集成中心试验室规范.docx

集成中心试验室规范.docx

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集成中心试验室规范

总则：

半导体集成技术中心超净工艺线为保持超净度，维持安全运行，使所有人员都能在一个良好的环境中工作，并保证工作环境持续有效，特制订本条例。

集成中心净化间管理条例：

私自带人进入集成中心工艺线

门禁卡转借他人

用别人的卡进入集成中心工艺线

私自带出集成中心化学药品或其他物品

以上条例一旦触犯将被停卡两月至半年，无卡人员推迟办卡两月至半年

集成中心净化间警告：

乱翻抽屉，乱拿他人物品

擅自带入实验装置，擅自在净化间配制洗液等化学药品摆放侵占公共场地而不通知中心管理人员

打碎，打翻化学试剂后借口试验忙推迟处理或擅自离开

用完热源之后不关闭电源，下班后用完水浴不倒水

工艺完毕之后不收拾个人用品，废液荒置，不回收废液

下班后离开，不关本房间的灯和电，不关使用过的轻，重腐蚀间的灯，不关闭大厅要求关闭的电闸

以上警告发生三次将被停卡两个月

1、安全逃生和工艺安全

1）进入净化间以后首先注意观察逃生通道的线路以及通往外界的各个安全门的位置以及应该如何打开；

2）进入清洗间工作时应该注意自来水的位置，并注意水流是否流畅，便于及时冲洗和清洗；穿戴防护服和防护眼镜进行清洗操作；

3）仔细检查自己的手套是否有破损，如有破损，立即更换；

4）轻腐蚀间只能进行有机化学处理，重腐蚀间只能进行无机化学处理，严禁混淆；

5）操作时，必须穿好防护服，戴好防护眼镜进行操作；

6）一旦无机试剂接触到皮肤，马上采用大量的水进行冲洗，同时告知工作人员，采取相应措施。

2、净化间人员进入净化间路线：

3、进入集成中心净化实验室：

Ø刷卡

Ø禁止代他人刷卡，每次进出一定要刷卡，以保证系统留有记录

Ø禁止借用他人的卡进入实验室

Ø开门之后禁止采用任何措施使大门不能及时、顺利关闭

Ø禁止私自带人进入净化间；带人参观需提前请示中心领导

Ø禁止擅自带出集成中心净化间药品及物品；禁止未经请示擅自带入实验装置，或配置药品侵占净化间场地

4、二楼一次换鞋处（室外鞋换成深色净化间用拖鞋）：

Ø坐在绒凳上脱下室外鞋拿好

Ø跨过绒凳只穿袜子进入换鞋区

Ø在公用鞋柜里找公用拖鞋（有鞋柜的人员应该在自己的鞋柜中拿取自己的拖鞋）

Ø把室外鞋放入公用鞋柜的下层

Ø从公用鞋柜的上层取出拖鞋穿好，并随手关好鞋柜门

Ø在更衣间门口拿好口罩和压发帽戴好

Ø对着镜子把头发全部抿紧压发帽，不要有发梢伸出压发帽外

注意事项：

1）禁止户外鞋放置在绒凳边上，应放入鞋柜或管理人员指定位置；

2）工作区拖鞋不能在绒凳以外的区域穿着；

3）如果室外鞋无法放入鞋柜，应放置在鞋柜顶部，或请工作人员帮助解决；

4）室外鞋和工作间拖鞋在鞋柜里的放置位置不能混淆；

5）不得随意穿着他人的拖鞋，未经允许也不得将鞋放入他人的鞋柜；

6）夏天不得穿着凉鞋，脱鞋或穿着其他实验室的拖鞋来本净化间工作；

7）离开净化间穿回户外鞋时，不要将脚首先踩在绒凳以外的地上再穿鞋，应将脚直接穿入室外鞋中，以避免再次进入净化工作区时将尘土带入；

8）口罩是一次性的，压发帽可以重复使用一到两周。

5、净化服穿戴

Ø分别进入男，女更衣间

Ø把外衣，随身用品放入一次更衣室（简称一更）的衣柜里锁好

Ø进入二次更衣室（简称二更）开始穿净化服

Ø分体净化服，首先戴好帽子，穿上衣压住帽子，再穿裤子压住上衣，穿袜套压住裤子，穿上拖鞋

Ø用力压好尼龙扣，不要绷开

Ø如果净化服号小，请让工作人员换大一号的净化服

Ø连体净化服，拿住衣袖不要拖在地上，先穿下身，再穿上身，戴好帽子，袜套压住裤子，穿上拖鞋

Ø对着镜子检查好穿戴，头发是否露出，尼龙扣是否扣好，压发帽不应露在净化帽之外之后才能离开更衣室

Ø如需帮助，工作人员的电话在净化间的进门处

Ø离开更衣室之前用钥匙锁好衣柜门，离开更衣室时注意随手关门

Ø连身净化服拉链，口罩，手套要全部穿戴好之后方可离开更衣室

注意事项：

1）禁止把食物、饮料以及其他任何食物带入净化间，也不允许将这些物品放入更衣柜；

2）使用衣柜以后一定要关好柜门；

3）更衣期间不要将净化服、净化袜子放置在地上；

4）如果在净化间内需要使用手机，更衣期间应将手机放在净化服口袋中；

5）在净化间内禁止拉开净化服拉链。

6、一楼二次换鞋处

Ø从二楼下楼到一楼

Ø有鞋柜的人员，把拖鞋放入自己鞋柜，之后关好柜门

Ø参观人员和没有鞋柜的人员从“已消毒净化鞋”桶里拿出白色净化鞋，

Ø走到换鞋绒凳前脱下拖鞋

Ø跨过换鞋绒凳穿着袜套进入“禁止穿鞋踩踏”区域，另一只手把拖鞋拿起，放入拖鞋鞋柜，参观人员和没有鞋柜的人员，应在陪同人员的指导下把拖鞋放在拖鞋鞋柜顶上

Ø拿好白色净化鞋，只穿袜套走过“禁止穿鞋踩踏”的水晶板区域，来到集成中心净化实验室的风淋门前

Ø有专用鞋柜的人员，从自己鞋柜里取出净化鞋，关好柜门

Ø把净化鞋放在水晶板区域以外，穿好

Ø刷卡打开风淋门，一次一人。

风淋时应转动身体

Ø参观可以一次两人

Ø进入风淋门面向实验室在风淋区的中心位置站好

Ø不要靠在风淋出风口上

Ø脚下多踩踏几下脚踏粘垫以清洁净化鞋的鞋底

Ø待风淋结束后方可推开通向实验室的风淋门出门；禁止在风淋结束之前打开风淋门进入实验室

Ø进入实验室，关好风淋门

注意事项：

1）禁止在跨过绒凳前直接脱鞋，将袜套踩在绒凳外地面；

2）禁止穿着拖鞋直接夸过绒凳将拖鞋踩在绒凳内的地面；

3）禁止把更换下来的拖鞋遗留在绒凳外不管。

7、净化间工作其他注意事项：

Ø除非搬运设备、大型仪器、化学药品、气瓶或逃生，否则不能打开一层和大厅之间的大门、二层通道与接待休息室之间的大门

Ø不能使用未经批准使用的设备仪器

Ø在净化间不能使用铅笔。

净化间使用的记录本不允许带出

Ø在净化间穿着自带净化服须征得管理人员同意

Ø未经同意不能随意连接电源或改变原有电源线路

Ø未经物品主人同意不能动用净化间的任何非公用物品和器具

Ø在净化间里有任何不清楚的问题应及时询问工作人员

Ø非工作时间需要判断自己是否是最后离开人员，各房间查看一遍，最后离开的人员要关闭相关的照明电源

Ø净化间不得随意拉开净化服的拉链取出私人物品，如手机等。

如有需要请离开净化间到走廊里再拉开净化服的拉链

8、使用化学药品的注意事项：

Ø不能使用未经批准使用的设备仪器

Ø化学药品从药品库房里拿出之前，用库房里的湿抹布擦干净灰尘。

运送到腐蚀间的过程中要双手拿好，一只手托住瓶底，严防滑脱打碎药品

Ø化药进入腐蚀间后，使用之前用去离子水冲一下，开盖之后，带着塞子再用去离子水冲一下，再开塞子使用

Ø开药品瓶的塞子一定要用公用镊子撬，禁止用手指抠，就算带着手套也严格禁止

Ø使用化药的过程中，严禁用手指接触瓶口和瓶塞

Ø把药品瓶拿到通风柜里倾倒药品，禁止在药品盒子里倾倒药品

Ø有机溶剂的塞子开塞之后可以不再使用，但是无机溶剂的塞子要塞好之后再盖瓶盖

Ø开完瓶盖的废弃物，如塑料封膜，塞子等要放在药品盒子里的烧杯里，禁止乱丢弃在通风柜及水池里

9、腐蚀间使用注意事项

Ø通风柜是公共场所，禁止个人用品长期摆放无人认领

Ø清洗烧杯，芯片时，注意水流不要太猛，不要把水溅进水浴的烧杯

Ø轻腐蚀间只能用来做有机处理；重腐蚀间只能用来做无机处理，不得混淆

Ø腐蚀过程中时间较长，也应有专人定时间看守，以免出现问题

Ø片子处理完毕后，及时冲洗所用器皿以及工作台面

Ø腐蚀间工作结束后，无论是台面上还是地面上均不能有腐蚀液的残留

Ø个人用品如盒子，烧杯，培养皿等用完回归原处，不得随处摆放

Ø芯片的包装纸塑料袋，拆封之后放入垃圾箱内，不得随处摆放

Ø一次性手套用过之后仍到垃圾箱，不得随处乱扔

Ø无尘纸擦过烧杯培养皿之后扔到垃圾箱，不得顺手丢弃在桌子上或净化台里

Ø重腐蚀间人走关灯

10、有机溶剂清洗芯片的程序：

Ø电磁炉的锅里接好水

Ø锅里水位的控制：

水位的高低要和烧杯的有机溶剂的水位相匹配，在稍低或一半的位置，水位太高容易在水开时候溅进烧杯，水位太低容易烧干

Ø打开电磁炉开关烧水

Ø取出烧杯用去离子水冲洗干净

Ø用氮气枪吹干

Ø把有机溶剂拿到通风柜里，倒进烧杯

Ø有机溶剂液位的控制：

倒入的有机溶剂要保证没过芯片之后再超过芯片所占液位的30%

✓如果是水平放置的芯片，有机溶剂的量要到达烧杯的1/3到1/2，视烧杯的大小而定

✓把有机溶剂放回药品箱里

Ø把烧杯放在锅里

Ø观察芯片的状态，水平放置的芯片，烧杯里芯片下面垫张无尘纸以防烧开的过程中芯片翻个或震碎

Ø观察芯片的沸腾的程度和有机溶剂液位的下降调整电磁炉的温度

Ø关闭电磁炉电源，取出烧杯，倒掉电磁炉锅里的水

Ø烧杯里的有机溶剂要适当降降温度再做下一步操作，不要让过热的有机溶剂干在芯片上，这样产生的印记很难清洗干净

Ø回收废液，把废液瓶拿到通风柜里，废液放凉后灌入废液瓶

Ø把废液瓶放回废液箱里

注意事项：

1）开启有机溶剂瓶塞时，一定要将瓶口对着通风柜里面；

2）有机溶剂不得放在电炉上直接加热；

3）回收的有机溶剂应该分类分装在不同的瓶子里，不能混淆；

4）严禁有机溶剂和无机溶剂混倒在同一容器中；

5）废弃的化学试剂瓶应及时打叉或写上“废液”标示，或作出其他处理，易于清晰地与待用试剂区别

11配腐蚀液的程序（以硫酸双氧水去离子水为例）：

Ø佩戴防酸手套、护目镜

Ø开启有机溶剂瓶塞时，一定要将瓶口对着通风柜里面；

Ø配强酸强碱腐蚀液必须在重腐蚀间进行

Ø取出烧杯和量筒用去离子水冲洗干净

Ø用氮气枪吹干

Ø从药品柜里拿出硫酸和双氧水

Ø拿药品之前把最外面的药品往里面推推，不要把最外面的药品带下来掉在地上

Ø首先用量筒量出所需的去离子水的容量倒人烧杯

Ø再量出所需的硫酸的容量倒入烧杯

Ø注意倒出硫酸时不要让硫酸瓶子的标签朝下，以防标签被腐蚀

Ø注意浓酸（硫酸、盐酸、硝酸、磷酸、HF）和强碱（KOH、NaOH）遇水均会放热，配置溶液时必须缓慢并且搅拌（张明亮）

Ø注意盛有硫酸和水的烧杯在进行水浴降温时，如果温度过高，烧杯有可能炸裂，建议小心从事，或用搅拌棒搅拌使烧杯内的溶液温度均匀下降

Ø硫酸瓶子盖好，去离子水调好水流，冲干净瓶子外面残留的硫酸

Ø把硫酸瓶子放回到药品柜里，要往里面放不要放在最外面

Ø用去离子水冲洗干净量筒待用

Ø待硫酸去离子水溶液冷却到室温时再用量筒量出所需的双氧水的容量倒入烧杯

Ø双氧水分解很快，热的溶液会让双氧水的比例很不稳定

Ø用搅拌棒把腐蚀液搅拌均匀，用培养皿盖好

Ø加入双氧水的溶液继续冷却在大的室温水浴容器里直到温度降到室温

Ø把双氧水的瓶子用黑塑料袋装好，放回药品柜里，往柜子里面放，不要放在最外面

Ø从水浴中取出烧杯静置10分钟之后方可使用

Ø使用的过程中，记录腐蚀液配好的时间，开始腐蚀的时间，以对比腐蚀速率的重复性和变化

Ø使用过程中，腐蚀液始终要用培养皿盖好

Ø腐蚀完成后应用去离子水冲洗台面，防止腐蚀液体残留在台面上或者其他地方

ØHF和氟化铵是极其危险的，包括已经稀释的溶液，使用前必须确认手套完好，在通风良好的台面上或橱窗内使用，操作完成后及时更换手套

Ø任何含氟的溶液必须用塑料器皿，不可用玻璃或石英器皿，用完后需要用大量水充分清洗

12、回收废液（有机溶剂，腐蚀液废液或清洗后的废液）的程序：

12.1废液是回收还是倒掉的原则

Ø氢氟酸废液要求回收

Ø其余所有酸类碱类废液少于100ml的倒掉，大于100ml的回收

12.2有机溶剂回收的程序：

Ø找到相应的空瓶（乙醇找乙醇瓶，丙酮找丙酮瓶，以此类推）

Ø用记号笔打叉

Ø如果是热的有机溶剂废液，等待有机溶剂冷却

Ø在通风柜里装入废液瓶，拧好瓶盖，放回废液箱

12.3100ml以下的无机溶剂废液回收程序：

Ø打开去离子水，调好水流，让水流平稳，不迸不溅，在水池里先续一部分水

Ø把腐蚀液轻轻倒入水池里

Ø用流动的水冲洗烧杯和量筒至少各一分钟

Ø收拾好使用过的烧杯和量筒

12.4100ml以上的无机溶剂废液回收程序：

Ø找到相应的空瓶，如硫酸双氧水溶液找硫酸空瓶

Ø在空瓶上用记号笔打叉

Ø如果是热的废液，等待溶剂冷却到室温

Ø在通风柜里装入废液，拧好瓶盖，放回废液箱

13、显微镜操作程序：

Ø显微镜容易出问题的部位：

调焦旋钮，承片台前后左右移动的旋钮，请轻轻转动，以免损坏

Ø打开显微镜电源开关（在左边调焦旋钮的后面）

Ø把显微镜的倍数调到最小（红色物镜）

Ø移动承片台时，先找到承片台右侧的把手后面的压簧，握住把手把承片台轻轻地拉出，请勿直接推拉承片台，以免损坏

Ø在承片台上放好无尘纸

Ø芯片或光刻版放在承片台中心

Ø捏住承片台右侧的把手后面的压簧，握住把手把承片台轻轻地送回原位

Ø调节显微镜的灯光亮度直到能够在芯片上看到光斑

Ø用承片台手柄或承片台下面的调节旋钮调整光斑在芯片上的位置

Ø如果调焦不熟练，可以先把光斑打在芯片的边缘，一半在芯片上，一半在承片台上

Ø轻轻转动调焦旋钮调整焦距

Ø如果需要换大倍数物镜观察，顺时针手动转动物镜架，把更大倍数的物镜转到最下面

Ø如果需要继续换更大倍数的物镜，调清楚一个物镜下的焦距再换下一个倍数

Ø观察结束后，把物镜的倍数按从大到小的顺序逆时针转动到最小倍数50倍的位置上

Ø捏住承片台右侧的把手后面的压簧，握住把手把承片台轻轻地拉出

Ø也可以利用旋转承片台下控制承片台前后左右移动的旋钮把承片台移出来

Ø取下芯片

Ø捏住承片台右侧的把手后面的压簧，握住把手把承片台轻轻地推回去

Ø每次使用后都须随手把灯光亮度调至最小

Ø除非已到下午下班时间，否则不用关电源开关

14、净化间允许带入的物品的处理方法

Ø带入净化间的物品如有包装，应先拆掉包装，不得连包装一起带入净化间

Ø用来装带入物品的袋子等在进入净化间之前先丢弃掉，不得带入净化间

Ø带入净化间的物品如化学药品，应事先擦拭干净，不得有灰尘和污垢

15、离开实验室顺序

Ø净化间人员由风淋室旁出口离开净化区，出口处门随手关闭，沿二次更衣室进入路线逆行退出（请查看进入净化间的路线），连身洁净服拉链，口罩，手套至更衣室后方可拉开和脱除