ESD管理规则1.docx

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ESD管理规则1

福建捷联电子有限公司

液晶模组事业部

文件编号

版本

质量体系第三层文件

QI-BLU-

00

主题：

ESD管理规则

编制部门:

技术部　　　分发号码:

发布日期:

2006年11月30日文件管制:

起草者:

林宏勇日期:

06年11月30日

审查:

日期:

年月日

核准:

日期:

年月日

分发部门

RD

DIY

BL5

QA

PC

GA

CS

PE

文件更改记录

本程序根据实际需要作如下更改,已经相关部门会签并呈报核准

[BLU檔管制申请单]由总务课保存。

序次

条款页次

修改内容纪要

新版序

核准

更改日期

更改

单号

1

全版更新

00

黄国荣

2006-11-28

1.目的:

建立一套全面的静电放电控制系统，防止ESD敏感元器件在测试、存储、制造、转运、维修过程中因静电放电而损坏，保证产品品质，减少公司损失，降低生产成本。

以保护厂内的人员、产品、设备等。

2.范围:

ESD敏感元器件在测试、存储、制造、转运、维修过程中所处的区域。

3.定义:

3.1静电electrostatics：

物体表面过剩或不足的静止电荷。

3.2静电放电electrostaticdischarge（ESD）：

静电放电指两个具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电场感应引起的两物体间的静电电荷的转移。

3.3静电敏感度electrostaticsusceptivity：

元器件所能承受的静电放电电压值。

3.4静电敏感器staticsensitivitydevice（SSD）：

对静电放电敏感的器件。

3.5ESD敏感材料：

指对ESD的承受能力低，在日常操作、存储、传递和测试过程中容易因静电放电引起损伤的器件称为静电敏感材料。

包括IC、PCB及加工组件。

3.6泄放leakage：

将静电电荷安全传导到地。

3.6中和neutralization：

利用导性电荷使静电消失。

3.7防静电材料：

包括静电导电材料（表面电阻值小于10e5Ω），静电耗散材料（表面电阻值大于或等于10e5Ω但小于10e12Ω）。

静电导体electrostaticconductor：

表面电阻在10e5Ω～10e8Ω范围内的物体。

3.8防静电接地：

通过连接至大地的导体而将防静电材料上的静电导走，分为硬接地与软接地。

所谓“硬接地”是指通过导体接地，该导体是电压测试中的零点；“软接地”指通过限流电阻接地，若偶尔接触到电源，可将通过人体的电流限制在一个安全的范围内。

3.9ESD安全工作站：

指符合静电控制标准有利于静电敏感材料进行搬运、操作、测试、的站别称为静电安全工作站。

3.10ESD防护工作区：

ESD防护工作区是由各种ESD设施、器材及有明确定义的区域界限形成的工作场地。

能抑制静电荷的积累和静电压的产生，并能安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷，原则上要求区域内产生的静电压小于100V。

如：

LCM线。

3.11第三条导线交流设备接地：

指交流设备动力系统接地，除零线和火线外的接地导线。

3.12静电敏感区等级：

根据公司实际情况，并参照国标GJB1469－93附件A划分。

一级防静电区：

ESD防护重要区域，即LCM线、老化房

二级防静电区：

ESD防护一般区域，B/L线、灯管加工等

三级防静电区：

非静电敏感元件作业站，无需防静电，但需做好接地安全工作。

3.13接地电阻测量仪（ZC29B）：

测量接地系统阻抗。

3.14钳式接地电阻测试仪（ETCR2000）：

利用欧姆定理测量接地回路电阻值。

3.15带电平面监视仪（SSDH0601）：

测量静电消除器的除静电效果和静电水平。

3.16防静电手环测试仪：

检测防静电手腕带的接地阻抗是否在规格内。

3.17静电手环监控仪：

安装在设备上实时监控人员及静电手环的接地状况之仪器。

3.18静电量测仪（STATIRON-DZ3）：

实时测量被测物体表面的静电水平。

3.19表面阻抗测试仪：

测试与产品接触的物品表面阻抗。

3.20现场单位：

BM-5、IQC、OQC、IPQC、RMA。

3.21ESD工程师：

具有专业的技术知识，且通过国家（地区）防静电委员会的培训，取得合格证书，负责公司ESD控制执行的人员。

4.权责:

技术课主任负责审核防静电管理规则。

工程部经理负责核准本规则的实施。

4.1【ESD小组】：

由各相关单位成员组成，负责统筹全厂ESD管理工作的规划、稽核和系统完善、接地检查等；

4.2【ESD工程师】：

负责项目推展规划、会议的召开。

其中包括教育训练教材、需求等规划的提出；SPC管制项目提出；ESD相关资料的收集；ESD管理规范的系统制订；各制程ESD的风险评估分析；

4.3【工务组】：

防静电地线、线体地线；线体接地、设备接地、工（治）具接地的铺设维护；定期对设备、工作桌和系统接地测试，为ESD小组核心协助单位；

4.4【仪校组】：

ESD量测仪器设备的校验和MSA分析。

4.5【品保部门】：

负责给予ESD管理项目推展质量系统面的支持；ESD管理项目SPC管制；相关ESD规则执行状况之稽核。

（各种材料的允收标准不是QE来制定的）

4.6【品保稽核员】：

负责稽核、抽测生产线仪器、仪表接地与生产线防静电状况并记录；并监督本规则的执行。

（删除该行，IPQC只负责相关ESD规则执行状况之稽核）

4.7【总务课培训组】：

负责教育训练课程计划、实施及记录。

4.8【RD材料组】：

负责防静电材料的防静电性能的验收及认证。

4.9【现场单位】：

负责设备、人员的点检和异常回馈。

5.作业流程:

5.1ESD管理作业流程。

流程

权责单位

相关说明

相关表单

设备系统接地/设备ESD防护设施

工程/现场单位

设备验收单

设备验收Checklist

设备外壳接地/工作桌接地

工务/现场单位

《设备治具接地电阻测试SOP》

《接地电阻测试记录表》

人员ESD防护接地

工务/现场单位

《设备治具接地电阻测试SOP》

《静电手环点检表》《静电消除器点检表》

设备/产品ESD防护

工务/现场单位

《设备治具接地电阻测试SOP》《表面阻抗测试SOP》

静电消除器效果确认记录表/静电消除器点检表/通箱表面阻抗值点检表

ESD防护SPC管制

品保

SPC制定

异常反馈、处理、确认

工务/工程/品保/现场单位

《设备治具接地电阻测试SOP》《表面阻抗测试SOP》

《ESD异常处理表》

5.2ESD推动框架

人：

ESD管理初级、高级培训，以增强ESD防护意识和技能。

机：

ESD防护功能必须实施在设备设计、制作、使用中。

料：

使用之材料必须符合静电防护标准。

法：

制订有效的ESD防护作业指导书，SPC管制。

环：

厂房设计、施工中ESD防护系统（设备、人员ESD接地系统、抗静电地板等）

5.3ESD组织架构：

6.防静电标准：

6.1防静电操作标准：

6.1.1静电地线与线体地线、防雷地线、工频电源中线、地线要分开拉设，其接地电阻值≤4Ω。

（电子元器件制造防静电技术要求SJ/T10630-19966.2.6A）

6.1.2保护区内的线体、仪器、设备、工具应接地，其接地电阻值≤4Ω。

6.1.3静电手环、防静电台垫、防静电地垫均应通过限流电阻接到防静电地线，限流电阻值为1MΩ～10MΩ。

（电子元器件制造防静电技术要求SJ/T10630-19966.2.6）

6.1.4防静电台垫的表面电阻值为10e6Ω～10e9Ω。

（中国航天工业行业标准QJ2846-963.7.2.3）

6.1.5防静电元件盒和防静电周转箱的表面电阻值为10e6Ω～10e11Ω。

6.1.6防静电珍珠纸的表面电阻值为10e6Ω～10e11Ω。

6.1.7防静电鞋的表面电阻值为10e6Ω～10e8Ω。

6.1.8防静电手指套表面电阻10e6Ω～10e11Ω。

6.1.9防静电手套表面电阻10e6Ω～10e11Ω。

6.1.10防静电地板的表面电阻值为10e6Ω～10e9Ω。

6.1.11防静电袋的表面电阻值为10e6Ω～10e11Ω。

6.1.12防静电服的表面电阻值小于10e9Ω（参照静电防护技术手册4.8.3）。

6.1.13离子风机的离子平衡度在±50V之间为正常。

6.2防静电操作要求：

6.2.1全部操作过程应在ESD防护工作区或ESD安全工作站内进行，工序间周转ESD器件与组件时，应放置于防静电保护袋或周转箱内。

6.2.2ESD工作区内的操作人员应接受ESD控制和保护知识的培训，上班前穿戴好静电防护用品，静电手环及防静电鞋须进行测试并记录测试结果，测试合格方可作业。

6.2.3流动人员在非走动情况下拿零部件，要佩戴有线静电手环，且静电手环要接地；在走动情况下拿零部件，零部件要放在防静电珍珠纸上或防静电托盘内，手持珍珠纸或托盘。

6.2.4防静电安全工作台铺防静电台垫，防静电台垫通过泄漏电阻接在静电地线上。

6.2.5防静电材料要接地良好，且采取并联接地方式，不得相互串接。

6.2.6厂内所有推车、置物架要安装触地铁链。

6.2.7ESD工作区内的仪器、设备、工具均应接地良好（使用三芯电源线或通过外接地线接地）。

6.2.8防静电工作区1m距离内不得有易产生静电的材料大量堆放。

6.2.9静电手环、静电鞋的测试仪器须符合《仪器校验程序》的规定。

6.2.10一级防静电区要求：

一级防静电区为公司重要的静电防护区域，静电防护应全面有效。

区域内的工作人员佩戴有线静电手环，穿防静电衣服及防静电鞋（根据实际情况确定是否使用防静电衣或防静电鞋），防静电工作台按国标QJ2177－91《防静电安全工作台技术要求》建设；工作区域贴警示标签来提醒工作人员注意防静电，无静电防护人员不得入内；区域内的仪器、工具、设备须接地良好，加工元件及加工组件周转、暂存、发料必须用防静电材料包装。

6.2.11二级防静电区要求：

区域内的工作人员佩戴有线静电手环，仪器、工具、设备均要接地良好；半导体零件及加工组件在周转、存放机时须用防静电材料包装。

6.2.12在操作静电敏感元件时，作业人员要佩戴有线静电手环作业。

6.2.13所有碰触基座板的作业标识、治具等要用防静电材料制作或用防静电材料封装。

6.3防静电标志

6.3.1防静电周转箱、防静电托盘贴有如下图所示或类似的防静电警示标识。

6.3.2一级防静电区内贴有静电警示标识。

6.3.3内装有静电敏感材料的包装外应贴（印）防静电警示标识，必须在ESD防护区或ESD安全工作站内，才能打开取出元件。

6.4包装

6.4.1所有的ESD敏感材料（包括维修后更换的不良品），及其装配品、成品必须放在防静电周转箱、防静电包装袋中或用其它防静电材料包装。

6.4.2易产生静电的材料不得与ESD敏感材料、及其装配品、成品一同置于防静电保护包装内。

6.4.3供应商须使用我司认可的防静电包装材料，否则须提供防静电专业检测机构的检测报告证明该材料能有效防止ESD危害。

若供应商无法提供相应证明材料，则原则上对该元件予以拒收

7.防静电系统培训：

7.1ESD培训计划：

7.1.1ESD管理初级：

（1）受训对象：

技术员（含）以上（生产、工程、品保、研发、工务、总务）及ESD小组成员。

（2）课程概要：

静电基本概念、静电防护、静电量测仪器介绍等。

7.1.2ESD管理高级：

（1）受训对象：

助工/专（含）以上（生产、工程、品保、研发、工务）以及ESD小组成员。

（2）课程概要：

静电管理方案、静电危害原因分析、静电防护、静电检测及标准等。

7.2上岗培训管理：

7.2.1对于所有操作、装配ESD敏感材料、产品或是进入ESD控制区的人员均应接受控制ESD危害方面的培训。

ESD培训应针对所有人员以减少工作改变或调整所造成的延误。

7.2.2每个操作ESD敏感材料、组件、或其成品的人员均需在上岗证上注明ESD培训项目。

否则不得进行作业。

7.2.3对于临时新进操作ESD敏感材料的人员，主管须对其进行最低的ESD控制要求培训（如示范及讲解），获得此培训的人员在2周内必须在上岗证上注明ESD培训项目。

7.2.4上岗证上无注明ESD培训项目、培训过期的人员不得操作静电敏感材料。

7.3培训内容、时间及考核要求。

7.3.1上岗培训内容应包括：

现场作业注意事项、静电产生原理和静电危害、静电敏感元件分类、主要静电发生材料与静电防护材料（工具）、静电控制措施、标识等。

7.3.2M5培训组负责对作业员进行培训、考核；制造部工程师负责对生产线领班进行培训。

7.3.3培训每年进行一次，但最长间隔时间不超过16个月。

7.3.4培训考核成绩不得低于80分，不合格者必须重新培训考核，以使其达到要求在员工培训考核合格后的一周内由各单位将培训记录、考核成绩表交至总务课课培训组存档，并由M5培训组在员工上岗证上注明培训内容和盖章确认。

7.4人员静电防护：

7.4.1人员接地要求：

（1）所有接触ESD敏感物的人员应与接地点或专用接地点相连接。

（2）当第三条交流设备接地导线不能用到或不适用时，工作人员应该通过腕带或其它接地系统与静电放电敏感对象的一个导电性组件相连，以保证所有组件在同样电位。

7.4.2静电保护区（EPA）管理规范：

（1）EPA范围：

涵盖搬运、处理ESD零组件的地区及需要接地的所有导电/静电消散材料（含人员）等区域，包含：

进料检验区、仓库、生产线、测试及检验区、实验室、洁净室。

（2）所有LCM及其部件的操作都必须在静电安全工作台上进行。

（3）进入防静电工作区的所有电子元器件都被视为SSD对待。

（4）储存、运输LCM及其部件时，应妥善进行防静电包装。

（5）拒绝接受未包装在静电防护容器里的SSD。

（6）重要製稱工位上应配备静电手环监控器，以随时监视腕带是否处于正常状态。

如组立制程。

（7）拿取LCM及cell时，应避免接触其引线，如IC引脚、PanelITO引脚、PWB和组件。

（8）操作时应尽量减少对panel及其部件的接触次数。

（9）为了更有效的防护ESD对产品的损伤，设备、工作站等需要配备静电消除器。

（10）生产过程中，相关设备和工作站上静电消除器必须处于开启状态。

7.4.3无尘室为防静电工作区，为了能清晰可见的告知同仁，需要在同仁进入无尘室的入口张贴防静电标志。

（1）防静电工作区域标志为黄黑相间或黄白相间的斜条纹，线条宽度为7~10cm（见

图19）。

图19

（2）防静电包装应有防静电标志（图20，21），且标志张贴在工作人员进入保护区域的入口之前，并能清晰可见，且不易受到磨损的地方。

如：

无尘室入口。

8.防静电、接地检查与记录

8.1仪器保管

8.1.1所有防静电检测设备由ESD工程师保管。

8.1.2现场单位要使用检测设备时向ESD工程师借用并妥善保管，按时归还。

8.2检测频度：

7.4.3防静电工作区ESD防护测试周期：

（1）台式离子产生器。

a）由现场单位做摆放位置、外观清洁点检，周期1次/日；

b）由现场单位负责除静电效果检测，周期1次/月；

c）由现场单位负责离子产生器放电针清洁，周期1次/日，清洁方式：

用每台设备的放电针轻轻来回刷过即可，然后用无尘布把离子产生器表面其他部位擦拭干净；

（3）运输辅助工具托盘、TRAY盘、通箱等的防静电测试。

a）托盘、面板Tray盘、模组通箱抗静电阻抗值测量由生产实施抽检作业，周期：

通箱在各制程抽检70PCS/次*月，其他则抽检20PCS/次*月。

（4）IPQC定期點檢各種設備及材料是否符合標準，周期：

2次/月。

（IPQC只负责监督）

6.1.1静电地线与线体地线、防雷地线、工频电源中线、地线要分开拉设，其接地电阻值≤4Ω。

（电子元器件制造防静电技术要求SJ/T10630-19966.2.6A）

6.1.2保护区内的线体、仪器、设备、工具应接地，其接地电阻值≤4Ω。

6.1.3静电手环、防静电台垫、防静电地垫均应通过限流电阻接到防静电地线，限流电阻值为1MΩ～10MΩ。

（电子元器件制造防静电技术要求SJ/T10630-19966.2.6）

6.1.4防静电台垫的表面电阻值为10e6Ω～10e9Ω。

（中国航天工业行业标准QJ2846-963.7.2.3）

6.1.5防静电元件盒和防静电周转箱的表面电阻值为10e6Ω～10e11Ω。

6.1.6防静电珍珠纸的表面电阻值为10e6Ω～10e11Ω。

6.1.7防静电鞋的表面电阻值为10e6Ω～10e8Ω。

6.1.8防静电手指套表面电阻10e6Ω～10e11Ω。

6.1.9防静电手套表面电阻10e6Ω～10e11Ω。

6.1.10防静电地板的表面电阻值为10e6Ω～10e9Ω。

6.1.11防静电袋的表面电阻值为10e6Ω～10e11Ω。

6.1.12防静电服的表面电阻值小于10e9Ω（参照静电防护技术手册4.8.3）。

6.1.13离子风机的离子平衡度在±50V之间为正常。

所有防静电测试项目的测试方法与测试仪器必须列入该项目的作业指导书。

8.2仪器接地、及防静电事项由PE防静电、接地专员每日进行一次抽查，发现不良立即维修，并记录在《防静电、接地检查及专案记录》表中。

8.3生产部各单位安排人员每班测试本线相关的防静电、接地状况，并作好记录。

如有不良，立即维修或知会相关单位处理。

8.4上班前所有当班使用的静电手环、防静电鞋由使用人员进行测试并将测试结果记录在《静电手环测试记录表》中，如有不良知会领班进行更换，并查找原因，给予对策。

8.6产线静电消除器由设备课每季度保养一次，并记录在《静电消除器保养记录卡》中。

8.6设备工程师每日检查防静电接地监控仪的运行状况并记录，每周检查生产线线体地线与防静电地线并记录。

8.7QA（QC）稽核员对生产部接地状况进行不定时Audit并反馈相关部门。

7.5异常处理流程：

测试中发现接地阻值大于标准阻值时处理如下：

N

N

Y

Y

Y

做出相应处理

N

Y

N

Y

Y

N

注：

工务同仁在检测异常时，无法判定异常点时，必须寻找另一个正常接地点重新将被测物接地，同时需上报单位主管，或联系厂商对策异常点。

9.参考文件:

9.1业界标准ANSI/ESDS20.20；

9.2国家标准SJ/T10633-94；

9.3静电手环/鞋点检作业sop；

9.4表面阻抗测试作业sop；

9.5静电消除器作业sop；

9.6接地电阻测试作业sop；

9.7静电消除其日常点检表。

10.使用表单:

10.1静电手环测试记录表（QR-BLU-IE-140）；

10.2静电鞋测试记录表（QR-BLU-IE-141）；

10.3異常處理履歷表（QR-BLU-IE-142）；

10.4表面阻抗测试记录表（QR-BLU-IE-143）；

10.6设备治具接地电阻测试记录表（QR-BLU-IE-144）；

10.6静电消除器效果确认记录表（QR-BLU-IE-146）；

10.6静电消除器日常点检表（QR-BLU-IE-146）；

10.7静电手环监视器点检表

4.1【ESD小组】：

由各相关单位成员组成，负责统筹全厂ESD管理工作的规划、执行、培训、稽

核和系统完善、接地检查等。

负责ESD管理系统的失效分析。

4.2【ESD工程师】：

负责项目推展规划、会议的召开。

其中包括教育训练教材、需求等规划的提出。

SPC管制项目提出。

ESD相关资料的收集。

ESD管理规范的系统制订。

4.3【工务组】：

防静电地线、线体地线、线体接地、料盒接地、设备接地、工（治）具接地的铺设维护；定期对设备、工作桌和系统接地测试，为ESD小组核心协助单位；

4.4【仪校组】：

ESD量测仪器设备的校验和MSA分析。

4.5【品保部门】：

负责给予ESD管理项目推展质量系统面的支持；ESD管理项目SPC管制、QPA稽核；协力厂的ESD推展及管控。

（删除协力厂的ESD推展及管控。

）

4.6【品保稽核员】：

负责稽核、抽测生产线仪器、仪表接地与生产线防静电状况并记录；并监督本规则的执行。

（删除该行，IPQC只负责相关ESD规则执行状况之稽核）

4.7【总务课培训组】：

负责教育训练课程计划、实施及记录。

4.8【RD材料组】：

负责防静电材料的防静电性能验收。

4.9【现场单位】：

负责ESD仪器、设备、人员的点检和异常回馈。