去PSG工序培训.docx
《去PSG工序培训.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《去PSG工序培训.docx（7页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。
去PSG工序培训
去PSG工序培训
去PSG（磷硅玻璃）
1.目的：
去除硅片表面的P-Si玻璃层（PSG）,为加镀减反射膜做准备在形成PN结的扩散过程中，在硅片表面形成一层一定厚度的磷硅玻璃，磷硅玻璃不导电，为了形成良好的欧姆接触，减少光的反射，在沉积减反射膜之前，将磷硅玻璃腐蚀。
●磷硅玻璃使硅片在空气中容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减
●死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低
●磷硅玻璃的存在使得PECVD后产生色差
2.磷硅玻璃的来源：
硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，成为磷硅玻璃，主要成分P、P2O5、SiO2。
3.反应原理
原理：
利用HF和硅片表面的P-Si玻璃层反应，并使之络合剥离，以达到清洗的目的。
HF+SiO2→H2SiF6+H2O
4.工艺设备
序号
工序
辅助
处理液
时间
温度
1
HF
鼓泡
HF酸
120
RT
2
溢流漂洗
鼓泡
DI
120
RT
3
溢流漂洗
鼓泡
DI
RT
4
溢流漂洗
鼓泡
DI
RT
5.异常现象：
清洗好的硅片表面有水珠或水成股流下，硅片表面疏水性不好。
}分析原因：
HF的浓度太低，清洗的时间过短或过长。
}解决办法：
及时补充或更换HF；若HF足量该调节HF中的清洗时间，时间过长或过短都会影响硅片表面状态，最终影响电池的性能。
6.注意事项
}及时甩干，避免水纹印
}注意硅片正反方向不要插错。
7.工艺要求检查硅片表面的情况，是否染色、有水纹印等;
操作规程
1.1将刻蚀好的硅片插入花篮
1.2开启去PSG机总电源，开启各单元控制器电源（附图1），开启甩干机电源，并让甩干机无篮运行一次
1.3开启1#、2#、3#、4#槽加水开关：
1#槽注水至半槽水位关闭进水阀，2#槽注水至溢流口关闭进水阀，3#、4#槽注水至副槽水位到达溢流口处关闭进水阀。
1.4戴好护目镜，3M口罩，防酸手套（附图2），在1#加入规定量的HF，然后再开启进水阀，注水至水位离溢流口5cm处关闭进水阀，并手动开启鼓泡，3～5分钟后关闭鼓泡开关。
1.5将去PSG机器开启自动运行状态。
1.6在上料台上先放上一个母篮，按下“上料确认”，第二个母篮开始既可投入待去PSG的片子进行自动操作。
（附图3）
1.7待下料蜂鸣响后，即刻将母篮从下料台上抬出放于推车上。
1.8甩干机操作：
首先按“开门”按钮，等到门完全打开后，将花篮有挡板的一面朝上，依次放入六个槽内，之后双手分别同时按住2个“关门”按钮。
等到门完全关闭后，再按“启动”按钮。
甩干结束后机器自动发出提示音，此时可以按“开门”按钮，然后取片。
外表不符合要求的重复再洗。
（附图4）
1.9做好各项记录，将生产报表和工艺流程卡放入传递窗。
1.10生产结束后，停止自动运行，调到手动状态，将各槽液体排放干净，并做好6S工作。
2.注意事项
6.1使用劳防用品前，要认真检查，确认完好、可靠、有效，严防误用，或使用不符合安全要求的护具，禁止违章使用或擅自代用。
进入生产岗位，必须按规定穿戴劳动防护用品，并正确使用劳动防护用品；防毒面具使用前需仔细检查是否有效，并按国家标准，定期更换滤毒盒；
6.2注意甩干机操作，若未满8篮进行甩干，需对称放置花篮；
6.3从去磷硅机器中取出的硅片应立即放入甩干机中甩干，不可暴露在空气中；
6.4HF都具有强腐蚀性、强刺激性、可致人体灼伤。
操作时注意先加水后加酸。
操作人员需佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。
紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器；
6.5HF的注意事项及应急处理详见相应的MSDS。
7.应急处理
7.1停电、水、气
7.1.1应立即停止向设备输入硅片，待恢复供电、水、气后，按照操作规程操作。
会同工艺员讨论在线生产硅片处理方案。
化学品安全技术说明书
氢氟酸
第一部分：
化学品名称
【中文名称】：
氢氟酸
【英文名称】hydrofluoricacid
【分子式】：
HF
【分子量】：
20.01
第二部分：
成分/组成信息
【含量】：
高55%;低40%
【CASNo.】：
7664-39-3
第三部分：
危险性概述
【健康危害】：
对皮肤有强烈的腐蚀作用。
灼伤初期皮肤潮红、干燥。
创面苍白，坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。
深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。
本品灼伤疼痛剧烈。
眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。
接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。
慢性影响：
眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。
可有牙齿酸蚀症。
骨骼Ｘ线异常与工业性氟病少见。
【燃爆危险】：
本品不燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。
第四部分：
急救措施
【皮肤接触】：
立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。
就医。
【眼睛接触】：
立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。
就医。
【吸入】：
迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
就医。
【食入】：
用水漱口，给饮牛奶或蛋清。
就医。
第五部分：
消防措施
【危险特性】：
本品不燃，但能与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。
遇Ｈ发泡剂立即燃烧。
腐蚀性极强。
【有害燃烧产物】氟化氢。
【灭火方法】：
灭火剂：
雾状水、泡沫。
第六部分：
泄露应急处理
【应急处理】：
迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。
建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防酸碱工作服。
不要直接接触泄漏物。
尽可能切断泄漏源。
小量泄漏：
用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。
也可以用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。
大量泄漏：
构筑围堤或挖坑收容。
用泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。
第七部分：
操作处置与储存
【操作注意事项】：
密闭操作，注意通风。
操作尽可能机械化、自动化。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。
防止蒸气泄漏到工作场所空气中。
避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。
搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。
配备泄漏应急处理设备。
倒空的容器可能残留有害物。
【储存注意事项】：
储存于阴凉、通风的库房。
远离火种、热源。
库温不超过30℃，相对湿度不超过85％。
保持容器密封。
应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混储。
储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
第八部分：
接触控制/个体防护
【监测方法】：
离子选择性电极法；氟试剂－镧盐比色法
【工程控制】：
密闭操作，注意通风。
尽可能机械化、自动化。
提供安全淋浴和洗眼设备。
【呼吸系统防护】：
可能接触其烟雾时，佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）或空气呼吸器。
紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器。
【眼睛防护】：
呼吸系统防护中已作防护。
【身体防护】：
穿橡胶耐酸碱服。
【手防护】：
戴橡胶耐酸碱手套。
【其他防护】：
工作现场禁止吸烟、进食和饮水。
工作完毕，淋浴更衣。
单独存放被毒物污染的衣服，洗后备用。
保持良好的卫生习惯。
第九部分：
理化特性
【主要成分】：
含量:
高浓度55.0％；低浓度40％。
【外观与性状】：
无色透明有刺激性臭味的液体。
商品为40%的水溶液。
【沸点（℃）】：
120（35.3%）
【熔点（℃）】：
-83.1（纯）
【相对密度（水=1）】：
1.26（75%）
【相对蒸气密度（空气=1）】：
1.27
【溶解性】：
与水混溶。
【主要用途】：
用作分析试剂、高纯氟化物的制备、玻璃蚀刻及电镀表面处理等。
其他一些特殊理化性质
第十部分：
稳定性和反应性
【禁配物】：
强碱、活性金属粉末、玻璃制品。
【应避免接触的条件】：
【聚合危害】：
【分解产物】：
第十一部分：
毒理学资料
第十二部分：
生态学资料
第十三部分：
废弃处置
【废弃处置方法】：
用过量石灰水中和，析出的沉淀填埋处理或回收利用，上清液稀释后排入废水系统。
第十四部分：
运输信息
【包装方法】：
装入铅桶或特殊塑料容器内，再装入木箱中。
空隙用不燃材料填充妥实；装入塑料瓶，特种电木、橡胶或铅容器，严封后再装入坚固木箱中。
木箱内用不燃材料衬垫，每箱净重不超过20公斤，3～5公斤包装每箱限装4瓶。
第十五部分：
法规信息
【法规信息】：
化学危险物品安全管理条例（1987年2月17日国务院发布），化学危险物品安全管理条例实施细则（化劳发[1992]677号），工作场所安全使用化学品规定（[1996]劳部发423号）等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志（GB13690-92）将该物质划为第8.1类酸性腐蚀品。
升级会员 