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东南科技大学
東南科技大學
工程學群
專業類課程教學規範
【無塵室設計】
【選修】【3學分】
日間部-四年制-機電科技系
中華民國九十六年九月
目錄
壹、教學目標…………………………………………………………………1
貳、課程描述……………………………………………………….…………1
一、課程系統流程……………………………………………...…………1
二、章節系統流程……………………………..……………….…………2
三、教學大綱……………………………………………..…….…………3
四、教學進度表………………………………………..……….…………4
參、教材…………………………………………………………….…………4
一、教材規劃與選擇……………………..…………………….…………4
二、參考資料………………………………………………..….…………4
肆、教學活動……………………………………………………….…………4
一、多媒體………………………………………..…………….…………4
二、演說式……………………………..……………………….…………5
三、資料收集閱讀……………………..……………………….…………5
伍、評量方式……………………………………………………….…………5
一、平常成績及配分比………………..……………………….…………5
（一）曠缺課………………………………………………….…………5
（二）作業…………………………………………………….…………5
（三）報告…………………………………………………….…………5
（四）其他…………………………………………………….…………5
二、期中考試及配分比………………………..……………….…………5
三、期末報告及配分比……………………..………………….…………5
陸、補救教學……………………………………………………….…………6
課業輔導………………………………………………………...…………6
（一）對象：
成績欠佳之認定……………………………….…………6
（二）輔導時間與方式……………………………………….…………6
附錄一九十四學年度第二學期課程教學進度表……….………….7
四技無塵室設計教學規範
1、教學目標
一、主要目標
無塵室設計（Designofcleanroom）屬於工程應用方面的課程，學生最好先有冷凍空調與半導體工業的基礎概念為佳，不過並非必然。
本課程主要在介紹新進的科技廠房無塵室設計技術，其中主要內容包括半導體與液晶製造環境、潔淨室系統及廠務工程的基本原理與應用，其中以我國產業最為健全的IC/LCD無塵室設計技術應用為主。
二、次要目標
由於許多無塵室設計的基礎是關於半導體工業、平面顯示器等學科的原理，所以本課程會先複習上述兩門課程的概要簡介，並會加強與應用之間的關連性，使學習者能有良好基礎，以利於日後之專業課程之學習。
三、學生生涯目標
由於兩兆雙星產業乃是我國重要的高科技經濟體系，其產業又是根基於高科技廠房的生產製造環境。
因此，本課程使學生對於這些重要產業的工作原理與技術應用有所清楚解說，對於同學專業課程上的學習有所幫助，並將有助於同學規劃未來就業與深造之生涯發展。
2、課程描述
1、課程系統流程
無塵室設計的目標是在介紹晶圓廠潔淨室的空間配置、環境設計與建造規格等廠務工程，其內容介紹將包括冷凍空調、潔淨室系統、純水系統、氣體與化學系統、及電力系統等相關的晶圓廠製造環境與應用。
其中主要以無塵室的系統應用為主，因此須與其他課程互相搭配為佳；以課程系統流程的觀點而言，無塵室設計預修的課程與未來可支援的課程詳列如下：
1.學習本課程之前期望學生已修過：
（1）冷凍空調概論
（2）半導體工業概論
2.學習本課程之後可作為繼續修習下列課程的基礎：
（1）微奈米機電工程
（2）冷凍空調實務
（3）半導體製程與設備
（4）專題製作
2、章節系統流程
無塵室設計的內容若以一般市售教科書為參考，以章節來規劃本課程流程如下：
第一章科技廠房的環境需求
1.科技產業現況
2.製造技術趨勢
3.生產環境要求
4.廠務工程環境規格
第二章冷凍空調系統
1.基本熱力學複習
2.分類與特性
3.系統裝設實務
4.氣體輸送系統
第三章潔淨室系統
1.循環氣流方式
2.補給新鮮空氣
3.正壓與負壓系統
4.潔淨室廢氣
5.冰水與熱水系統
第四章純水與廢水處理系統
1.純水系統
2.廢水系統
3.廢液收集系統
第五章氣體與化學系統
1.氣體供應系統
2.特殊氣體供應流程
3.化學系統
第六章電力系統
1.供電系統
2.配電系統
3.備載電力系統
4.發電機系統
5.接地系統
6.廠務監控系統
第七章晶圓廠整合
1.真空系統
2.設備整合
3.生產自動化
3、教學大綱
無塵室設計的內容若以教學單元分類可將教學大綱簡列如下：
１、科技廠房的環境需求
a.IC/LCD製造流程
b.各種製造設備
c.晶圓廠廠房
d.設備的安置
e.廠務市場分析
２、冷凍空調系統
a.基本熱力學複習
b.空調工程
c.主機與溫溼度控制器
d.高效率過濾網箱
e.水電工程
３、潔淨室系統
a.無塵室要求條件
b.層流與紊流
c.蒸氣加濕與空氣水洗滌
d.微塵正壓防漏
e.一般與酸鹼性廢氣
f.有機溶劑排放
g.冰水系統
h.熱水系統
i.隔間工程
４、純水與廢水處理系統
a.純水規格
b.製造裝置
c.離子交換樹脂
d.活性碳過濾
e.逆滲透
f.高效率真空除氣
g.TOC-UV
h.酸鹼與HF廢水
i.無機溶劑廢液收集桶
j.有機溶劑廢液收集桶
５、氣體與化學系統
a.大宗氣體
b.N2,H2,He供應系統
c.特殊氣體
d.製程真空系統
e.大宗化學藥品
f.監測系統
6、電力系統
a.供電系統
b.配電系統
c.備載電力系統
d.廠務監控系統
7、晶圓廠整合
a.設備真空原理
b.壓力量測與控制
c.晶片傳送控制設備
d.自動物料傳送系統
4、教學進度表
如附件一。
3、教材
1、教材之規劃與選擇
無塵室設計方面的專用書籍不多，因此需要自製講義教材。
由其是由各樣的書籍中綜合而得，並且收集業界相關的實務資料。
其條件是必須能配合實際產業需求或是學校簡易型的較低等級的無塵室建造，選擇原則如下：
（1）能配合產業實際發展
（2）涵蓋教學大綱內的所有內容
（3）文字編排淺顯易懂，並考慮與其他科目的連接性
2、參考資料
（1）簡禎富等，半導體製造技術與管哩，清華大學出版社，台灣，2005。
（2）莊達人，基礎IC技術－應用、設計與製造，全威圖書公司，2006。
（3）劉博文，ULSI製程技術，文京圖書公司，2002。
（4）國立台灣大學奈米機電系統研究中心,http:
//nems.ntu.edu.tw/。
4、教學活動
一、多媒體教學
初期以多媒體教學之講授為主，待同學對IC/LCD工業有了基本概念後，再輔以課文內容之授課。
二、演說式與實習
課程教材內容主體較多，鼓勵同學上網站閱讀相關資料，激勵讀書的動機與意願。
並且以東南本校自有有的兩間無塵室為上課實務實習重點。
三、校外教學
將同學適當分組，帶領同學赴相關單位實驗室參觀，進行實務性的教學。
底下列出部分校外教學地點：
（1）台大應力所奈米機電系統研究中心
（2）華梵大學無塵室
四、資料收集閱讀
利用圖書館資料庫的查詢，收集無塵室各領域應用案例，撰寫心得
5、評量方式
1、平常成績及配分比（40%）
（一）曠缺課（10%）
出缺席很重要，校外教學比重可以提升至20%！
（二）作業（20%）
理論性的內容於各章教授完畢後指派章節作業，要求學生於兩週後交回。
（三）報告（10%）
主題式報告
（四）其他
隨堂考試，視學習狀況實施隨堂考試。
2、期中考試及配分比（30%）
於每學期期中，就教授範圍舉行一次期中考試。
3、期末報告及配分比（30%）
於每學期期末就該學期期中後授課內容舉行期末報告。
6、補救教學
課業輔導
（一）對象：
成績欠佳之認定
凡期中考成績不及格者，視為成績欠佳學生，應予以課業輔導。
（二）輔導時間與方式
課業輔導採下列方法進行：
1.加強課後輔導，由授課教師於輔導時間，為成績欠佳學生進行課後輔導。
2.額外指定成績欠佳學生課後作業，使其能在不斷的練習中獲得進步。
【附件一】東南科技大學九十六學年度第二學期課程教學進度表
課程名稱
無塵室設計
Designofcleanroom
□必修
選修
上課
班級
教材
自製講義
學分
3
書局
授課教師
王俊程
時數
3
作者
週次
上課日期
授課內容要項
課程大綱
1
2月21日
課程內容總覽講解、LCD影片上課
本課程為介紹科技產業的生產環境。
若是沒有無塵室，高科技產品就無法製造出來，因為良率無法確定。
課程特色為：
1）引進科技產業多媒體教學。
2）校外參訪與教學。
3）無塵室現場實務與實習。
教材來源主要有涵蓋各科技產業用書的收集與整理。
包含潔淨室、冷凍空調、廠務工程、純水與供電、特殊氣體與整廠整合監控等。
冷凍空調乃是本系的發展重點之一。
無塵室的廠務建造需求，也已經是國內產業的重要發展。
本課程對此多加說明，目的是提升同學的就業競爭力。
評量說明如下：
平時出席－校外參訪為重點，鼓勵上課發問，並交參訪心得作業，10+30﹪。
期中考30﹪。
期末報考30﹪。
課後輔導將為著教學品質的提升。
2
2月28日
科技廠房的環境需求
3
3月7日
冷凍空調基本熱力學原理
4
3月14日
冷凍空調分類與特性
5
3月21日
潔淨室系統循環氣流
6
3月28日
潔淨室系統補給新鮮空氣
7
4月4日
潔淨室正壓與負壓系統
8
4月11日
冰水與熱水系統
9
4月18日
期中考
10
4月25日
純水與廢水處理系統
11
5月2日
廢液收集系統
12
5月9日
氣體供應系統
13
5月16日
特殊氣體供應流程
14
5月23日
供電與配電系統
15
5月30日
備載電力系統
16
6月6日
廠務監控系統
17
6月13日
晶圓廠設備與生產整合
18
6月20日
期末報告
教學
活動
口頭講授放錄影帶上機實習其他（上課講義之補充）
放幻燈機分組討論實務演練（含各項教學活動之說明）
放投影機實地參觀數位（遠距）教學
參考
書籍
（含圖書館保留區之資料、期刊、網路上相關資訊與補充教材等）
補救
教學
（含教師補救教學方式、輔導時間與輔導地點等）
評量
方式
出缺席（30﹪）平時作業（10﹪）平時考（﹪）
期中考（﹪）期中報告（30﹪）其他（﹪）
期末考（﹪）期末報告（30﹪）（請填寫百分比）
備註
東南科技大學教學規範審查檢核表
檢核內涵
檢核參考項目
檢核內容
教學規範架構
目錄範圍能考量教與學的完整性
是□否
規範經系科教學小組討論與確認
是□否
科目所屬教學規範類別分類合宜
是□否
與學群系科教學目標連結
是□否
章節銜接符合流程規劃
是□否
能力指標納入規範架構
是□否
教學規範內容
提供參考圖書或電子資料庫資訊
是□否
學習評量由安置逐步至總結評量
是□否
針對課程不同特性詳述教學方法
是□否
內容與實際教學各項活動一致
是□否
能力指標達成方式是否納入
是□否
圖書館保留區是否納入
是□否
內容項目編號層次清晰
是□否
上下學期是否分別製作
是□否
線上輔導教學納入規劃
□是否
學習評量問卷是否納入
是□否
補救教學作法納入規劃
是□否
課程綱要表是否納入
是□否
教學進度表是否納入
是□否
教學規範格式
封面格式是否符合格式要求
是□否
字體字形是否符合格式要求
是□否
表單或文件是否提供為附件
是□否
頁碼是否符合格式要求
是□否
課程編碼是否正確
是□否
課程名稱是否正確
是□否
系所別：
機電科技學系學制：
四技
科目名稱：
無塵室設計編訂者：
王俊程
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