48所扩散炉及刻蚀机参数.docx
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48所扩散炉及刻蚀机参数
M5111-4WL/UM型高温扩散/氧化系统主要技术指标及使用条件
设备主要由电控柜1个、净化操作台1个、加热炉柜1个及气源柜1个四部分组成。
1.主要技术指标
1.1炉膛有效内径φ350mm（适应石英管内径φ320mm）；
1.2温度控制范围：
400~1100℃；
1.3恒温区长度及精度：
≤±1℃/1080mm（801～1100℃）
≤±1.5℃/1080mm（400～800℃）；
1.4单点温度稳定性：
≤±1℃/4h（880℃时）；
1.5温度斜变能力:
最大升温速率:
15℃/min
最大降温速率:
5℃/min；
1.6具有自动斜率升降温及恒温功能；
1.7内置ProfileTC实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度；
1.8尾气收集方式：
尾部集中收集，定向排放；
1.9具有超温、断偶、短路、断气等报警和保护功能；
1.10净化工作台净化级别：
1000级（环境10000级）；
1.11送片方式：
采用SiC悬臂桨自动送片机构，速度20～500mm/min.连续可调；
定位精度:
≤±2mm，SiC桨最大载片承重14Kg；
1.12工艺过程由工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作；
1.13可存储100条工艺曲线、每条曲线不少于30个拐点；
1.14设备总功率:
≤150KVA（3管）；
1.15炉管温控系统采用五段控温。
2.使用环境要求：
2.1电力供应：
三相五线供电，380VAC、50Hz,电压波动不大于±10%，频率波动不大于±1%，谐波误差小于5%
2.2气源供应：
供应气压0.4～0.8Mpa,压缩空气：
压力0.4～0.6Mpa,用于气动阀门的的开启，设备预留3/8”接口。
2.3水源供应：
去离子冷却水或软化水，水温：
18℃～25℃，水压0.1～0.2Mpa，设备预留4分内丝接口。
2.4排废：
气源柜、炉体柜、废气室及净化操作台顶部均要求有密封负压，抽气管与设备相连，总抽气流量≥6000L/；另尾气排放管道单独设立管径φ60mm，排气口压力不小于-450Pa.
2.5使用环境：
环境要求优于10000级，5～40℃，相对湿度小于60%。
2.6机房内必须有良好的接地线，地线对地的电阻值≤3欧姆。
甲方代表：
乙方代表：
二零零七年七月二十七日
附录二
单台设备交货范围（3管/台）
名称
详细配置与功能描述
生产厂家
数量
备注
控
制
柜
1、控制柜体
48所
1个
2、工控机及板卡
台湾
3套
3、工业级显示器带触屏
台湾
3套
4、带通讯温度控制器
进口
15个
5、温度保护器
进口
9个
6、继电器
进口
8个
7、带灯按钮开关及指示灯
国产
37个
8、空气开关
合资
7个
9、固态继电器板
48所
3套
10、熔断器芯、座
国产
9套
11、接线端子
国产
12节
12、航空插头、座
国产
12套
13、脚轮
国产
4个
14、巡检温控仪
国产
1个
15、其它装配材料（导线、报警器、信号灯等）
国产
3套
净
化
操
作
台
1、操作台柜
48所
1个
2、导轨、丝杆
台湾
3套
3、导轨底座
48所
3套
4、SiC桨支架座、不锈钢炉门
48所
3套
5、炉门压紧密封装置
48所
3套
6、不锈钢SiC桨套管
48所
3套
7、耐高温石英门密封O形圈
进口
3套
8、SiC桨
进口
3支
9、步进电机及驱动器
合资
3套
10、初、高效过滤器
国产
3套
11、净化风机
国产
2套
12、聚四氟波纹管
国产
3套
13、其它装配材料（接触器、照明灯、开关等）
国产
3套
加
热
炉
柜
1．机柜（含废气室、炉体支架、排气管等）
48所
1套
2．炉体
48所
1套
3．功率部件（可控硅、触发器、接触器等）
48所
1套
4．功率变压器
国产
1台
5．轴流风机
国产
7个
6．水冷散热器
48所
1套
7．耐热功率线
国产
40m
8．S型热电偶、刚玉瓷管
国产
5套
9．水压开关
国产
1套
10．补偿导线
国产
60m
11.刚玉哈呋片
国产
4片
12．保温棉圈
国产
1套
13．铝铂、保温材料
国产
1套
14、石英领
进口
3个
15、PrlfileTC
进口
1支
16、其它装配材料（导线、接插件、熔断器等）
国产
1套
气
源
柜
1．机柜
48所
1个
2．减压阀
进口
4个
3．气动阀
进口
9个
4、波纹管手动阀
国产
1个
5.质量流量控制器
进口
9个
6.手动截止阀
国产
15个
7.过滤器
国产
3个
8防腐单向阀
进口
12个
9.浮子流量计
国产
3个
10.常开电磁阀
进口
3个
气
源
柜
11.源温控制器
进口
2套
12.汇流排
进口
3套
13.聚四氟管道、接头
48所
3套
14.不锈钢管道、接头
进口
3套
15.恒温槽变压器
国产
1套
16．尾气冷凝收集器
合资
1套
17．其它装配材料（导线、接插件、开关等）
国产
1套
注：
1、甲方应确认机房的高度能适应机柜的高度。
2、石英器件由甲方自配，乙方提供设计图纸。
3、净化台中两层间加不锈钢挡板；
备件清单
序号
名称
数量
1
保温棉圈
8个
2
不锈钢双卡套
10个
3
开关
3个
4
继电器
2个
5
熔断器芯
20个
6
刚玉哈呋片
6片
7
四氟卡套
10个
8
双向可控硅
2个
9
指示灯
4个
10
刚玉瓷管
3支
11
聚四氟接头
6套
交付的随机资料：
（1）使用说明书1份
（2）计算机操作说明书1套
（3）平面安装图1份
（4）气路系统图1份
（5）控制原理图1份
（6）电气接线图1套
（7）主要外购件说明书1套
（8）备件清单1份
甲方代表：
乙方代表：
二零零七年七月二十七日签
附录三
设备的交验
3.1乙方所提供的所有设备及附件系统应进行出所检查和试验，并将外购件厂家或乙方签发的合格证书提供给甲方。
3.2在全部设备和附件运至甲方工厂后，甲方应按装箱单清点件数，开箱时应通知乙方派一名代表和甲方一起开箱检验。
3.3在甲乙双方代表参加的开箱检验过程中，一旦发现乙方提供的设备及附件缺少、缺陷、损坏或本合同规定数量、质量不符时，甲乙双方应共同签订补充、换件、修理的有效文件。
3.4甲乙双方签订3.3文件后，确因乙方原因应免费提供。
如属运输问题，由运输方向保险公司索赔，运输方再按原价提供给甲方。
3.5货到甲方，因保管不善、丢失，其责任在甲方。
如为外购件则由甲方按外购件价格给乙方；如为加工件，则由甲方按材料费、加工费付给乙方，乙方再补足。
甲方代表：
乙方代表：
二零零七年七月二十七日
附录四
设备的安装、调试及验收
4.1“安装”指机器就位，将各部分根据图纸设计联接等内容。
“调试”指单机、单元系列或整机调试运转，少量投料和小批量产品工艺实验。
“验收”指按合同规定的技术性能指标的检验。
4.2设备安装由乙方负责组织和技术指导，并派不少于两名技术人员参加安装。
设备发至甲方后，甲方负责设备的卸车、移位和就位，同时甲方应负责安装所需要的水、电、气供应及部分通用工具（安装前乙方应书面通知甲方准备），并派工作人员参加安装。
如有问题，双方应友好地在现场协商解决。
4.3安装调试前乙方技术人员应对工作方法和各阶段的准备工作提出书面说明，双方准备工作充分，避免耽误工期。
4.4安装所需要的材料、附件等乙方应设有一定富余量，以备调试中不能满足功能时及时更换。
4.5安装完成，双方人员认为安装工作已符合设计要求时，应立即转入调试阶段。
4.6调试期间作好记录，双方代表签字生效并作为验收的依据。
4.7乙方在现场对甲方设备操作及维修人员免费培训。
4.8设备调试正常后，双方应按乙方质量处提供的“产品交验合格证明书”的内容逐项认真签署，验收设备。
4.9设备调试完毕，甲方必须建立“设备运行记录本”记录每天设备运行情况。
4.10因某种原因设备未验收，但甲方已开始使用，则该设备的保修期应从使用之日起计算。
甲方代表：
乙方代表：
二零零七年七月二十七日
等离子体刻蚀机主要技术指标及使用条件
1.刻蚀介质：
掺杂硅、氮化硅
2.刻蚀部位：
6″方片周边（6″为方片边长）
3.生产量：
300片/批（只在使用6″方片时达到此批量）
4.射频电源：
100～1000W可调，13.56MHz（50Ω标准负载下）
5.送气系统：
二路质量流量计CF4：
300ml/min
O2：
30ml/min
一路浮子流量计N2：
1000ml/min
6．抽气系统：
ZX-15机械泵（带冷却水）
7．工作压力自动控制
8．载片架旋转
9．刻蚀速率：
Si3N4500Å/min
掺杂硅2000Å/min
10．周边刻蚀不均匀性：
±5%
11．电源：
3N—50Hz380V/220V
12．整机功率：
≤5KW
甲方代表：
乙方代表：
二零零七年七月二十七日签
附录二
单台设备交货范围
1．主机及附件
1．1反应室1套
法兰、送气系统、石英管（1个）、片架（2个）
1．2气路单元1套
电磁阀、两路质量流量计、一路浮子流量计、不锈钢管路
1．3抽气单元1套
薄膜规、电子执行器及节流阀、电磁隔断阀、波纹管、电磁放气阀、机械泵
1．4控制单元1套
工艺过程自动控制
1．5主机柜1个
机架、门、控制按钮开关等
1．6射频电源1台
13．56MHz、1000WRF电源、手动阻抗匹配器、同轴电缆
2．文件资料
2．1使用说明书1份
2．2平面安装图1份
2．3气路系统图1份
2．4电气原理图1份
2．5电气接线图1份
2．6易损件零件加工图1份
2．7主要外购件说明书1套
2．8备件清单1份
以上零部件，除注明为进口件外，均为国产件。
甲方代表：
乙方代表：
二零零七年七月二十七日签
附录三
标准及检验
3-1乙方所提供的所有设备及附件系统应进行出所检查和试验，并将外购件或乙方签发的合格证书提供给甲方。
设备中使用的测量仪表，其合格证书在设备交付使用时交付甲方。
3-2在全部设备和附件运至甲方工厂后，甲方应按装箱单清点件数，开箱检验时应通知乙方派一名代表和甲方一起当即开箱检验。
3-3在甲乙双方代表参加的开箱检验过程中，一旦发现乙方提供的设备及附件缺少、缺陷、损坏或与本合同规定数量、质量不符时，乙方应免费提供。
3-4如属运输问题，由运输方向保险公司索赔，运输方再按原价提供给甲方。
3-5货到甲方，因保管不善、丢失，其责任在甲方。
如为外购件则由甲方按外购件价格付给乙方；如为加工件，则由甲方按材料费、加工费付给乙方，乙方再补足。
3-6乙方所提供的备件，在验收时按数交付给甲方，如果数量不足，乙方应补足或在余款中折价扣除，双方代表签字认可。
甲方代表：
乙方代表：
二零零七年七月二十七日签
附录四
设备的安装、调试及验收
4-1“安装”指机器就位，将各部分根据图纸设计联接等内容。
“调试”指单机、单元系列或整机调试运转，及少量投料和小批量产品工艺实验。
“验收”指按合同规定的技术性能指标检验。
4-2设备安装由乙方负责组织和技术指导，并派不少于一名技术人员参加安装。
设备发至甲方后，甲方负责设备的卸车、移位和就位，同时甲方应负责安装所需要的水、电、气供应及部分通用工具（安装前乙方应书面通知甲方准备），并派工作人员参加安装。
如有问题，双方应友好地在现场协商解决。
4-3安装调试前乙方技术人员应对工作方法和各阶段的准备工作提出书面说明，双方准备工作充分，避免耽误工期。
4-4安装所需要的各种材料、设备、附件等乙方应设有一定富余量，以备调试中不能满足功能时及时更换。
4-5安装完成后，当双方人员认为安装工作已完成符合设计要求时，应立即转入调试阶段。
4-6调试期间作好记录，双方代表签字生效并作为验收的依据。
4-7乙方在现场对甲方设备操作及维修人员免费培训。
4-8设备调试正常后，双方应按乙方质量处提供的“产品交验合格证明书”的内容逐项认真签署，验收设备。
4-9设备调试完毕，进入工艺实验开始，甲方必须建立“设备运行记录本”记录每天设备运行情况。
4-10因某种原因设备未验收，但甲方已开始工艺实验，则该设备的保修期应从工艺实验之日起计算。
甲方代表：
乙方代表：
二零零七年七月二十七日签
升级会员 