TFC膜系设计实例教程 优选.docx

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TFC膜系设计实例教程优选

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TFC膜系设计实例教程

TFC膜系实例设计步骤(首先以AR膜三层为例介绍)

1.首选镀膜材料:

AL2O3ZRO2MGF2

2.AR膜技术要求:

400------700R〈1

3.运行TFC软件(如图1),选择“取消”按钮,如要打开已设计好的膜系文件,可按“打开”来调用文件。

图1

4.在File菜单中选择NewCoating选项(如图2)。

图2

5.进入环境编辑界面(EditEnvironment)如图3

图3

6.在环境编辑界面中,第一项为监控波长(Referencewavelength),默认设制为550(图3)。

如果设计400-700波段的AR的话,就可以用这个设制。

如要设计红外波段的话,那就要改大点。

设好后,点击AnalysisParameters….项,进入下一个波段的设制界面(SetAnalysisParameters)。

(如图4)

图4

6.在SetAnalysisParameters界面中选WavelengthsandAngles设计波段范围,在第一个输入框里输入起始波段400,

第二输入框里输入结束波段700,第三个输入框里的为步长,可以不改,其它的不动(如图4)。

输入完成后,按

“OK”键确认,返回到如图3的界面,再按“OK”键,进入设计界面(如图5)

图5

 

7.在Modify菜单中选Layers—Front(如图6),然后进入添加膜层。

(如图7)

图6

图7

7.选择OptionsFrontLayers…..,添加层数,如图7,在弹出的输入框的第一个中输入3代表3层,如图8

图8

8.然后点“OK”,进入,出现如图9的画面。

图9

9.现在把Material(材料)项中的,改成你所要的材料AL2O3ZRO2MGF2,把Optimize?

(优化否)项中的NO,全部改为YES(如图10)

图10

10.选择Modify菜单中的Targets—continuous项来设定优化目标(如图11)

图11

11.选择Options中的AddContinuoustargets….(如图12),点击进入,如果是创建一个优化目标的话

就不用改,如果要创建几个优化目标的话,就在第一个输入框中输入几。

如图13

图12

图13

12.如图14,在Wavelength(begin)(起始波长)处输入400,在Wavelength(end)(结束波长)处输入700

其它不要动。

图14

13.完成后,选Run菜单的OptimizeDesign选项进行优化,如图15

图15

14.优化界面如图16

 

图16

15.优化完成后,点击Analyze查看优化后的曲线,如图17

图17

 

16.好了,这个AR的膜系已设计完成了,要查看每层的物理厚度,可以打开菜单Modify中选Layers—Front如图18

图18

17.763.4120.0990.83就是我们优化后的厚度了

具体优化操作请看,视频实例优化

 

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