48所扩散炉及刻蚀机参数.docx

1、48所扩散炉及刻蚀机参数M5111-4WL/UM型高温扩散/氧化系统主要技术指标及使用条件设备主要由电控柜1个、净化操作台1个、加热炉柜1个及气源柜1个四部分组成。1.主要技术指标1.1 炉膛有效内径 350mm（适应石英管内径320mm）；1.2 温度控制范围：4001100；1.3 恒温区长度及精度： 1/1080mm （8011100） 1.5/1080mm （400800）；1.4 单点温度稳定性： 1 /4h （880时）；1.5 温度斜变能力:最大升温速率: 15/min 最大降温速率: 5/ min ；1.6具有自动斜率升降温及恒温功能；1.7内置Profile TC 实时显示工

2、艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度；1.8尾气收集方式：尾部集中收集，定向排放；1.9 具有超温、断偶、短路、断气等报警和保护功能；1.10 净化工作台净化级别：1000级 （环境10000级）；1.11 送片方式： 采用SiC悬臂桨自动送片机构，速度20500mm/min.连续可调；定位精度:2mm，SiC桨最大载片承重 14Kg；1.12 工艺过程由工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作；1.13 可存储100条工艺曲线、每条曲线不少于30个拐点；1.14 设备总功率: 150KVA（3管）；1.15 炉管温控系统采用五段控温。2.使用环境要求：2.1电力供应：三相五线供电， 380

3、VAC、50Hz,电压波动不大于10%，频率波动不大于1%，谐波误差小于5%2.2气源供应：供应气压0.40.8Mpa,压缩空气：压力0.40.6Mpa,用于气动阀门的的开启，设备预留3/8”接口。2.3水源供应：去离子冷却水或软化水，水温：1825，水压0.10.2Mpa ，设备预留4分内丝接口。2.4 排废：气源柜、炉体柜、废气室及净化操作台顶部均要求有密封负压，抽气管与设备相连，总抽气流量6000L/；另尾气排放管道单独设立管径60mm，排气口压力不小于-450Pa.2.5 使用环境：环境要求优于10000级，540，相对湿度小于60%。2.6 机房内必须有良好的接地线，地线对地的电阻值

4、3欧姆。甲方代表： 乙方代表： 二零零七年七月二十七日附录二 单台设备交货范围(3管/台)名称详细配置与功能描述生产厂家数量备注 控制柜1、控制柜体48所1个2、工控机及板卡台湾3套3、工业级显示器带触屏台湾3套4、带通讯温度控制器进口15个5、温度保护器进口9个6、继电器进口8个7、带灯按钮开关及指示灯国产37个8、空气开关合资7个9、固态继电器板48所3套10、熔断器芯、座国产9套11、接线端子国产12节12、航空插头、座国产12套13、脚轮国产4个14、巡检温控仪国产1个15、其它装配材料（导线、报警器、信号灯等）国产3套 净化 操 作 台1、操作台柜48所1个2、导轨、丝杆台湾3套3、

5、导轨底座48所3套4、SiC桨支架座、不锈钢炉门48所3套5、炉门压紧密封装置48所3套6、不锈钢SiC桨套管48所3套7、耐高温石英门密封O形圈进口3套8、SiC桨进口3支9、步进电机及驱动器合资3套10、初、高效过滤器国产3套11、净化风机国产2套12、聚四氟波纹管国产3套13、其它装配材料（接触器、照明灯、开关等）国产3套加热炉柜1机柜（含废气室、炉体支架、排气管等）48所1套2炉体48所1套3功率部件（可控硅、触发器、接触器等）48所1套4功率变压器国产1台5轴流风机国产7个6水冷散热器48所1套7耐热功率线 国产40m8S型热电偶、刚玉瓷管 国产5套9水压开关 国产1套10补偿导线国

6、产60m11. 刚玉哈呋片国产4片12保温棉圈国产1套13铝铂、保温材料国产1套14、石英领进口3个 15、Prlfile TC 进口1支16、其它装配材料（导线、接插件、熔断器等）国产1套 气源柜1机柜48所1个2减压阀进口4个3气动阀进口9 个4、波纹管手动阀国产1个5. 质量流量控制器进口9个6. 手动截止阀国产15个7. 过滤器国产3个8 防腐单向阀进口12个9. 浮子流量计国产3个10.常开电磁阀进口3个 气源柜11.源温控制器进口2套12.汇流排 进口3套13.聚四氟管道、接头48所3套14.不锈钢管道、接头进口3套15.恒温槽变压器国产1套16尾气冷凝收集器合资1套17其它装配材

7、料（导线、接插件、开关等）国产1套注：1、甲方应确认机房的高度能适应机柜的高度。2、石英器件由甲方自配，乙方提供设计图纸。3、净化台中两层间加不锈钢挡板；备件清单序号 名称数量1 保温棉圈8个2 不锈钢双卡套10个3 开关3个4 继电器2个5 熔断器芯20个6 刚玉哈呋片6片7 四氟卡套10个8 双向可控硅2个9 指示灯4个10 刚玉瓷管3支11 聚四氟接头6套 交付的随机资料：（1）使用说明书 1份（2）计算机操作说明书 1套（3）平面安装图 1份（4）气路系统图 1份（5）控制原理图 1份（6）电气接线图 1套（7）主要外购件说明书 1套（8）备件清单 1份甲方代表： 乙方代表： 二零零七

8、年七月二十七日签附录三设备的交验3.1乙方所提供的所有设备及附件系统应进行出所检查和试验，并将外购件厂家或乙方签发的合格证书提供给甲方。3.2在全部设备和附件运至甲方工厂后，甲方应按装箱单清点件数，开箱时应通知乙方派一名代表和甲方一起开箱检验。3.3在甲乙双方代表参加的开箱检验过程中，一旦发现乙方提供的设备及附件缺少、缺陷、损坏或本合同规定数量、质量不符时，甲乙双方应共同签订补充、换件、修理的有效文件。3.4甲乙双方签订3.3文件后，确因乙方原因应免费提供。如属运输问题，由运输方向保险公司索赔，运输方再按原价提供给甲方。3.5货到甲方，因保管不善、丢失，其责任在甲方。如为外购件则由甲方按外购件

9、价格给乙方；如为加工件，则由甲方按材料费、加工费付给乙方，乙方再补足。 甲方代表： 乙方代表： 二零零七年七月二十七日 附录四设备的安装、调试及验收4.1 “安装”指机器就位，将各部分根据图纸设计联接等内容。 “调试”指单机、单元系列或整机调试运转，少量投料和小批量产品工艺实验。“验收”指按合同规定的技术性能指标的检验。4.2 设备安装由乙方负责组织和技术指导，并派不少于两名技术人员参加安装。设备发至甲方后，甲方负责设备的卸车、移位和就位，同时甲方应负责安装所需要的水、电、气供应及部分通用工具（安装前乙方应书面通知甲方准备），并派工作人员参加安装。如有问题，双方应友好地在现场协商解决。4.3

10、安装调试前乙方技术人员应对工作方法和各阶段的准备工作提出书面说明，双方准备工作充分，避免耽误工期。4.4 安装所需要的材料、附件等乙方应设有一定富余量，以备调试中不能满足功能时及时更换。4.5 安装完成，双方人员认为安装工作已符合设计要求时，应立即转入调试阶段。4.6 调试期间作好记录，双方代表签字生效并作为验收的依据。4.7 乙方在现场对甲方设备操作及维修人员免费培训。4.8 设备调试正常后，双方应按乙方质量处提供的“产品交验合格证明书”的内容逐项认真签署，验收设备。4.9 设备调试完毕，甲方必须建立“设备运行记录本”记录每天设备运行情况。4.10 因某种原因设备未验收，但甲方已开始使用，则

11、该设备的保修期应从使用之日起计算。 甲方代表： 乙方代表： 二零零七年七月二十七日等离子体刻蚀机主要技术指标及使用条件1.刻蚀介质： 掺杂硅、氮化硅2.刻蚀部位： 6方片周边（6为方片边长）3.生产量： 300片/批（只在使用6方片时达到此批量）4.射频电源： 1001000W可调，13.56MHz（50标准负载下）5.送气系统： 二路质量流量计 CF4：300ml/min O2：30ml/min一路浮子流量计 N2：1000ml/min6抽气系统： ZX-15机械泵(带冷却水)7工作压力自动控制8载片架旋转9刻蚀速率： Si3N4 500 /min 掺杂硅 2000 /min10周边刻蚀不均

12、匀性： 5%11电源： 3N50Hz 380 V /220V12整机功率： 5KW甲方代表： 乙方代表： 二零零七年七月二十七日签附录二 单 台 设 备 交 货 范 围1 主机及附件11 反应室 1套 法兰、送气系统、石英管（1个）、片架（2个） 12 气路单元 1套 电磁阀、两路质量流量计、一路浮子流量计、不锈钢管路13 抽气单元 1套薄膜规、电子执行器及节流阀、电磁隔断阀、波纹管、电磁放气阀、机械泵14 控制单元 1套工艺过程自动控制15 主机柜 1个机架、门、控制按钮开关等16 射频电源 1台1356MHz、1000W RF电源、手动阻抗匹配器、同轴电缆2 文件资料 21 使用说明书 1

13、份22 平面安装图 1份23 气路系统图 1份24 电气原理图 1份25 电气接线图 1份26 易损件零件加工图 1份27 主要外购件说明书 1套28 备件清单 1份以上零部件，除注明为进口件外，均为国产件。甲方代表： 乙方代表： 二零零七年七月二十七日签附录三标准及检验3-1乙方所提供的所有设备及附件系统应进行出所检查和试验，并将外购件或乙方签发的合格证书提供给甲方。设备中使用的测量仪表，其合格证书在设备交付使用时交付甲方。3-2在全部设备和附件运至甲方工厂后，甲方应按装箱单清点件数，开箱检验时应通知乙方派一名代表和甲方一起当即开箱检验。3-3在甲乙双方代表参加的开箱检验过程中，一旦发现乙方

14、提供的设备及附件缺少、缺陷、损坏或与本合同规定数量、质量不符时，乙方应免费提供。3-4 如属运输问题，由运输方向保险公司索赔，运输方再按原价提供给甲方。3-5货到甲方，因保管不善、丢失，其责任在甲方。如为外购件则由甲方按外购件价格付给乙方；如为加工件，则由甲方按材料费、加工费付给乙方，乙方再补足。3-6乙方所提供的备件，在验收时按数交付给甲方，如果数量不足，乙方应补足或在余款中折价扣除，双方代表签字认可。 甲方代表： 乙方代表： 二零零七年七月二十七日签附录四设备的安装、调试及验收4-1 “安装”指机器就位，将各部分根据图纸设计联接等内容。 “调试”指单机、单元系列或整机调试运转，及少量投料和

15、小批量产品工艺实验。“验收”指按合同规定的技术性能指标检验。4-2 设备安装由乙方负责组织和技术指导，并派不少于一名技术人员参加安装。设备发至甲方后，甲方负责设备的卸车、移位和就位，同时甲方应负责安装所需要的水、电、气供应及部分通用工具（安装前乙方应书面通知甲方准备），并派工作人员参加安装。如有问题，双方应友好地在现场协商解决。4-3 安装调试前乙方技术人员应对工作方法和各阶段的准备工作提出书面说明，双方准备工作充分，避免耽误工期。4-4 安装所需要的各种材料、设备、附件等乙方应设有一定富余量，以备调试中不能满足功能时及时更换。4-5 安装完成后，当双方人员认为安装工作已完成符合设计要求时，应立即转入调试阶段。4-6 调试期间作好记录，双方代表签字生效并作为验收的依据。4-7 乙方在现场对甲方设备操作及维修人员免费培训。4-8 设备调试正常后，双方应按乙方质量处提供的“产品交验合格证明书”的内容逐项认真签署，验收设备。4-9 设备调试完毕，进入工艺实验开始，甲方必须建立“设备运行记录本”记录每天设备运行情况。4-10 因某种原因设备未验收，但甲方已开始工艺实验，则该设备的保修期应从工艺实验之日起计算。 甲方代表： 乙方代表： 二零零七年七月二十七日签