模糊，无法正常对位；
9.暂存机在“NG暂存”模式下不能实现NG暂存功能；
10.曝光主机警报清除需消耗很长时间；
11.设置曝光N块板时，第N块板在台面上不会被自动移走。
12.自动运行模式下，无法手动对曝光数据进行强制结束，必须需要等到出现“是否等待”提示框后，才能将数据停止。
13.定位查询模式时，顺时针调节角度过大，会在曝光过程中出现警报。
14.需要调整板尺寸才能让对位点进入CCD镜头区域。
在问题改善前，无法用于生产。
五、附件：
、机体温、湿度控制
、验收标准：
（1）温度控制精度：
±1℃
（2）湿度控制精度：
±5%
、验收方法：
（1）利用空气温度计测量机体内部温度数值，在一天内，间隔测量30次
（2）利用湿度计测量机体内部湿度数值，在一天内，间隔测量30次
、测试条件
曝光机外部温度：
22±2℃；湿度：
50±5%
、测试结果：
、机体灰尘控制
、验收标准
洁净度≤100级
、验收方法
启动机器，利用洁净度测试仪测量机体内部尘埃粒子数量
、测试条件
、测试结果
、传送能力测试
、验收标准
（1）.卡板，掉板，板折等导致的过板失败率＜%
（2）.出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲
、验收方法
（1）CCL（基材+2μm*2铜）连续过板；
（2）图形板（基材+10μm*2铜）连续过板。
板尺寸：
415mm*510mm
、测试条件
、测试结果
图形板测试OK，CCL尚未确认。
、防翘曲能力测试
、验收标准
水平放置前后翘曲≤6mm情况的板能顺利运行，未出现掉板、折板、卡板等，产品生产时不会出现曝光不良现象
、验收方法
尺寸415×510mm，板厚，用不同翘曲程度的板，进行过板测试。
、测试条件
、测试结果
、设备产能
、验收标准
产能满足：
≥5000m2/month
、验收方法
计算方法：
产能（m2/月）=3600（sec/小时）×22（小时/天）×26（天/月）×（m2/pnl）÷tacttime（sec/pnl）
、测试条件
在设定的曝光能量条件下正常进行4点对位曝光。
、测试结果
油墨/干膜型号
曝光能量
Tacttime（sec/pnl）
产能
AUS308
260mj/cm2
81sec
AUS320
300mj/cm2
82sec
AUS410
220mj/cm2
74sec
EG23
220mj/cm2
74sec
AQ4086
30mj/cm2
41sec
注：
TractTime指产品单面对位+曝光时间,不含曝光能量调整时间与成像头校正时间。
、最小开窗
、验收标准
1.最小SRO能力：
50±5um
2.铜上及基材上阻焊undercutorfoot：
≤5um
3.开窗形态良好
、验收方法
尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度25±10um，设计不同SMD阻焊开窗，曝光、显影、后固化后，分析开窗形貌。
、测试条件
、测试结果
油墨型号
SRO（设计值50μm）
SRO（设计值80μm）
AUS308
注：
SMD补偿值按-18μm计算
、能量均匀性
、验收标准
1.开窗大小：
250±5um（245~255um）
2.均匀性≥95%
、验收方法
尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，板厚,铜面阻焊厚度25±10um，SRO以250um为考察对象，测量位置：
45Points/Panel，能量均匀性计算公式：
Min/Max*100%
、测试条件
测试油墨型号：
AUS308、AUS410、EG23
、测试结果
油墨型号
阻焊厚度（μm）
文件设计SRO（μm）
实际SROAVE（μm）
实际SROMAX（μm）
实际SROMIN（μm）
实际SRORANGE（μm）
MIN/MAX
AUS308
568
%
AUS410
568
%
EG23
568
%
注：
SMD开窗补偿+18μm
、阻焊桥
、验收标准
1.≥50um
2.无发白、桥弯、掉桥等
、验收方法
尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度25±10um，设计不同尺寸SRdam，曝光、显影、后固化后，分析SRdam能力
、测试条件
、测试结果
、台面印迹
、验收标准
无台面印记、凹坑、吸盘印等
、验收方法
尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度25±10um，正常条件下生产
、测试条件
、测试结果
初期台面印迹明显，后更换新台面；新台面条件下AUS320仍有印迹，堵住部分吸气孔进行改善。
、曝光条纹
、验收标准
无明显曝光过度线条、曝光不良条纹等
（依据Taiyodatasheet中能级要求，最高曝光能量均可满足要求）
、验收方法
尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度25±10um，正常条件下生产
、测试条件
、测试结果
、位置精度
、验收标准
要求3σ≤10um，cpk≥
1.玻璃底片检查测试，1年/次--提供测试报告给FP,OK
2.定期校准检查，每季度/次--提供校准报告给FP
3.实际图形测试结果满足验收标准
（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：
45Points/Panel）
、验收方法
此测试需在设备供应商处进行，采用预先准备的玻璃底片，学习其上的靶标，以此作为CCD对位靶标（不涨缩），将测试图形曝光到底片上，然后测量测试图形中心与玻璃底片上图形中心的距离，即为对位偏差值。
取点数量至少20个。
计算如下：
偏移量D=[（Xi-xi）2+（Yi-yi）2],偏移量标准偏差为σ
、测试条件
、测试结果
、重复精度
、验收标准
要求3σ≤5um，cpk≥
1.玻璃底片检查测试，1年/次--提供测试报告给FP
2.定期校准检查，每季度/次--提供校准报告给FP
3.实际图形测试方法及结果满足验收标准
（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：
45Points/Panel）
、验收方法
此测试需在设备供应商处进行，采用预先准备的玻璃底片，学习其上的靶标，以此作为CCD对位靶标（不涨缩），在板的四角和中心各设计4个同心圆环图形，并将测试图形曝光到底片上，每次只曝光一个圆环，多次曝光，测量圆环中心之间的偏差值，检验其稳定性。
、测试条件
、测试结果
、Offset区域
、验收标准
要求重合部分≤2um,肉眼观察无明显曝光过度线条
、验收方法
尺寸415*510mm的板材，太阳PSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度25±10um，在光铜板上设计阻焊线宽50um，正常参数曝光后，在DMD扫描重合区域内，用显微镜观察阻焊线宽变异宽度。
、测试条件
、测试结果
、油墨适应性
、验收标准
至少可以对应taiyo所有IC载板类型油墨（包括湿膜和干膜阻焊）
、验收方法
使用多种IC载板用油墨进行曝光，测量并记录各种油墨的曝光能量和实际曝光时间，显影后用百倍镜观察解析度。
、测试条件
、测试结果
油墨/干膜型号
曝光能量
Tacttime（sec/pnl）
AUS308
260mj/cm2
81sec
AUS320
300mj/cm2
82sec
AUS410
220mj/cm2
74sec
EG23
220mj/cm2
74sec
AQ4086
30mj/cm2
41sec
、文件格式兼容性
、验收标准
至少可以支持Gerber和ODB++格式的文件
、验收方法
导入*.gbr和ODB++等格式的文件，测试其兼容性
、测试条件
、测试结果
设备支持gerber格式与ODB++格式文件，均只需要有对应的曝光层文件即可曝光。
使用过程中需注意以下几方面：
该曝光机要求对位焊盘大小一样，大小不一样时不能识别；
最好设计两面对位点位置一致，此时在转文件时才能实现两层文件一起转。
使用CU-9000软件进行文件转换的过程中，需要确定对位点位置；在曝光前，需要通过曝光登录的方式“告知”曝光机对位点的形状。
文件装换过程中的对位点位置有以下两种方式：
A、手动在曝光图形中点击选择确定对位点位置；
B、将对位点位置的图形属性名设置与CU-9000软件设置的一致，软件自动识别出。
曝光周期的显示
CAM制作文件时将周期“YYWW”更改为时间的动态格式，可实现周期的自动更新。
、AQ4086干膜曝光条件
、各种能量下曝光尺级数
、不同能量下解析度
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