RW02502 N流程量产管制计划14.docx

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RW02502N流程量产管制计划14

□量產前■量產

管制計劃編號:

T2001A-01

主要聯絡人電話:

鄭清龍03-4692666EXT138

日期（制訂）:

90.09.01

日期（改版）:

92.03.11

料號/最新變更版:

流程N/版本E

作業單位:

品規小組

客戶工程核准/日期:

（如有要求）N/A

料號名稱/說明:

N/A

供應者/廠商核准/日期:

客戶品保核准/日期:

（如有要求）N/A

供應者/廠商:

健鼎

供應商代號:

N/A

其它核准/日期:

N/A

其它單位核准/日期:

（如有要求）N/A

製程編號

製程名稱

生產設備治具/名稱

特性

特性等級

方法

處置計劃

產品/製程

量測

樣品

統計記錄

管制方式

NO

產品

製程

規格/公差

方式

數量

頻率

0

進料

原物料

尺寸

依各原物料之檢驗規範

分厘卡,游標卡尺,板厚測厚儀

20片

每批

進料檢驗報告（QF1001001-01）

退廠商/或廠商

來廠SORTING

外觀

依各原物料之檢驗規範

目視/

75x放大鏡

AQL

0.65

每批

進料檢驗報告（QF1001001-01）

退廠商/或廠商

來廠SORTING

物性

依各原物料之檢驗規範

檢驗儀器

1ea

每批

進料檢驗報告（QF1001001-01）

退廠商/或廠商

來廠SORTING

化學藥品

外觀

依化學藥品進料檢驗計劃之檢驗規範

目視

N/A

每批

進料檢驗報告（QF1001001-01）

退廠商

濃度

依化學藥品進料檢驗計劃之檢驗規範

化驗分析

N/A

每批

進料檢驗報告（QF1001001-01）

退廠商

比重

依化學藥品進料檢驗計劃之檢驗規範

比重計

N/A

每批

進料檢驗報告（QF1001001-01）

退廠商

022

內層乾膜

乾膜前處理

操作速度

1底片線寬>5mil

2.5±0.5m/min

2底片線寬≦5mil

2.0±0.5m/min

讀值

N/A

1次/班

內層乾膜前處理I製程管制點檢表

GF0901003-05

重新調整速度

水破實驗

水膜維持30sec以上

目視

1片

1次/4hr

內層前處理水破實驗紀錄表

GF0901003-12

調整刷磨壓力

無塵室

無塵室落塵量

10000以下

光散亂式粒子計數器讀值

N/A

1次/月

無塵室落塵量檢測報告

GF0901007-02

1.檢查無塵室集塵設備

2.清潔無塵室

三次元量測儀

底片漲縮值

依工單標示規格

讀值

每套

曝光前檢查

內層底片3D首件/自主檢查紀錄表

GF0901015-01

重新繪底片

曝光能量

1.DuPontD/FAPXF713,線距>4mil12to14Step

2.DuPontD/FAPXF713,線距≤4mil9to11Step

3.DuPontD/FTL10to12Step

4.DuPontD/FFX8308to9Step

5.Rambusproduct

14step

讀值

1PNL

1.1次/班

2.重新測曝時機

a.線距≤

4.5mil

b.更換乾膜種類

c.rambus產品

d.更改曝光能量

內層乾膜5Kw曝光製程條件點檢表

GF0901004-01

重新調整曝光能量

顯影線

操作速度

4.6±0.3m/min

讀值

N/A

1次/班

內層線I製程管制點檢表

GF0901005-01

重新調整速度

Na2CO3濃度

▼

1.0±0.2wt%

化驗分析

N/A

1次/班

SPCX-Rm

稀釋，添加或重新建浴

銅含量

▼

130±30g/l

化驗分析

N/A

2次/週

SPCX-Rm

由工程師重新重新調整

AQUA設定值

線寬

▼

1.依工單規格

2.阻抗線寬,依工單規格

1.150X

目鏡

2.MARC線寬量測儀

5pcs

1次/日

SPCXbar-R

檢查蝕刻製程條件

040

壓合

黑化線

黑化線：

鹼洗劑濃度402L

25±5%

化驗分析

N/A

1次/日

黑化分析報表

QF1006002-01

依分析值調整濃度

黑化線：

黑化槽501A濃度

▼

25±3%

化驗分析

N/A

1次/日

SPCX-Rm

依分析值調整濃度

黑化線：

黑化槽501B濃度

▼

7.5±1.0%

化驗分析

N/A

1次/日

SPCX-Rm

依分析值調整濃度

黑化線：

還原槽502C濃度

8±2%

化驗分析

N/A

1次/班

黑化分析報表

QF1006002-01

依分析值調整濃度

WEIGHTGAIN

▼

0.25+0.09/-0.05

mg/cm2

電子天平

N/A

1次/日

SPCX-Rm

檢查黑化槽浸泡時間和藥水濃度及溫度

EtchingAmount

▼

50±20u”

電子天平

N/A

1次/日

SPCX-Rm

檢查微蝕槽浸泡時間和藥水濃度及溫度

壓合

針點

尺寸需≦5mil，125mil圈內不得超過3點

目視;目鏡

5片

每鍋

壓合課拆板自主檢查每日紀錄表

檢查鋼板及處理條件

測厚

壓合後板厚

依工單指示

traveler

板厚測量儀

100%

每批

Automatedinspection

壓合課板厚日報表（HF0901014-02）

1.檢查壓合條件

2.切片檢查組合層是否正確或是多放/少放

3.檢查量測設備是否歸零（報廢）

051

鑽孔

鑽靶

鑽孔機

孔徑

一般料號3.125~3.15mm

開銅窗料號

2.475~2.5mm

pingauge

1PNL

首件：

1片/料號

自主：

1片/6H

鑽孔課X-Ray鑽靶首件/自主檢查紀錄表IF0901001-01

檢查鑽頭直徑及鑽軸偏移量

孔大/孔小

Spec+0/-0.025mm

pingauge

1PNL

更換料號及每趟

鑽孔課鑽孔首件/自主檢查記錄表

IF0901007-01

通知組長

多孔/少孔

不允許

Mylar

1PNL

更換料號及每趟

鑽孔課鑽孔首件/自主檢查記錄表

IF0901007-01

對位底片管制程序

鑽孔粗糙度

▼

孔壁粗糙度1400u"以下

顯微鏡

5片

每日

SPCXbar-R（單）

通知單位主管處理

釘頭

小於175％

顯微鏡

5片

每日

SPCXbar-R（單）

通知單位主管處理

060

一次銅

PTH

膨鬆劑濃度

▼

55±10%

化驗分析

Analysis

N/A

1次/12小時

SPCX-Rm

稀釋，添加或重新建浴

清潔劑ML-371濃度

▼

10+2/-3%

化驗分析

Analysiss

N/A

1次/12小時

SPCX-Rm

稀釋，添加或重新建浴

化銅槽Cu濃度

▼

2.0±0.3g/l

化驗分析

Analysis

N/A

1次/6小時

SPCX-Rm

稀釋，添加或重新建浴

活化強度

▼

70±10%

化驗分析

Analysis

N/A

1次/12小時

SPCX-Rm

稀釋，添加或重新建浴

WeightLoss

▼

0.3±0.2mg/cm2

電子天平

N/A

1次/班

SPCX-Rm

檢查濃度溫度

WeightGain

▼

20±10u”

電子天平

N/A

1次/班

SPCX-Rm

檢查濃度溫度

EtchingAmount

▼

30±15u”

電子天平

N/A

1次/班

SPCX-Rm

檢查濃度溫度

背光

4.5（含）以上

切片檢驗

2片

每掛

電鍍課去膠渣＆化銅背光檢查記錄表（JF0901002-03）

停機確認PTH線條件

一銅

鍍銅厚度

▼

0.45±0.15或依工單規定

切片檢驗

3pcs

2次/班

SPCXbar-R

調整電流或時間

071

外層

刷磨

前處理磨刷操作速度

3.00-3.50M/min

讀值

N/A

1次/班

製程管制點檢表（KF0901001-01）

重新設定速度

破水試驗

30秒內水膜不可破散

目視

visual

1片

首件BY料號:

自主BY批

首件/自主檢查日報表（KF0901001-02）

檢視刷磨機操作條件

曝光

自動曝光機：

曝光能量

TP-115

13±1step（25setp）

CS-20.XP-120

17±1step（25setp）

讀值

1PNL

1次/天

曝光能量檢查記錄表（KF0901003-01）

重新設定曝光能量

顯影

碳酸鈉濃度

Na2CO3

▼

0.825±0125wt%

化驗分析Analysis

N/A

1次/班

SPCX-RM

稀釋，添加或重新建浴

氯化銅試驗

銅面變色

目視檢驗

1片

1次/1hr

外層D/F氯化銅試驗檢查記錄表（KF0901004-04）

確認槽體之碳酸濃度

081

二次銅

二次銅

鍍銅粗糙

不允許

目視檢驗

N/A

一支飛靶/班

生產日報/首件檢查記錄表（LF0901001-04）

分析藥水,添加或更換藥水

殘銅

不允許

目視檢驗

3片

更換料號＆每

30min

電鍍課蝕刻首件/自主檢查記錄表（LF0901002-03）

檢查蝕刻溫度,速度,噴壓,及分析藥水濃度,比重（報廢）

線寬

▼

依工單

150X目鏡

5Pcs

1次/日

SPCXbar-R

通知組長或工程師

鍍銅厚度

▼

依客戶規定或

AVG+100u”

MIN:

+50u”

孔銅測量

3pcs

2次/班

SPCXbar-R

停機通知組長及工程師

調整電流或時間

102

防焊

前處理

前處理磨刷操作速度

2.5±0.1M/min

讀值

N/A

1次/班

製程管制點檢表（NF0901001-01）

重新設定速度

防焊印偏

不允許

目視檢驗

2片

2片

更換料號及每班

每Lot

防焊課印刷首件/自主檢查記錄表（NF0901001-04）防焊檢驗日報表（QF1002001-11）

檢視作業員是否操作不當（重工）

油墨不均

不允許

目視檢驗

2片

2片

更換料號及每班

每Lot

防焊課印刷首件/自主檢查記錄表（NF0901001-04）防焊檢驗日報表（QF1002001-11）

檢視是否刮刀角度,壓力,速度設定

曝光

曝光格數

TAIYO10-13step

Nanya8-10step

Ciba12-14step

讀值

2片

by料號

防焊課曝光首件/自主檢查記錄表（NF0901002-01）

重新設定曝光能量

顯影機

碳酸鉀濃度

▼

11±3g/L

化驗分析

N/A

2次/日

SPCX-Rm

稀釋，添加或重新建浴

碳酸鉀PH

▼

11.1±0.4

化驗分析

N/A

2次/日

SPCX-Rm

稀釋，添加或重新建浴

141

成型

成型機

尺寸

依成型圖

（DF050301-02）

游標卡尺（三次元）

1Pcs

首件:

更換料號及交班

自主:

每小時

成型課量產料號尺寸檢驗記錄表

WF0901001-02

檢查程式刀具清夾頭

V-CUT

V-CUT機

V-CUT尺寸

依成型圖

（DF050301-02）

游標卡尺（三次元）

1Pcs

首件BY料號;自主BYhalf

成型課V-CUT首件/自主檢查計錄表

（WF0901002-01）

（WF0901009-01）

重新調整機台設定

漏V-CUT

不允許

目視

100%

100%

成型v-cut重工作業記錄表

（WF0901002-04）

REWORKV-CUT

斜邊

斜邊機

斜邊尺寸

依成型圖標示

（DF050301-02）

10倍目鏡&3D

3片

2片

料號

HALF

成型課內斜邊機首件/自主檢查紀錄表

（WF0901003-01）

（WF0901004-01）

重新檢視機台參數設定

151

電測

泛用測試機

測試條件

開路電阻300Ω

讀值

N/A

1次/hr

測試人員首件及定時檢查表

（XF0901002-01）

重新調整開路電阻

泛用測試機

測試條件

絕緣阻抗

10MΩ

讀值

N/A

1次/hr

測試人員首件及定時檢查表

（XF0901002-01）

重新調整絕緣阻抗

泛用測試機

測試條件

測試電壓200V

讀值

N/A

1次/hr

測試人員首件及定時檢查表

（XF0901002-01）

重新調整測試電壓

手動測試機

測試條件

開路電阻50Ω

讀值

N/A

1次/hr

測試人員首件及定時檢查表

（XF0901002-01）

重新調整開路電阻

手動測試機

測試條件

絕緣阻抗

10MΩ

讀值

N/A

1次/hr

測試人員首件及定時檢查表

（XF0901002-01）

重新調整絕緣阻抗

手動測試機

測試條件

測試電壓200V

讀值

N/A

1次/hr

測試人員首件及定時檢查表

（XF0901002-01）

重新調整測試電壓

152

FQC

FQC

殘銅

（1）<15mil

（2）線路間殘銅需<=20%線距

3X

放大視

100％

每批

品檢課成品外觀檢驗日報表

重工，報廢

線路寬度

原設計+/-20%以內

50X

放大視

1pcs

每批

品檢課外觀檢驗首件checklist

重工，報廢

織紋顯露

1.顯露格子狀不允許

2.<=10%板面積

3X

放大視

100％

每批

品檢課成品外觀檢驗日報表

報廢

爆板,起泡

不允許

3X

放大視

100％

每批

品檢課成品外觀檢驗日報表

報廢

BGA沾漆

不允許

3X

放大視

100％

每批

品檢課成品外觀檢驗日報表

重工，報廢

防焊Peeling

不允許

3X

放大視

100％

每批

品檢課成品外觀檢驗日報表

重工，報廢

板邊（角）撞傷

不允許

3X

放大視

100％

每批

品檢課成品外觀檢驗日報表

重工，報廢

OQC

OQC

織紋顯露

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回FQC

孔

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回FQC

線路

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退，

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回FQC

防焊

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回FQC

金手指

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回FQC

鍍通孔

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回FQC

PAD沾漆

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回FQC

文字印刷

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回FQC

ENTEK

1.依廠規0.65%，

C＝0

2.依客戶規格驗退

3X

放大視

依抽樣計劃

每批

成品抽驗日報表

不良品退回加工

3D尺寸量測

依客戶drawing

3D

5pnl

Rev.

成品抽驗日報表

不良品退回成型

孔徑量測

依客戶drawing

Piggauge

5pnl

D/C

成品抽驗日報表

不良品退回鑽孔

板厚

依客戶drawing

板厚測量儀

5pnl

D/C

成品抽驗日報表

不良品退回壓合

板彎翹

1.SMD0.7%

2.非SMD1.0％

3.依客戶規格

包裝平台

5pnl

random

成品抽驗日報表

不良品退回包裝或成倉

出貨稽核

依廠規SOP

N/A

ByP/N

random

成品抽驗日報表

不良品退回包裝

FA出貨報告

FA出貨報告

出貨報告

依客戶出貨報告格式要求

N/A

N/A

每出貨批

產品出貨報告

化學銀

化銀線

厚度

4~25u”

X-ray

10片

3點/片

更換料號

N/A

補鍍

153

包裝

包裝

包裝

真空包裝20PCS一包.每PCS隔無硫紙

N/A

20PCS

每出貨批

N/A

重包裝

乾燥劑

每包須放置乾燥劑

N/A

每包

每包

N/A

重包裝