等离子刻蚀机磁控溅射.docx
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等离子刻蚀机磁控溅射
厦门大学
招标文件
采购项目
电感耦合等离子刻蚀机、磁控溅射、激光划片机和光刻机
采购编号：
XDZFCG2015-167
厦门大学资产与后勤事务管理处
2015年11月13日
第一章投标邀请
厦门大学资产与后勤事务管理处受学校采购领导小组的委托，以招标形式就厦门大学化学化工学院电感耦合等离子刻蚀机、磁控溅射镀膜系统、激光划片机和光刻机（XDZFCG2015-167）项目进行采购，欢迎具备相应资格条件的供应商参加投标。
一、采购编号：
XDZFCG2015-167
二、项目名称：
电感耦合等离子刻蚀机、磁控溅射镀膜系统、激光划片机和光刻机
三、供货地点：
厦门大学
四、投标截止和开标时间：
2015年12月7日上午09：
00
五、报名截至：
投标人必须在2015年12月4日下午17点（节假日除外）前，以传真方式报名（需注明公司名称、投标项目、联系人及电话等并加盖公章），逾期视为放弃竞标机会。
六、开标地点：
厦门大学资产与后勤事务管理处会议室（思明南路422号厦门大学颂恩楼714室）
七、交货期：
收到信用证后90天（或按用户招标参数要求）
八、本批采购的咨询联系人
技术方面的问题请联系：
吕老师
招投标报名等方面的问题请联系：
秦老师（资产处物资科）-608（fax）
厦门大学资产与后勤事务管理处
2015年11月13日
第二章采购项目说明及要求
一、采购项目说明
合同包
货物名称
数量
参考技术参数
备注
一
电感耦合等离子刻蚀机
1套
详见附件1
二
磁控溅射镀膜系统
1套
详见附件2
三
激光划片机
1套
详见附件3
四
光刻机
1套
详见附件4
二、投标要求
1．附件中的技术参数为基础指标要求，投标参数如出现偏离，需在技术偏离表中注明。
2．投标人应根据本招标文件中提出的技术要求，在投标文件中提供技术应答书或技术建议书。
3．投标人必须提供产品的详细配置（供货清单）、产品说明及彩图或彩页。
4．进口货物供应商必须提供生产厂家的授权经销代理证书的有效复印件（原件备查），进口整套设备必须是全新的原装进口产品，供应商必须负责到货后免费为用户安装调试并进行必要的培训。
5．投标人必须提供投标人营业执照有效复印件以及企业法定代表人对投标代表的授权书原件。
6．投标文件必须包含投标书、开标一览表、投标货物说明一览表、供货清单、技术偏离表、资格证明文件、投标货物生产经销代理证明或授权书（经销商或代理商）、售后服务承诺及本招标文件要求的其他主要内容，以上材料须加盖投标人公章。
7．到货时间：
购置合同（协议）签订后4个月之内或收到LC后90天之内（或按用户招标参数要求）。
三、投标报价要求
CIPXIAMEN外币报价
四、合同签订
中标供应商接到中标通知后，持中标通知书与用户签订技术和服务协议后再和厦门大学资产与后勤事务管理处签订合同。
招标文件、中标供应商的投标文件及其澄清文件均作为签订技术和服务协议、合同订立的基础。
五、验收条件
1．招标文件、投标文件、厂家货物技术标准说明及有关国家的质量标准规定，均作为验收标准。
2．用户组织对供应商履约的验收。
大型或者复杂的政府采购项目，邀请国家认可的质量检测机构参加验收工作。
验收方成员在验收书上签字，并承担相应的法律责任。
3．验收时中标供应商代表必须在场。
验收合格后，中标供应商凭用户出具的验收合格书至厦门大学资产与后勤事务管理处根据合同规定办理付款手续。
验收不合格的，供应商须先进行整改，仍旧不合格的，用户有权退货。
六、付款条件
100%不可撤销信用证，90%见单即付，10%验收合格后付。
七、售后服务要求
1、投标人应按照本采购项目特点提供长期良好的售后服务，并在投标文件中提供详细具体的售后服务承诺条款及保证。
2、投标人必须提供设备使用常规知识、技术特点、安装、使用、维修和一般的故障判断等知识的培训，使采购人能正确使用及维护设备，所需的费用包含在投标报价中。
3、保修期：
在投标文件上必须对保修期做出承诺。
保修期至少壹年（招标参数中有明确保修年限要求的按具体要求保修）。
保修期自用户验收小组验收合格交付使用之日算起。
第三章投标方须知
第一节说明
一、投标资格
根据“中华人民共和国政府采购法”，供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：
（一）具有独立承担民事责任的能力；
（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
（六）法律、行政法规规定的其它条件。
（七）招标文件规定的其他资格要求。
二、定义
1、“货物”系指卖方按招标文件规定须向买方提供的一切设备、机械、仪器仪表、备品备件、材料、工具、手册及其它有关技术资料。
2、“服务”系指招标文件规定卖方须承担的安装、调试、技术协助、校准、培训及其它类似的义务。
三、中标服务费
中标人须向招标人交纳合同总金额的1.0%作为中标服务费，中标服务费在合同签订后的10天内汇入以下帐号：
厦门大学41904620工行厦大支行。
四、投标费用
投标人应承担所有与准备和参加投标有关的全部费用。
不论投标结果如何，采购人和用户均无义务和责任承担这些费用。
第二节招标文件说明
一、招标文件构成
1、招标文件由下述部分组成：
（1）、投标邀请
（2）、招标项目说明及要求
（3）、投标人须知
（4）、投标文件格式（第四章）
二、招标文件的澄清
1.招标人可以对已发出的招标文件进行必要的澄清或修改，澄清或修改的内容将依法以书面形式通知所有招标文件收受人。
该澄清或修改的内容为招标文件的组成部分。
2.招标人可视采购具体情况，延长投标截止时间和开标时间，并依法将变更时间书面通知所有招标文件收受人。
第三节投标文件的编写
一．要求
投标人应当按照招标文件要求编制投标文件，并保证所提供的全部资料的真实性及准确性，投标文件应对招标文件提出的实质性要求和条件作出完全响应。
二．投标语言及计量单位
（一）投标人和招标人就投标交换的文件和来往信件，应以中文形式书写。
（二）招标文件的技术规格中另有规定外，计量单位应使用中华人民共和国法定计量单位。
（三）投标报价一般以人民币为货币单位（招标文件另有要求的除外）。
三．投标文件的组成
投标文件应包括下列部分：
1．投标书、开标一览表以及投标货物说明一览表等；
2．投标资格证明文件；
3．投标货物符合招标文件规定的证明文件、技术响应文件和投标人认为需要加以说明的其他内容。
投标人应将文件装订成册，并填写投标文件目录或资料清单。
四．投标文件格式
投标人应按招标文件中提供的投标文件格式填写投标书、开标一览表及投标货物说明一览表，注明提供货物的名称、数量和价格等（见附件）。
填写投标价格表时应注意下列要求：
1．技术规格中特别要求的备品备件、易损件和专用工具的费用。
2．技术规格中特别要求的安装、调试、培训及其它附件服务的费用。
3．配套设备或设施的数量和费用。
五．投标人资格证明文件
投标人必须在投标文件中提供以下证明其有资格进行投标和有能力履行合同的文件：
1．投标人的工商营业执照有效复印件壹份。
2．法定代表人对投标代表的授权书（原件）壹份。
3．投标货物的制造商通过质量管理体系认证证明。
投标人必须是投标货物的制造商或经销商或代理商，投标人为经销商或代理商的，须提供相关的证明文件或授权书。
投标人须提供具有履行合同所需的财务、技术和生产能力的证明文件。
六．投标货物符合招标文件规定的技术响应文件：
投标人须提交证明其提供的货物和服务符合招标文件规定的技术响应文件，作为投标文件的一部分。
上述文件可以是文字资料，图纸和数据，并须提供：
1．货物主要技术性能和配套设施建设的详细描述。
2．保证货物正常和连续运转期间所需要的所有备件和专用工具的详细清单，包括其价格和供货来源资料。
3．规格技术参数偏离表。
七．投标有效期
投标文件从开标之日起，投标有效期为30天。
八．投标文件的签署及规定
投标文件分正本壹份和副本肆份，分别封装。
在每一份投标文件及封袋上要明确注明“正本”或“副本”字样，若正本和副本有差异，以正本为准。
投标文件封口处须加盖投标人印章或由投标代表签名，并标明采购编号、投标项目。
投标文件正本和副本须打印并经正式授权的投标代表签字。
除投标人对错处做必要的修改外，投标文件中不允许有加行涂抹。
第四节投标文件的递交
一．所有投标文件不论派人送交还是通过邮寄递交，都必须在投标截止时间之前，将投标文件密封后送达投标地点。
招标人拒绝接受投标截止时间后送达的投标文件。
二．用邮寄方式递交的投标文件，必须在密封外层注上“投标文件”字样，并写明投标人的名称、地址、邮政编码，以便将迟交的投标文件原封退还。
邮寄地址：
厦门市思明南路422号厦门大学嘉庚三号楼711物资科
收件人：
秦老师电话：
邮编：
361005
三．投标人可在投标截止时间前，对所递交的投标文件进行补充、修改或者撤回，并书面通知招标人。
补充、修改的内容为投标文件的组成部分。
四．投标人对投标文件的修改或撤销应密封递交，并在封面注明“补充、修改投标文件”或“撤销投标”字样。
第五节开标和评标
一．开标
招标人在招标公告或投标邀请函规定的时间或另外确定的时间和地点进行公开开标，投标人和用户可派代表参加。
开标时，先查验投标文件密封情况，确定无误后拆封唱标。
主要公开投标文件正本“开标（报价）一览表”内容以及招标人认为必要的其它内容。
开标时，开标一览表（报价表）内容与投标文件中明细表内容不相符的，以开标一览表（报价表）为准。
投标文件的大写金额和小写金额不一致的，以大写金额为准；总价金额与单价金额不一致的，以单价为准，但单价金额小数点有明显错误的除外；对不同文字文本投标文件的解释发生异议的，以中文文本为准。
开标时，设开标记录员一名，如实记录开标过程发生的事件及唱标主要内容。
开标时，设开标监督员一名，监督开标程序是否正确，唱标人是否如实公布投标文件主要内容。
澄清
唱标结束后，经开标会主持人同意，投标人代表可就错唱或漏唱的内容要求澄清。
澄清要求以开标会现场为准，招标人不接受开标会后的任何澄清要求。
二．评标
招标人将根据招标采购项目特点组建评标委员会，评标委员会对投标文件进行审查、质疑、比较和评价。
1．资格性检查。
评标委员会依据法律法规和招标文件的规定，对投标文件的证明文件、资格文件、等进行审查，以确定投标人是否具备投标资格。
2．符合性检查。
评标委员会依据招标文件的规定，从投标文件的有效性、完整性和对招标文件的响应程度进行审查，以确定是否对招标文件的实质性要求作出完全响应。
3．澄清有关问题。
评标委员会对投标文件中含义不明确、同类问题表述不一致或者有明显文字和计算错误的内容，可以书面形式要求投标人作出必要的澄清、说明或者纠正。
澄清、说明或者补正应以书面形式进行，并不得超出投标文件的范围或者改变投标文件的实质性内容。
4．比较和评价。
评标委员会按招标文件中规定的方法和标准，对资格性检查和符合性检查合格的投标文件进行商务和技术评估，综合比较与评价。
评标办法
本次招标采用综合评议法评标。
首先，由评标委员会根据招标文件要求，审核各投标文件是否合格、有效，凡不符合要求和未能实质性响应招标文件要求的投标文件均不进入评议程序。
通过以上审核的投标文件，依照以下标准进行评议：
1．招标价格
２．投标产品品牌、质量和技术性能及产品授权。
主要评审因素有：
方案中所提出投标产品的技术规格和指标，投标产品的市场评价，投标产品和备品备件的标准化、系列化以及产品授权。
３．投标企业实力
主要评审因素有：
企业注册资金、企业规模、品牌代理实力、经营能力、企业管理水平。
４．售后服务
主要评审因素有：
投标文件是否满足招标文件的售后服务要求、售后服务保证体系、专业的售后服务队伍、本地化技术服务。
５．市场信誉
主要评审因素有：
获得政府有关部门奖励、政府采购纪律和交货期等。
对所有投标人的投标文件评审，都采用相同的程序和标准。
评标严格按招标文件的要求和条件进行。
有关投标文件的审查、澄清、评估和比较以及会影响评标工作的一切情况都不得透露给任一投标人或与上述评标工作无关的人员。
投标人不得干扰招标人组织的评标活动，否则将废除其投标。
第四章投标文件格式
格式1投标书
致:
厦门大学资产与后勤事务管理处
根据贵方为（采购编号）招标项目及服务的投标邀请，投标代表（全名、职务），经正式授权并代表投标人（投标人名称）按招标书规定提交投标文件正本1份和副本4份。
投标书、开标一览表、系统配置清单、货物说明一览表和技术偏离表。
资格证明文件
按投标人须知要求提供的全部文件
据此函，投标人同意遵守如下条款：
1、投标人将按招标文件规定履行合同责任和义务。
2、投标人已详细审查全部招标文件，包括修改文件（如有的话）以及全部参考资料和相关附件。
我们完全理解并同意放弃对这方面有不明及误解的权利。
3、投标自开标之日起有效期为30个日历日。
4、投标人同意提供按照招标人可能要求的与投标有关的一切数据或资料，完全理解招标人不一定要接受最低价的投标或收到的任何投标。
5、与投标有关的一切正式往来通讯，请寄：
地址：
邮编：
电话：
传真：
投标代表姓名，职务
投标人全称（加盖公章）
日期年月日
格式2开标（报价）一览表
投标人全称（加盖公章）
采购项目编号：
XDZFCG2015-167
序号
货物名称
型号规格/制造商
数量
单价
合计
投标总价（大写）：
投标代表签字职务
日期
格式3投标货物简要说明一览表（需列明配置/供货清单）
投标人全称（加盖公章）：
序号
货物名称
型号规格及配置
性能指标说明
数量
备注
投标代表签字：
日期：
格式4规格、技术参数偏离表
投标人全称（加盖公章）
序号
货物名称
招标规格
投标规格
偏离情况
偏离说明
投标代表签字：
日期：
格式5制造商出具的授权书（参考格式）
厦门大学资产与后勤事务管理处:
我方（制造商名称）是按
（国家名称）法律成立的一家制造商，主要营业地点设在
（制造商地址）。
兹指派按（国家）的法律正式成立的，主要营业地点设在
（投标人地址）的（投标人名称）作为我方真正的和合法的代理人进行下列有效有活动：
（1）代表我方在中华人民共和国办理贵方（招标编号）招标邀请关于（招标项目名称）要求提供的由我方制造的（货物名称）的有关事宜，并对我方具有约束力。
（2）作为制造商，我方保证以投标合作者来约束自己，并对该投标共同和分别承担招标文件中所规定的义务。
（3）我方兹授予（投标人）全权办理和履行上述我方为完成上述各点所必须的事宜，具有替换或撤消的全权。
兹确认（投标人）或其正式授权代表依此合法地办理一切事宜。
我方于年月日签署本文件，（贸易公司名称）于年月日接受此件，以此为证。
投标人名称：
出具授权书的制造商名称（加盖公章）：
正式授权签字代表姓名、职务和部门：
格式6法定代表人授权书（原件）
兹有（单位名称）的法定代表人（姓名）授权（被授权人姓名）为厦门大学政府采购项目的投标代理人，以本公司名义处理一切与之有关的事宜。
本授权书仅对该项目有效，特此声明。
法定代表人签字：
被授权人签字：
职务：
投标单位详细地址：
邮政编码：
E-mail:
联系电话／传真号码：
投标人全称（加盖公章）：
年 月
格式7售后服务承诺
致：
厦门大学资产与后勤事务管理处
根据贵方为 采购项目的投标邀请，我司对该项目做出如下售后服务承诺：
（内容根据招标文件要求自拟）
投标人全称（加盖公章）：
年 月 日
附件1：
电感耦合等离子刻蚀机配置及技术指标要求
一.采购要求：
1.1采购设备名称：
感应耦合反应离子刻蚀机
1.2采购设备数量：
1套
二、工作条件和总体要求
1、投标商或其代表的制造商应具有设计、制造本标书所规定设备的资格和能力，并对该设备及相关附件的质量、使用性能、供货的完整性、安装指导、调试和培训及售后服务负责。
要求卖方提供的设备具有技术先进、设备工作可靠、性能稳定等特点。
2、设备要求：
用于硅，硅氧化物或氮化物等的刻蚀，应带有预真空室（Loadlock）。
3、工作条件：
3.1电源要求：
满足国内电网标准，220VAC±10%/单相或380VAC±10%/三相；50Hz；投标方需提供设备额定功率值。
3.2环境温度：
+15～+30℃，环境湿度：
≤70%。
3.3投标方应在投标书中列出设备所需的详细工作条件，如冷却水、压缩空气等。
三、配置要求及主要技术指标
1、设备配置要求：
1.1设备应主要由以下部分组成：
反应腔室、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统与软件、配套附件等。
2、反应腔室
2.1腔体本底真空小于1x10-6mbar
2.2漏率≤5x10-4mbarl/s
2.3下电极带有冷却装置
2.4样品尺寸：
为最大直径6英寸，也可用于更小的晶圆片或不规则碎片
3、预真空室
3.1配有气动传送装置，自动进行样品的传送
4、气路系统
4.1配置6路工艺气体及相关质量流量计（O2、C4F8、CHF3、SF6、Ar、N2）
4.2必要的尾气处理方案
5、控制系统与软件：
5.1配置计算机全自动控制系统。
5.2软件具有异常报警功能，并满足手动、自动、维护多种控制模式
6、文件和附件：
1.6.1技术资料：
设备操作手册、设备维护（服务）手册、软件使用说明书、各主要部件操作手册、系统构成图、电源系统图、设备布置与安装图、设备接口和信号接口图表等。
投标方应免费提供上述技术资料。
2.6.2备品备件包：
用于保修期后一年使用的备品备件包，投标方需在标书中提供详细的备品备件清单、列出单价，并计入投标总价中。
6.3其他：
投标方可提供其他可选项，列明单价、供用户选择，并不计入投标总
三、工艺验收指标：
1.硅刻蚀：
刻蚀深度：
大于1um；
刻蚀速度：
大于110nm/min；
2.二氧化硅刻蚀：
刻蚀深度：
大于1um；
刻蚀速度：
大于50nm/min；
3.氮化硅刻蚀：
刻蚀深度：
大于1um；
刻蚀速度：
大于50nm/min；
四、技术服务及培训要求
1、投标方免费提供设备的安装、调试、试运行。
2、设备安装、调试、验收完成后，投标方对用户操作、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺，培训时间不少于3天。
3、设备保修期为1年，自双方签署验收合格报告之日起。
在保修期内，设备在正常使用维护条件下发生故障或损坏，投标方将负责免费维修，所需换件费用和人工费用、均由投标方承担。
4、保修期满后，投标方提供最优惠的技术服务价格和备件价格。
5、投标方应承诺，无论保修期内、外，在接到用户故障信息后4小时内响应，如有必要、在48小时内派工程师到达现场、检查和排除故障。
6、投标方应对设备提供终身的维修服务、并保证设备所需零备件的长期供应。
五、包装及运输：
卖方负责设备的包装，包装箱必须坚固，并做到防潮、防震和防锈，适用于海、陆运输和整体吊装。
包装材料必须符合中国进出口检验检疫的有关规定。
运输方式可采用海运和空运。
六、交货地点：
CIP厦门机场。
七、交货日期：
合同签订后5个月内。
附件2：
磁控溅射镀膜系统配置及技术指标要求
1、设备名称：
多靶磁控溅射镀膜系统
2、设备数量：
1套
3、设备主要用途：
主要用于加工沉积高质量、厚度精确控制的金属薄膜和介质薄膜。
4、工作条件
4.1电源：
满足中国大陆电网标准，220VAC±10%/单相或380VAC±10%/三相；50Hz；投标方需提供设备额定功率值。
4.2环境温度：
18℃～26℃能稳定工作
4.3环境湿度：
40%～70%能稳定工作
5、系统主要技术指标：
5.1设备要求
1）主真空室方便取送样品，须配有全自动进样室。
2）衬底的尺寸不小于6英寸，兼顾4寸英寸和2英寸片及碎片。
3）至少有两个进气路，分别由质量流量计控制。
4）一个直流源和射频电源可分别单独控制三个靶枪。
5） 3个直径为3英寸磁控溅射靶枪：
A.三个靶枪均可独立调角度和高度；
B.包含至少一个强磁性靶枪，可用于溅射导磁性材料；
C.每个靶枪各配有一个独立式气动遮板；
D.具备共溅射和多层膜薄膜沉积功能。
6）加热工件台：
A.工件台带加热功能，有独立的温度检测系统；
B.基片可旋转，转速0至20转/分钟可调；
C.加热温度不低于300摄氏度；
7）配置2套不锈钢内衬，一套安装在腔室内，一套备用
8）有水、气、电异常报警系统、以及紧急停止系统。
9）配置计算机全自动控制系统。
10）软件能以系统图形式显示系统流量，温度，阀门状态，具有编辑，调用，存储及查询等功能。
11）软件具有异常报警功能，并满足手动、自动、维护多种控制模式。
5.2技术要求
1）真空性能：
A.极限真空:
1E-7Torr
B.真空抽速：
30分钟从大气压抽到5E-6Torr
C.真空室漏率：
5E-5Torr.L/s
2）镀膜均匀性和重复性：
在6英寸范围内衬底厚度均匀性优于±5%，重复性优于±3%。
3）基片加热：
控温精度+/-1℃%
6.技术服务和培训
6.1安装、调试：
卖方专家负责现场免费安装及调试（包括与其它设备或仪器的接口调试）。
按照生产厂提供的技术指标及标书要求验收设备。
6.2操作人员培训：
设备验收前卖方免费在安装现场完成基本操作培训、工艺培训、简单故障排除培训、常规周期性维护培训。
对于所有培训，必须派出具有相应专业资格和实际工作经验的辅导人员进行培训，培训所使用的语言必须是中文，否则必须提供相应的翻译。
所有培训费用由卖方承担。
6.3设备验收：
设备正常运行，并提供使用前的技术及操作培训后，提交直接用户签字，确认合格的设备调试报告并确认后组织有关专家按合同文件进行验收。
6.4厂商或代理商所投产品必须是原厂生产的合格正品。
所投软件必须是合法、正版的原厂家软件且是当时最新版本；提供终身免费的维护和及时的免费升级服务。
6.5设备保修期不少于一年。
质量保证期自验收合格之日算起（含当日）；在质量保证期内，如果产品
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