洁净室洁净度的测试方法.docx
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洁净室洁净度的测试方法
洁净室洁净度测定工艺
1范围
本工艺规定了（5～9级）洁净室中悬浮粒子的测试方法和就悬浮粒子而言的空气洁净度的评价。
本工艺适用于洁净室中悬浮粒子洁净度的监测和洁净度等级的验证。
本工艺不包括洁净度1～4级洁净系统的测试。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，其最新版本适用于本标准。
JGJ71洁净室施工及验收规范
GB50073洁净厂房设计规范
GB50243通风与空调工程施工质量验收规范
3术语
3.1洁净室cleanroom
对尘粒及微生物污染规定需进行环境控制的房间或区域。
其建筑结构、装备及其使用均具有减少对该区域内污染源的介入、产生和滞留的功能。
3.2粒子particle
一般尺寸为0.001~1000μm的固态和液态物质。
3.3洁净度cleanliness
洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。
3.4单向流unidirectionalairflow（曾称为层流laminarflow）
沿着平行流线，以一定流速向单一方向流动的气流。
3.5非单向流non-unidirectionalairflow（曾称为乱流）
具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的气流。
3.6t分布tdistribution
正态总体中的一种抽样分布，其分布函数为
总体平均值－样本平均值
t=————————————…………
（1）
标准误差
3.7置信度上限（UCL）upperconfidencelimit
从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度（此处为95%）计算得到的估计上限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上限为置信度上限。
3.8静态测试at-resttest
洁净室净化空气调节系统已处正常运行状态，工艺设备已安装，洁净室内没有生产人员的情况进行的测试。
工程施工质量竣工验收的测试为静态测试。
3.9动态测试operationaltest
洁净室已处正常生产状态下进行的测试。
4工艺过程方框图
图1工艺过程方框图
5测试方法
5.1方法提要
本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净室内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室的悬浮粒子洁净度等级。
5.2仪器
检测仪器的选用：
应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率，仪表应有有效的标准合格证书。
5.2.1光散射粒子计数器使用要点
使用仪器时应按照仪器说明书操作。
5.2.1.1仪器开机，预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。
5.2.1.2采样管必须干净，严禁渗漏。
5.2.1.3采样管的长度应根据仪器的允许长度。
除另有规定外，长度不得大天1.5m。
5.2.1.4计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。
5.2.1.5采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。
5.2.1.6必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定。
以保证测试数据的可靠性。
6测试规则
6.1测试条件
6.1.1送、回风系统，排风系统均能正常运转。
6.1.2送风量平衡
风管系统风量已经测试与平衡。
总风量及各送风口风量均满足设计要求。
6.1.3压差
空气洁净度不同的洁净室之间的压差满足设计要求，空气洁净度级别要求高的洁净室对相邻的空气洁净度级别低的洁净室一般要求呈相对正压。
6.1.4温度和湿度
洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～24℃，相对湿度控制在45%～60%之间为宜）。
6.1.5清洁工作
洁净室及全部风管系统清洁工作应完成且确认。
6.2测试状态
分静态测试和动态测试，测试报告中应标明测试时所采用的状态。
静态测试时，室内测试人员不得多于2人。
动态测试时，室内测试人员规定同静态。
6.3测试时间
6.3.1对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。
6.3.2对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。
6.4采样点的规定
6.4.1最低限度的采样点数NL（见表1）
表1最低限度的采样点数NL
测点数
NL
2
3
4
5
6
7
8
9
10
洁净区面积
A（㎡）
2.1~
6.0
6.1~
12.0
12.1~
20.0
20.1~
30.0
30.1~
42.0
42.1~
56.0
56.1~
72.0
72.1~
90.0
90.1~
110.0
注：
1在水平单向流时，面积A为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积。
2最低限度的采样点数NL=A0.5计算（四舍五入取整数）。
6.4.2采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（或距地平0.8m的水平面），或设计单位、业主特指的位置。
6.4.3采样点布置图列
洁净室采样点布置力求均匀，避免采样点在基本局部区域过于稀疏。
下列采样点图示可作参考。
注：
·为采样点。
6.5采样量的确定
（1）每次采样的最少采样量（见表2）
表2每次采样的最少采样量VS（L）
洁净度
等级
粒 径（μm）
0.1
0.2
0.3
0.5
1.0
5.0
5
2
2
2
6
24
680
6
2
2
2
2
2
68
7
—
—
—
2
2
7
8
—
—
—
2
2
2
9
—
—
—
2
2
2
（2）每次采样的最少采样时间为1min，采样量最少为2L。
（3）每个洁净室最少采样次数为3次。
当洁净室仅有一个采样点时，则在该点至少采样3次。
6.6检测采样的规定
6.6.1采样口处的气流速度应尽可能接近室内的设计气流速度。
6.6.2对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流采样管口宜向上。
6.6.3布置采样口时应避开回风口。
6.7测试人员的规定
室内的测定人员必须穿洁净工作服，且站立在采样口的下风侧。
7高效过滤器检漏测试
7.1适用范围
本条主要适用于5～6级洁净室内的高效过滤器。
7.2测试目的
验证高效过滤器及安装质量。
7.3使用仪表
同4.2条。
7.4测试方法
在高效过滤器下风侧距高效过滤器20～100mm处沿整个过滤器的表面、边框进行扫描，扫描速度取5～20mm/s。
对计数突然递增的部位进行定点检验，确认泄漏部位为过滤器本身的，应调换；泄漏点为边框处的，则进行重新安装或堵漏并进行复测，直至不泄漏。
8结果计算
悬浮粒子浓度的采样数据应按t分布或下述步骤作统计计算：
8.1采样点的平均粒子浓度
C1＋C2＋…＋CN
A=————————………………
（2）
N
式中：
A——某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3；
Ci——某一采样点的粒子浓度（i=1,2,…,N），粒/m3；
N——某一采样点上的采样次数，次。
8.2平均值的均值
A1＋A2＋…＋AL
M=—————————………………（3）
L
式中：
M——平均值的均值，即洁净室的平均粒子浓度，粒/m3；
Ai——某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2,…,L），粒/m3
L——某一洁净室内的总采样点数，个。
8.3标准误差
（A1－M）2＋（A2－N）2＋…＋（AL－N）20.5
SE=［———————————————————］…（4）
L（L－1）
式中：
SE——平均值均值的标准误差，粒/m3。
8.4置信度上限
UCL=M＋i×SE………………………（5）
式中：
UCL——平均值均值的95%置信度上限，粒/m3
i——95%置信度上限的i分布系数，见表3
表395%置信度上限的i分布系数
采样点数
L
2
3
4
5
6
7
8
9
>9
i
6.31
2.92
2.35
2.13
2.02
1.94
1.90
1.86
—
注：
当采样点数多于9点时，不需要计算UCL。
9结果评定
判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。
9.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，
即Ai≤级别界限。
级别界限见表4。
表4洁净度等级及悬浮粒子浓度限值
洁净度
等级
大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（pc/m3）
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1.0μm
5.0μm
5
100000
23700
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7
——
——
——
352000
83200
2930
8
——
——
——
3520000
832000
29300
9
——
——
——
35200000
8320000
293000
9.2全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信度上限必须低于或
等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。
附录A
（规范性附录）
净化空调系统测试报告
建设单位
施工单位
区域
系统名称
系统编号
检测依据
委托单编号
报告编号
施工技术员
房间编号
房间用途
洁净度（粒/m3）0.1μm
洁净度（粒/m3）0.2 μm
洁净度（粒/m3）0.3μm
洁净度（粒/m3）0.5μm
洁净度（粒/m3）1μm
洁净度（粒/m3）5μm
设计值
实测值
设计值
实测值
设计值
实测值
设计值
实测值
设计值
实测值
设计值
实测值
备注
建设单位或监理单位（章）
检测单位（章）
现场代表：
年月日
检测人员：
年月日
审核：
年月日
批准：
年月日
注：
“备注”一栏中应填入测试的人数
附录B
（规范性附录）
净化空调系统洁净度测试原始记录
建设单位
施工单位
区域
系统名称
系统编号
施工技术员
房间编号
房间用途
测点代号
升级会员 