多晶硅生产物料平衡技术附件中文.docx
《多晶硅生产物料平衡技术附件中文.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《多晶硅生产物料平衡技术附件中文.docx（17页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。
多晶硅生产物料平衡技术附件中文
技术附件目录
附件1．————————设计基础
附件2．————————工艺描绘
附件3．————————工艺要求
附件4．————————工作范围及交托进度
附件5．————————设计范围及主体设施
附件6．————————性能保证值
附件7．————————公用工程条件
附件8．————————性能查核
附件9．————————技术服务
-1-
附件1
设计基础
1.1复原尾气的总量及组份（3000t/a）
1.1.1按物料均衡计算：
序号
物质
T/a
T/h
Kmol/a
Kmol/h
Nm3/h
V%
1
H2
12231.36
1.644
6115.7
×10
3
822
18412
79.08%
2
SiHCl3
158678.09
21.3277
1171.1
×103
157.4
3539
15.20%
3
SiCl4
41814.29
5.6202
246.0
×103
33.06
740.5
3.18%
4
HCl
7015.3
0.9429
192.2
×103
25.83
578.67
2.48%
5
SiH2Cl2
462.77
0.0622
4.6×10
3
0.616
13.7
0.06%
共计
220201.81
29.597
7729.6×103
1038.906
23283.87
100.00%
1.1.2按物料均衡扩大
20％计算：
序号
物质
T/a
T/h
Kmol/a
Kmol/h
Nm3/h
V%
1
H2
14677.63
1.973
7338.8
×103
986.4
22094.4
79.08%
2
SiHCl3
190413.71
25.593
1405.3
×10
3
188.88
4246.8
15.20%
3
SiCl4
50177.15
6.744
295.2
×103
39.67
888.6
3.18%
4
HCl
8416.9
1.131
230.6
×103
31.00
694.4
2.48%
5
SiH2Cl2
555.32
0.0746
5.5×103
0.739
16.44
0.06%
共计
264240.71
35.5156
9275.4×103
1246.69
27940.64
100.00%
1.1.3复原尾气回收系统进口参数：
温度：
≤45℃
压力：
≥3kg/cm2（A）
-2-
1.2氢化尾气的总量及组份（3000t/a）
1.2.1按物料均衡计算
序号
物质
T/a
T/h
Kmol/a
Kmol/h
Nm3/h
V%
1
H2
8318
1.118
4159
×103
559
12522
70.6%
2
SiHCl3
35623
4.788
3
35.3
792
4.5%
263×10
3
SiCl4
204357
27.467
1202
×10
3
161.6
3619
20.4%
4
HCl
9631
1.294
3
35.3
792
4.5%
263×10
5SiH2Cl2
共计
257929
34.667
5887×10
3
％
791.217725100
1.2.2按物料均衡扩大
20％计算
序号
物质
T/a
T/h
Kmol/a
Kmol/h
Nm
3
/h
V%
1
H2
9981.6
1.342
4990.8×103
670.81
15026.1
70.6%
2
SiHCl3
42747.6
5.746
315.5×103
42.40
949.8
4.5%
3
SiCl4
245228.4
32.961
1442.5×103
193.89
4343.1
20.4%
4
HCl
11557.2
1.553
315.5×103
42.40
949.8
4.5%
5SiH2Cl2
共计
309514.8
41.602
7064.3×10
3
949.50
21268.8
100％
1.2.3氢化尾气回收系统进口参数：
温度：
≤45℃
压力：
≥3kg/cm2（A）
-3-
1.3合成尾气的总量及组份（3000t/a）
按物料均衡计算
序号
物质
T/a
kg/h
Kmol/a
Kmol/h
Nm3/h
V%
1
H2
516
69.35
258×103
34.68
776.77
48.69%
2
SiHCl3
29372
3947.85
216.8×10
3
29.14
652.63
41.08%
3
SiCl4
2876
386.56
16.9
×103
2.27
50.93
3.21%
4
HCl
772
103.76
21.2
×103
2.84
63.68
4.01%
5
SiH2Cl2
1580
212.37
15.6
×103
2.10
47.10
3.01%
共计
35116
4719.89
528.5
×103
71.03
1591.11
100.00%
1.3.2按物料均衡扩大
20％计算
序号
物质
T/a
kg/h
Kmol/a
Kmol/h
Nm3/h
V%
1
H2
619.2
83.23
309.6×103
41.61
932.13
48.69%
2
SiHCl3
35246.4
4737.42
260.1×103
34.96
783.16
41.08%
3
SiCl4
3451.2
463.87
20.3
×10
3
2.73
61.12
3.21%
4
HCl
926.4
124.52
25.4
×10
3
3.41
76.42
4.01%
5
SiH2Cl2
1896
254.84
18.8
×103
2.52
56.52
3.01%
共计
42139.2
5663.88
634.2×103
85.23
1909.35
100.00%
1.3.3合成尾气回收系统进口参数：
温度：
≤45℃
压力：
≥2.5kg/cm2（A）
-4-
附件2
工艺描述
尾气回收系统接收反响炉排出的尾气，并把它们分别成为氯硅烷混淆液、
HCL和H2。
从反响炉排出的热的尾气在管壳式换热器内冷却，将气态氯硅烷冷凝为氯硅烷液体。
节余的气体送入压缩机。
压缩气体冷却后进入HCL汲取塔。
在此处HCL气体被低温液态氯硅烷加压汲取。
（压缩机为2级来去式压缩机，设计压力可以知足将HCL和H2分别回收。
）
氯硅烷富液被送到HCL分析塔，在此HCL以液态形式与H2分别回收。
从HCL加压汲取塔出来的氢气被送到活性碳吸附柱，除掉节余的杂质。
干净的氢气将被回收用于复原炉中。
碳吸附柱经过热重生的方式工作。
-5-
附件3
工艺要求
3.1合成系统的尾气按3000t/a一套回收系统考虑；回收系统的氢压机按2台50%
考虑（2×50％），设一台备用机（50％）。
3.2氢化系统的尾气按1500t/a线一套回收系统考虑（即3000t/a氢化需两套回收系统）；每套回收系统的氢压机按2台50%考虑（2×50％），每套回收系统设一台备用机（50％）。
3.3复原系统的尾气按1500t/a线一套回收系统考虑（即3000t/a复原需两套回收系统）；每套回收系统的氢压机按3台33%考虑（3×33％），每套回收系统设一台备用机（33％）。
3.4复原和氢化的尾气回收系统（各两套回收系统）需考虑在一套出现问题的状况下，另一套可以办理有问题套系统对应的尾气（即考虑两套回收系统用管道互联）。
3.5每套回收系统均在系统前增设一个尾气的储罐；在系统后增设H2、HCl的储
罐，体积另议。
3.6
依据中国国内实质运转的经验，中方建议
CDI尾气回收系统中的
R22的蒸
发冷凝器采纳满液式构造。
3.7
依据中国国内实质运转的经验，中方建议CDI尾气回收系统中设置
3个活性
炭吸附柱。
3.8整个CDI尾气回收系统温度≤－20℃的部分采纳牌号316的不锈钢材质；＞
－20℃的部分采纳一般碳钢材质。
3.9中方建议在泵前面增强过滤，采纳2个过滤器并联的构造。
3.10中方建议在主要设施出口加过滤器。
3.11中方建议在重点设施处加装阀门，以便于维修。
-6-
附件4
工作范围及交托进度
4.1以下规定的日期为估计提交技术资料的时间。
CDI企业将尽可能提早一周交托技术资料。
CDI企业将经过电子邮件提交PDF版本的资料供买方审察。
终版技术资料将提交电子版和纸质版，包含全尺寸图纸。
进度付款要求的技术资料交托进度（合同奏效后）
工艺流程图（PFD图）
4周
第一版管线仪表流程图（P&ID图）
4周
压缩机规格
4周
冷冻机规格
4周
容器（设施）部署图纸和设计参数
8周
公用工程清单
8周
管道规格参数
8周
电力单线图
8周
第一版平面部署图
8周
泵数据表
14周
R22蒸发冷凝器
14周
换热器数据表
14周
换热器平面布局图
14周
终版平面部署图
14周
自动阀门数据表
20周
控制系统设计
10周
地基土建设计（收到中方反应资料后）
16周
构造设计（收到中方反应资料后）
16周
管道详尽设计（收到中方反应资料后）
16周
-7-
需准时提交以下其余技术资料，不受进度付款拘束
减压阀计算书
24周
减压阀数据表
24周
阀门清单
24周
仪表清单
28周
仪表数据表
28周
绝热规格参数
8周
电气原理图（闭路）
16周
吸附柱程序图表
16周
操作说明
28周
带设定值的I/O
数据表
28周
终版管线仪表流程图（P&ID图）
28周
不限于以上
4.2如出现文件迟交的状况，将处于每周补偿相应工程进度款0.2%的罚款，
最大限额为合同总价款的2.0%。
4.3中方提早90天通知CDI企业，CDI企业保证90天内将活性炭ChlorsorbRL-13运抵中国天津。
4.4ChlorsorbRL-13的供货条件
两方将经过传真最后约定ChlorsorbRL-13的供货条款和条件。
4.5全部压力容器、塔等设施由CDI企业供给设施参数，这些资料可以知足由
中国制造商转变并制造设施。
-8-
附件5
设计范围及主要设施
5.1设计范围
CDI企业依据合同规定，应供给的系统设计系指为了保证复原尾气
回收、氢化尾气回收和合成尾气回收系统可以独立工作的完好系统设计。
CDI企业应供给尾气回收系统下述主要设施的必需的和充足的工程
设计资料。
以下设施单是一套尾气回收系统的内容。
CDI企业保证系统配
置的完好性和独立性，并保证达到设计基础的要求。
买方将依据CDI企业供给的规格参数采买和安装全部设施。
尾气和重生气体压缩机组采买规格参数包含：
压缩机
电机
中间冷却器
后冷却器
脉冲除去装置
润滑油系统
冷冻机组采买规格参数包含：
容器：
HCL汲取塔
HCL分析塔
吸附柱
氯硅烷缓冲罐
压缩机汲取储罐
-9-
压缩机排放储罐
膨胀罐
回流罐
重生气体分别器
回收氢器过滤器
H2储罐
HCL储罐
尾气储罐
换热器（依据要求）
泵
氯硅烷泵
氯硅烷泵
热液泵
阀门
自动球阀数据表
控制阀数据表
释压阀数据表
自控
仪表数据表
吸附塔次序图表和逻辑图
吸附剂
CDI将供给吸附塔最先运转所需的吸附剂ChlorsorbRL-13。
不限于上述范围。
-10-
5.2说明
全部工程设计均采纳英文,采纳ASTM（美国资料实验协会）资料等级。
5.2.2.压力容器制造商一定具备中华人民共和国特别设施制造允许证。
可使用CDI企业指定资料同样的当地资料。
施工指导和开机指导不包含在合同总价内，但可在依据费率付费的状况下
供给有关服务。
-11-
附件6
性能保证值
每套CDI回收系统所回收的H2、HCL和氯硅烷都应知足下边的参数：
6.1H2
2
压力：
≥10kg/cm（A）
质量要求：
回收率≥98%
H2≥99.995%（V）
HCL≤0.005%（V）
氯硅烷≤0.001%（V）
露点≤－60℃
6.2HCL
压力：
≥7kg/cm2（A）
温度：
≥20℃
质量要求：
回收率≥98%
H2≤5%（V）
氯硅烷≤0.5%（V）
6.3氯硅烷
压力：
≥5kg/cm2（A）
温度：
≤40℃
质量要求：
回收率≥99%
HCL≤1%（V）
-12-
附件7
公用工程条件
7.1蒸汽：
7.2循环水：
7.3电：
7.4N2
7.5H2：
7.6脱盐水：
7.7压缩空气及仪表空气：
7.8平面部署空间要求：
7.9“三废”办理量及办理方法：
7.10冷冻盐水：
-13-
附件8
性能考核
8.1性能查核
8.1.1回收氢气、HCL和氯硅烷的纯度一定达到规定的值。
CDI企业将建议
工艺改良和/或设施的改换，以达到保证纯度。
关于由CDI企业设计
并由买方供给的设施，假如一定改换设施才能知足工艺要求，CDI公
司将肩负所述设施费的25%，但最多不超出合同总金额的5%。
8.1.2假如回收的氢肚量少于98%，CDI企业将肩负氢气减少许的25%的花费，但最多不超出合同总金额的5%。
8.1.3假如回收的HCL量少于95%，CDI企业将肩负HCL减少许的25%的花费，但最多不超出合同总金额的5%。
8.1.4假如回收的氯硅烷量少于98%，CDI企业将肩负氯硅烷减少许的25%的花费，但最多不超出合同总金额的5%。
8.2查核说明
CDI企业仅对本合同项下由CDI企业供给设计的设施进行担保。
责任的限制。
无论任何原由，CDI企业肩负的最大责任不超出合同
总价的10%。
-14-
附件9
技术服务
9.1设计联系会
合同价钱包含两次设计联系会。
两方将约定设计联系会的时间。
第一次设计联系会在美国举行，两方对设计前的基础数据、设计参数及准备工作进行确认；第二次设计联系会在中国举行，两方对设计资料进行审察。
买卖两方各自肩负参加设计联系会的花费。
9.3安装指导
CDI企业有义务和责任派出人员对重要设施的安装工作进行现场指导。
服务
时间和服务花费由两方约定。
9.4调试指导
CDI企业有义务和责任派出人员对CDI回收系统的调试工作进行现场指导。
服务时间和服务花费由两方约定。
9.5人员培训
CDI企业有义务和责任派出人员对CDI回收系统的操作人员进行培训。
服
务时间和服务花费由两方约定。
-15-
升级会员 