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TFC图文教程

利用TFC求膜层的N与K图文教程

1.  首先利用晶控控制沉积单层膜,厚度约4-7个1/4个中心波长,,这里假设在K9基底上沉积单层ZnS薄膜,晶控显示厚度390nm;3

 

2.  然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率,测量范围最好宽些,这里测量400-1500nm,利用list选项导出所测量数据,并保存为TXT格式,这里命名ZnS.TXT,如图所示:

3.打开TFC,选择modify-materials

4.继续选择AddMaterial,填写材料名称,选择合适的N与K的拟合公式,这里选择Cauchy与Sellmeier公式,如果不合适,可试选别的公式,点OK结束。

5.试填写A0与B1等各系数,以后熟练可凭经验填写,点击FitData选项结束此步。

6.根据实际情况填写各选项,点击SetConstraints结束此步。

 

7.填写薄膜厚度与是否优化,点OK离开。

8.回到上界面,点击Computer进行计算

9.下面为计算结果图,如果感觉结果可接受点击Accept选项,如不接受,点击Reject选项返回重选拟合公式,修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。

10.结果处理:

感觉结果可接受点击Accept选项,出现下面界面,点击convert选项,填写材料名称,点击OK,即可保存所计算的N与K值,如下图所示。

完工。

怎么在Plot窗口中显示两条以上的曲线?

一个截至率光片的设计实例TFC的设计步骤

1.File-Newcoating

2.填写中心波长,入射角,基底参数:

2.

3.点击AnalysisParameters,填写计算波长范围:

3.

4.Modify-Stackformula填写膜系材料与公式:

5.点击GenerateLayers,退出窗口。

6.计算:

7.显示结果:

8.完工。

!

;t\lgMl 

附录:

4

a-JC" 

如显示反射率曲线,可设置SetplotParameters:

TFC优化过程图文说明

400nm-900nm    T≥99%

1.先进行基本设置xh,};TS(K 

2.

USv:

+.

3.然后设置膜系,这里材料选择通用的TiO2与Sio2._Bejh 

4.

5.3.设置优化目标,大家看明白,在那里设置。

discrete为离散的优化目标continuous为连续的优化目标,一般选择离散目标优化D6fry\ 

6.

7.4.选择优化方法-{n2^vvF 

8.

9.

10.5.优化计算Z]OXitt7

11.

12.

13.

14.6.显示结果xgeDfpF' 

15.

16. 问:

我听说层数多的膜要用透射监控,层数少的膜要用反射监控,不知道为什么?

ii:

hE= 

  我该如何把计算出来的透射光控曲线运用到实际生产当中去?

就是说如何让镀膜机按照这个曲线进行光控镀膜,我这边用北仪机(镀不了很多层的膜),optorun1300镀膜机(可以镀比较复杂的膜)~CB6+t> 

  还有一个就是如何找到机台的光控Tooling,我是这样理解的,不知道对不对:

kFG>Km(y} 

根据计算出来的理论光控曲线进行镀膜,镀出来陪镀片拿去测出的光谱曲线,把光谱曲线代入TFC,与设计出来的理论指标曲线放在一起看看,看看差异在哪里,设置膜料TIO2和SIO2分别为组1和组2,再分别优化组1和组2,$LF 

  这样就可以判定是哪几层多镀了还是少镀了,再把两个物理厚度相除一下,就得出了该机台的光控Tooling,再怎么把光控Tooling代入,来修正光控曲线呢?

17.答:

反射与透射监控与层数关系不是很大吧,只要你机器比较片足够多,这个我不太懂,计算Tooling值有很多方法,可以利用光谱曲线计算实际膜厚,或着直接测量膜厚,如椭偏仪,与理论厚度相比即是Tooling值,

18. 根据结果我算出透射光控曲线

19.

20.透射光控曲线参数设置

21.

22.

23.

24.反射光控曲线怎么会这样呢?

25.

26.

27.

28.

29.怎样才能把多个设计曲线画在一张图上?

30.

31.

32.

在TFC设计中,不显示颜色,啥回事?

比如基底是K9,当我优化出物理厚度,还有反射曲线时,我想看一下颜色,我在镀制中是否一样。

但看不到,讲必须中心波长在780以上。

33.

跟中心波长无关,只要在显示的波长中包含可见光波段(380-780)就行。

34.TFC添加材料步骤

35.在这里以添加ZnS为例:

=k`Cr0aPF 

首先你有ZnS参数,为TXT格式,如下图所示:

'K{Z{[s{ 

添加步骤如下所示。

36.

37.

38.

39.

40.

41.

五氧化二钽折射率怎么來?

你可以通过光谱仪测量计算,也可以由椭偏仪直接测量,然后保存为TXT格式,

怎样把光学厚度复制其它文档

可以保存TXT文档

怎样把由tfc设计的制程的膜厚转变成光量?

要善于利用tfc自带帮助功能rEj[XK 

为什么有时候,TFC的图形输出是角度与反射或透射率的形式呢.怎样才能把它转化为波长与反射率或透射率的形式?

/'1

y`j< 

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