LEDIT使用技巧.docx
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LEDIT使用技巧
4.3集成电路自动设计工具软件掩模疆域编写操作集成电路设计、模拟验
证、疆域编写、自动布局布线S-Edit为核心的集成电路设计、模拟、考证模
块,包含电路图编写器S-Edit、电路模拟器T-Spice和高级模型软件、波形编写
器W-Edit、NetTran网表变换器、门电路模拟器GateSim以及工艺映照库、切合
库SchemLib、Spice元件库等软件包,构成一个完好的集成电路设计、模拟、考证系统,每个模块互有关系又相对独立,此中S-Edit能够把设计的电路图变换成SPICE,VHDL,EDIF和TPR等网表文件输出,供给模拟或自动布图布线。
L-Edit为核心的集成电路疆域编写与自动布图布线模块,包含集成电路疆域
编写器L-Edit和用于疆域检查的网表比较器LVS等模块,L-Edit自己又嵌入设计
规则检查DR
C、供给用户二次开发用的编写界面UPI、标准疆域单元库及自动布图布线SPR、器件剖面察看器CrossSectionViewer、疆域的SPICE网表和疆域参数提取器Extract(LPE)等等,网表比较器LVS则用于把由L-Edit生成的疆域反向提取的SPC网表和由S-Edit设计的逻辑电路图输出的SPC网表进行比较实现疆域检查、对
照剖析。
L-Edit除了拥有自己的中间图形数据格式(TDB格式)外,还供给了两种最常用的集成电路疆域数据传达格式(CIF格式和GDSII格式)的输入、输出功能,能够特别方便地在不一样的集成电路设计软件之间互换图形数据文件或把图
形数据文件传达给光掩模制造系统。
4.
3.1掩模原始子单元(Cell)图形生成
4.3.
1.1成立新文件(File)履行LEDIT批办理文件进入L-EDIT交互式图形编写介面进入File/MergeSetup翻开早先成立的掩模图形设计环境文件LMK.TDB进入
File/New成立新创立图形文件的文件名,如YXYM001注意:
建议所有文件名及单元名均采纳大写字符若改正已成立的图形文件进入File/Open再输入文件名
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4.3.
1.2成立新单元(Cell)进入Cell/New成立新创立图形原始单元名,如YSDY
001。
4.
3.1.3设定单位a)进入Setup/Technology进行单位设置。
b)第一确认单位选择Other[Lambda]设在内部单位模式。
c)设置1个LEDIT内部单位等于多少用户设定的单位。
默认值为1InternalUnit(1/1)Lambda表示1个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。
1个LEDIT内部单位,默认值相当屏幕上1格。
建议设置为1InternalUnit(1/1000)Lambda即设置成1000个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。
假如需要图形周边效应校订,曝光图形需要尺寸再造(涨缩),带有斜线或曲线图形必定要设置成1000个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。
不然不可以进行尺寸调整或不可以保证制版精度甚至出现错位及台阶。
d)设置数据输出时1用户设定的单位等于多少微米默认值设置1Lambda(1
/1)Microns即表示数据输出时1用户设定的单位等于1微米。
也就是说设置1000格相当于1微米。
(表示屏幕显示1格等于1纳米),这类设置可保证输出图形精度。
4.
3.1.4输出倍率设定假如需要改变输出倍率(如×10倍输出),可在数据办理达成后存盘前改正为:
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1Lambda(10/1)Microns即表示数据输出时1用户设定的单位等于1微
米。
4.
3.1.5设定显示格栅和显示坐标小数点地点a)进入Setup/Design/Grid进行屏幕显示格栅设置。
b)在格栅显示“Griddisplay模块中”设置DisplayedGrid=100InternalUnit屏幕显示1格等于100个LEDIT内部单位。
或许“Displayed填”充框中填入“
0.100”Locator(标定单位-微米)。
c)“Suppressgrigless8pixel表示图形缩”小到一个格栅只占显示屏幕8个像素时,屏幕上不显示出格栅。
d)在鼠标与格栅关系“Mousegrid模块”中,选择鼠标指针“Cursor运”动方
式:
选择“Snapping”鼠标只好逗留在规定的格点处,非格点处鼠标停不下来,为绘图供给方便。
比如设定“Mousesnap
0.100Locator,鼠”标咬住
0.1微米的格点,鼠标在屏幕上是跳动的,即每跳动一格为
0.1微米。
选择“Smooth”,则鼠标为连续挪动的状态。
e)设置鼠标跳动步距MouseSnapGrid=100InternalUnit鼠标跳一步等于100个LEDIT内部单位。
或许设置“Mousesnap
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0.100Locator(”标定单位-微米)。
f)设置标定单位OneLocatorUnit=1InternalUnit屏幕显示坐标值
1.0等于1个LEDIT内部单位。
(建议与设置1InternalUnit(1/1000)Lambda相般配)设置成:
OneLocatorUnit=1000InternalUnit屏幕显示坐标值
1.0等于1000个LEDIT内部单位(=
1.0微米)。
屏幕显示坐标值和实质值一致,比较直观,不简单犯错。
4.
3.1.6选择需要办理的掩模图形层(Layer)用鼠标在模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择所要办理的层名(层号)。
4.
3.1.7绘制图形形状模式选择用鼠标在模式栏(ModeBar)的作图模式区(ObjectArea)中选择绘图模式。
包含矩形(最常用的图形)。
圆形、圆环、扇区。
多边形(直角多边形、45度斜边多边形、随意拐角多边形),不一样意交错多边形。
带宽度的线条:
(直角拐弯线、45度斜线连结、随意拐角线)因曝光时线头部分简单犯错,建议采纳多边形画线条。
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无宽度的线条(因数据变换时简单犯错,建议采纳多边形画线条)字符(因数据变换时不认可,建议不用,或写在非功能层上作参照,需要制出的字符要用
矩形拼接构成图形曝光)此时就能够使用鼠标在设计区(LayoutArea)作图。
可用选择不一样掩模层,设计其余层次有关的图形。
4.
3.1.8设计过程中常用操作◇用"+"或"-"键放大减小屏幕◇用"Home"键可在全屏幕显示完好图形◇用"→"、"←"、"↑"、"↓"键挪动图形◇打"Z"键后,用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口,可放大察看改正细部。
◇用鼠标左键在某图形上定位后,打"Q"键使该坐标清零;在用鼠标在屏幕上检查线宽或间距。
二次打"Q"键坐标值还原。
4.
3.1.9鼠标功能建议采纳逻辑真三键鼠标(LogitechfirstMouse,Threebutton),假如没有真三键鼠标,则采纳“Shift键+Alt键+鼠标左键”组合取代鼠标中键功能,但使用有所不便。
◇鼠标左键功能:
[点击功能键、绘图键、和Alt组合模拟中键]所有惯例鼠标选择功能及所有拖动绘图功能。
在图形区中按键盘Alt键的同时,按鼠标左键可挪动被选定的图形地点、?
边或角(黑边图形)(相当于只按鼠标中键),在层选择区按键盘Shift键+Alt键的同时,按鼠标左键(相当于?
Shift键+鼠标中键),此时除指定层外,其余层图形所有都被关闭。
在层选择区按键盘Alt键的同时,按鼠标左键(相当于只按鼠标中键),指定层被关闭。
◇鼠标中键功能:
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[图形拖动键、层关闭键]把鼠标指向被选定的图形(黑边图形)中部任何部位,按鼠标中键可拖动整个图形挪动。
形状不变。
把鼠标指向被选定的图形(黑边图形)任何一条边,按鼠标中键可拖动该边,改变形状。
把鼠标指向图形任何一个角点上,按鼠标中键可拖动该点,改变形状。
在层选择区按键盘Shift键的同时,按鼠标中键(或Shift键+Alt键+鼠标左键),此时除指定层外,其余层图形所有都被关闭。
在层选择区只按鼠标中键(或按键盘Alt键的同时,按鼠标左键),指定层被关闭。
◇鼠标右键功能:
[图形选择键、层解放键]按鼠标右键拖动窗口选择一个或一组图形。
在一组图周边点击鼠标右键可挨次选择此中的某个图形。
按键盘Shift键同时,?
再用鼠标右键可多次点击不一样的图形也可实现一次选择一组图形。
用鼠标右键,点掩模层选择区(LayerArea)中任何被关闭层的地点,该层被解
放。
在按键盘Shift键的同时,按鼠标右键,此时所有层图形所有都解放。
4.
3.1.10图形层的关闭与翻开的操作◇除指定的图形层外,关闭其余因此图形层的操作用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择指定
的图形层,点鼠标右键翻开图形层操作菜单,用鼠标左键选择“HideAll”(或许在三键鼠标中按键盘Shift键的同时,按鼠标中键),此时除指定层外,其余层图形所有都被关闭。
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◇翻开被关闭的所有图形层的操作用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择需要操作的目标层地点(或随意层地点),点鼠标右键翻开图形层操作菜单,用鼠标左键选择“ShowAll”或(者在三键鼠标中按键盘Shift键的同时,按鼠标右键),此时所有层图形所有都解放。
◇只对指定的图形层进行关闭或翻开的操作用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择需要操作的目标层地点,点鼠标右键翻开图形层操作菜单,用鼠标左键选择“ShowAll”,此时被选择的图形层关闭,假如再用鼠标左键选择“ShowAll”,此时被选择的图形层又能够翻开。
其余图形层状态不变。
4.
3.2含例化单元图形的操作
4.3.
2.1插入被例化单元(原始单元)图形步骤进入Cell/New成立新创立图形单元名,如Cell001进入Cell/Instance选择某已成立的单元(如Cell002)选OK(注意:
图形坐标已改动,需要从头定位)
4.3.
2.2进入改正图形形态操作界面进入Edit/EditObject(s)
4.3.
2.3改正图形位移参数Translation(LocatorUnits):
X:
0Y:
0输入00使图形坐标回零点。
需要位移输入相应坐标值。
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4.
3.2.4改正图形位相参数Coordinatesystem:
Rotation:
0.00输入图形旋转角度。
Mirro:
选择图形镜像关系。
4.
3.2.5改正图形倍率参数ScaleFactor:
1/1倍率不变。
4.
3.2.6设置散布重复图形单元阵列参数ArrayParameters:
Repeatcount:
输入X-Y分步重复个数。
Delta(locatorUnits):
输入X-Y步距可生成重复单元图形阵列。
4.
3.2.7一个单元能够插入多个例化图形的单元或多次插入同一个例化图形的单元,还能够画入新的图形。
能够对每个例化图形的单元和新画入的图形进行选用及各样形态操作,实现图形拼接合成。
4.
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3.2.8含例化图形的单元还能够作为新的例化图形的单元,构成多次嵌套关系的图形。
4.
3.2.9改正被例化单元(原始单元)图形,能够使含例化图形的单元阵列中所有单元都被改正。
4.
3.2.10含例化图形的单元中的图形不行能逐一多边形或矩形进行改正,需要个别改正多边形或矩形,一定把含例化图形的单元压平,撤消嵌套关系。
点击Cell/Flatten把所有嵌套关系的单元图形逐级代入睁开,生成没有任何嵌套关系的完好图形(简称"粉碎"或"压平")。
压平后单元变为不含例化图形的单元,能够对任何多边形或矩形进行操
作。
4.
3.3图形绘制、改正操作
4.3.
3.1鼠标拖动直接绘制法第一选择绘制图形形状模式,比方选择矩形、多边
形、圆形等绘图模式,利用鼠标在屏幕上挪动,察看屏幕右上角格点坐标值变化,当鼠标挪动到需要的坐标值时点鼠标左键在屏幕上定位,向来按住鼠标左键并拖动鼠标到所需要的坐标值松开鼠标左键。
假如绘制多边形,则是每点一次鼠标左键定位一个多边形极点,最后点鼠标右键达成一个多边形绘制。
这类绘制法合用于屏幕上出现格点,而且设置鼠标是跳动的模式,并只绘制整数格点的小图形。
绘制大图形很不方便。
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4.
3.3.2鼠标拖动改正法第一利用鼠标右键在屏幕上点击图形,选择一个孤立图形(图形轮廓线变黑?
),或许新绘制一个大概尺寸的图形。
把鼠标指向图形中部任何部位,用Alt+鼠标左键(或许Shift+Alt+鼠标左键,此时能够在X或Y方向分别挪动,也能够用三键鼠标的中键)可拖动整个图形挪动。
形状不变。
把鼠标指向图形任何一条边,用Alt+鼠标左键可拖动该边,改变形状,察看坐标变化,同时打"Z"键后,用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口,渐渐放大再持续按鼠标中键再持续拖动该边,直到格点出现时察看坐标达到所需要数值为止。
把鼠标指向图形任何一个角点上,用Alt+鼠标左键可拖动该点,改变形状,察看坐标变化,同时打键盘"Z"键后,用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口,渐渐放大再持续按鼠标中键再持续拖动该点,直到格点出现时察看坐标达到所需要数值为止。
为绘制方便能够早先利用参照标像层或在其余图形层上绘制作为参照用的图形。
利用参照标像层的图形进行精准定位。
4.
3.3.3输入座标改正法第一利用鼠标右键在屏幕上点击图形,选择一个孤立图形(图形轮廓线变黑?
),或许新绘制一个大概尺寸的图形。
进入Edit/EditObject改正矩形对角点的X-Y坐标值,多边形的各个极点的X-Y坐标值、圆心X-Y坐标值及半径等数值,精准绘制图形。
4.
3.4图形形态变换及办理的操作
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4.3.
4.1被选择的图形挪动操作a)翻开Draw/MoveBy/Moveamount(LocatorUnits)输入X-Y坐标值。
b)翻开Draw/Nudge/Left;Right;Up;Down可进行左、右、上、下的细小移
动。
4.
3.4.2被选择的图形旋转操作a)翻开Draw/Rotate/90degrees有关于被选择的图形的中心点逆时针旋转90度。
b)翻开Draw/Rotate/RotateSelectedObjects/Rotationangle---degrees
(Counterclockwise)。
有关于被选择的图形的中心点逆时针旋转(依据输入随意角度值)。
c)翻开Draw/Rotate/RotateSelectedObjects/Rotationaround/被选择的图形有关于指定的某点为旋转中心进行逆时针旋转(依据输入随意角度值)。
Center:
有关于被选择的图形的中心点逆时针旋转(依据输入随意角度值)。
Offsetfromcenter:
被选择的图形中心点位移X-Y值后,以这一点为旋转中心进行逆时针旋转(依据输入随意角度值)。
Absolutecoordinates:
被选择的图形中心点位移X-Y值后,以坐标原点为旋转中心进行逆时针旋转(依据输入随意角度值)。
假如X-Y位移值为(0,0),则被选择的图形以坐标原点为旋转中心进行逆时针旋转(依据输入随意角度值)。
4.
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3.4.3被选择的图形镜像操作a)翻开Draw/Flip/Horizontal进行图形以Y为轴镜像办理(左右对称办理)。
b)翻开Draw/Flip/Vertical进行图形以X为轴镜像办理(上下对称办理)。
4.
3.4.4对被选择的图形进行选择性切割操作a)翻开Draw/Slice/Horizontal对图形进行平行于X方向的切割办理。
b)翻开Draw/Slice/Vertical对图形进行平行于Y方向的切割办理。
为了方便精准定位点,建议适合设置鼠标跳步参数进行配合。
c)翻开Draw/Merge对被选择的图形(或被切割的图形)进行归并操作。
4.
3.5复制、拷贝操作
4.3.
5.1图形层内部被选择的图形复制a)第一用鼠标选择需要复制的图形用鼠标右键在屏幕上选择某个矩形或拖动窗口选择一组图形。
b)点击Edit/Copy(或许Ctrl+C)把图形存入粘贴缓冲区?
(?
Paste-?
Buffer)?
。
c)点击Edit/Paste(或许Ctrl+V)即可调出存入粘贴缓冲区中的图形(注意:
图形坐标已改动)。
d)用Shift+Alt+鼠标左键:
把拖动图形到需要安置的地点(能够采纳参照层定位)。
打"Z"键后,用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口,精准定位。
若再点Edit/Paste还可持续调出存入粘贴缓冲区中的图形,?
并按上述挪动的间距两倍的地点精准定位......以此类推可重复Copy多组图形。
12/29
4.
3.5.2把目前图形层中被选择的图形复制到此外一个图形层上的操作a)第一
用鼠标选择需要复制的图形用鼠标右键在屏幕上选择某个矩形或拖动窗口选择一组图形。
b)点击Edit/Copy(或许Ctrl+C)把图形存入粘贴缓冲区?
(?
Paste-?
Buffer)?
。
c)用鼠标点击图层版中此外一个图层。
d)点击Edit/PastetoLayer(或许Alt+V)即可调出存入粘贴缓冲区中的图形复制到该图层上。
(注意:
图形坐标已改动)。
e)用Alt+鼠标左键(Shift+Alt+鼠标左键,此时能够在X或Y方向分别挪动),把拖动图形到需要安置的地点(能够采纳参照层定位)。
打"Z"键后,用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口,精准定位。
4.
3.5.3不一样层间选择图形或单元图形(Cell)考贝a)进入Cell/Open选择需要考贝的单元。
b)用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择所要考
贝的层地点,点鼠标右键翻开图形层操作菜单,用鼠标左键选择“HideAll,”此时除指定层外,其余层图形所有都被关闭。
c)利用鼠标右键在屏幕上拖动窗口选择需要考贝图形(图形轮廓线变黑),?
也能够用鼠标点Edit/SelectAll选择该层的所有图形。
d)用鼠标进入Edit/Copy(或许按Ctrl+C键)把该层选择的图形考贝入存放器,。
13/29
e)用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择考贝的
目标层地点,点鼠标右键翻开图形层操作菜单,用鼠标左键选择“ShowAll,”此时所有层图形所有都解放。
f)在按键盘Alt键的同时,按V键。
达成层间单元图形考贝,但图形地点会有变化。
g)在按键盘Alt键的同时,按住鼠标左键拖动目标层新考贝图形,让它与被考贝层的图形对齐,注意要联合键盘"Z"键,用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口,渐渐放大再持续按键盘Alt键的同时,按住鼠标左键拖动目标层新考贝图形,向来到格点出现后两出真实对齐为止。
4.
3.5.4同一文件内单元图形(Cell)考贝a)进入Cell/Copy选择需要考贝的单元
如Cell001,b)点〖OK〗窗口,输入新单元名如Cell003,则生成新单元的坐标与原单元一致。
4.
3.5.5不一样文件间单元图形(Cell)考贝a)进入Cell/Copy选择需要考贝的单元
如Cell001,b)用鼠标点〖File〗窗口可选择已被翻开的此外一个文件YXYM002,并选定需要考贝的单元。
c)再点〖OK〗窗口,并输入,d)即可把文件YXYM002中的Cell001单元图形复制到目前文件YXYM001中,生成新单元名Cell004的单元图形。
假如目前文件中已存在相同的单元图形名,会提示改正新的单元图形名。
4.
3.5.6不一样文件间的不一样层间选择图形或单元图形(Cell)考贝不一样文件间不可以直接进行不一样层间图形考贝,只好先采纳“
4.3.
5.5”进行不一样文件间单元图形(Cell)考贝后,再依据“
14/29
4.3.
5.3”的方法进行不一样层间选择图形或单元图形(Cell)考贝。
4.
3.6图形的布尔运算与图形反转L-EditV
8.50以上版本拥有一个特别实用的图形布尔运算工具X-Tools,为绘制复杂的闭合多义线图形、图形挖空及图形反转操作供给很方便的工具。
4.
3.6.1进入布尔运算模式a)翻开Tools/UPILIB/X-Tools,进入布尔运算界面。
b)翻开“Option。
”
c)选择“Removeoriginalpolygon(s)afteroperation,运