硅片.ppt

硅片.ppt

《硅片.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《硅片.ppt（58页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。

硅片切割制造部介绍硅片切割制造部介绍硅片切割制造部硅片切割制造部l工序：

破锭工序：

破锭-带锯带锯-粘接粘接-浆料浆料-线锯线锯-清洗清洗l目的：

把硅锭加工成硅片目的：

把硅锭加工成硅片一一.目的：

将硅锭切割成为目的：

将硅锭切割成为156*156mm156*156mm的长方硅块的长方硅块破锭机工序作业指导书破锭机工序作业指导书二二.使用的工具使用的工具电叉车、天车、手锯、刀片、扳手、钢板尺、电叉车、天车、手锯、刀片、扳手、钢板尺、游标卡尺游标卡尺三三.必备的劳保用品必备的劳保用品一次性医用手套、防滑工作鞋、防水套袖、工一次性医用手套、防滑工作鞋、防水套袖、工作帽作帽眼镜眼镜四四.使用的主要原材料使用的主要原材料浆料、浆料、钢线、钢线、滑轮外套滑轮外套、绝缘转子、绝缘转子五五.质量控制点质量控制点l浆料密度浆料密度l砂帘的完整性砂帘的完整性l硅锭定位硅锭定位l线槽复核线槽复核六六.工艺流程工艺流程硅锭粘接硅锭粘接机床检查机床检查编织线网编织线网硅锭定位硅锭定位复核线槽、工艺复核线槽、工艺预热预热复核线槽、浆料复核线槽、浆料自动运行自动运行取块清洗取块清洗尺寸抽检尺寸抽检电性能检验电性能检验1.硅锭粘接硅锭粘接准备材料：

准备材料：

硅锭硅锭聚氨脂聚氨脂ABAB两小桶两小桶35*35*5mm35*35*5mm的胶皮的胶皮99个个拖盘拖盘，防护布，防护布硅锭温度降至硅锭温度降至40时使用时使用1）.现场准备：

用电叉车将现场准备：

用电叉车将粘锭托盘放在粘接区，下粘锭托盘放在粘接区，下铺防护布，防止胶掉在地铺防护布，防止胶掉在地面上。

将面上。

将88块胶皮分别放块胶皮分别放到托盘上。

到托盘上。

2）.2）.硅锭定位：

夹具夹紧硅硅锭定位：

夹具夹紧硅锭，用天车（电叉车）升锭，用天车（电叉车）升起硅锭，放置于托盘的中起硅锭，放置于托盘的中心，保证切掉的四周边料心，保证切掉的四周边料均匀；均匀；3）.3）.胶的准备：

将提前称量好的胶的准备：

将提前称量好的5500g00gAA胶，胶，5500gB00gB胶倒入混合小桶内，快胶倒入混合小桶内，快速搅拌均匀（速搅拌均匀（1010秒钟内）秒钟内）4）.缓慢升起硅锭离托盘约缓慢升起硅锭离托盘约500mm将混好将混好的的AB胶迅速均匀的涂抹在托盘上，缓慢放胶迅速均匀的涂抹在托盘上，缓慢放下硅锭在调好的位置。

待胶固化下硅锭在调好的位置。

待胶固化10分钟后分钟后将多余的胶及其他杂物清理干净等待切割将多余的胶及其他杂物清理干净等待切割2.机床检查机床检查l切前检查切前检查l滑轮外套磨损情况，定时更滑轮外套磨损情况，定时更换。

换。

l剩余钢线量是否满足工艺要剩余钢线量是否满足工艺要求。

求。

l滑轮有无松动，滑轮盘与外滑轮有无松动，滑轮盘与外套匹配是否紧固。

套匹配是否紧固。

l绝缘转子是否有深沟槽。

绝缘转子是否有深沟槽。

l导轮固定螺丝有无松动导轮固定螺丝有无松动l浆料缸过滤网是否清洗干净浆料缸过滤网是否清洗干净3.编织线网编织线网l点击织线网模式，两人配合按照导轮滑轮方点击织线网模式，两人配合按照导轮滑轮方向，由出线口向入线口编织线网；向，由出线口向入线口编织线网；l将已经粘好的硅锭装将已经粘好的硅锭装入机床，调整位置使入机床，调整位置使四周边料切割厚度相四周边料切割厚度相等。

等。

l下降工作台，底部线下降工作台，底部线网差网差1mm1mm接触硅锭表接触硅锭表面最高点，点击零点面最高点，点击零点设置按钮设置按钮。

4.硅块定位硅块定位5.取块清洗取块清洗11）.取块操作取块操作l用剪刀剪断线网，并用剪刀剪断线网，并取走（不准转动导轮取走（不准转动导轮收走线）。

收走线）。

l上移工作台到最高位上移工作台到最高位置，然后用铲刀将沉置，然后用铲刀将沉积到硅块上表面及滑积到硅块上表面及滑轮支架上的轮支架上的SiCSiC及硅粉及硅粉清理到过滤网处。

清理到过滤网处。

浆料制备和更新浆料制备和更新l浆料密度范围浆料密度范围1.65-1.660kg/L。

l1）量取）量取1000L悬浮液，悬浮液，用隔膜用隔膜泵打入搅拌缸内，启动搅拌电泵打入搅拌缸内，启动搅拌电机。

机。

l2）取）取1125kg（45袋袋,25kg/袋）袋）碳化硅匀速加入浆料缸碳化硅匀速加入浆料缸，每袋，每袋约约20分钟分钟。

l3）加完并搅拌）加完并搅拌1小时后，停止小时后，停止搅拌电机，取样测量密度，检搅拌电机，取样测量密度，检查是否符合要求。

经过查是否符合要求。

经过1小时搅小时搅拌再次检测密度，直至调整合拌再次检测密度，直至调整合适。

再搅拌适。

再搅拌6小时可以使用。

小时可以使用。

浆料制备和更新浆料制备和更新l浆料更新浆料更新l连续生产时浆料每使用连续生产时浆料每使用44次（第次（第55次）更新次）更新3030升升，当机床显示密度低于，当机床显示密度低于1.630kg/L1.630kg/L时须增大更新时须增大更新量调整到量调整到1.650-1.650-1.660kg/L1.660kg/L。

如果存在偏。

如果存在偏差差，增加少量碳化硅，增加少量碳化硅（10kg10kg以内）或增加少以内）或增加少量悬浮液（量悬浮液（20L20L以内）。

以内）。

l每次切割后要冲洗滤网每次切割后要冲洗滤网并用气吹干。

并用气吹干。

1.物理检测物理检测电阻电阻率率一级：

一级：

0.7-2cmcm二级：

二级：

2-4cmcm少子少子寿命寿命一级：

一级：

2s二级：

二级：

11s-2s尺寸尺寸一级一级:

156mm0.5mm二级二级:

155.2mm-155.5mm156.5mm-156.8mm角度角度900.3硅硅块块内控标准和检验标准内控标准和检验标准除了尺寸要符合标准外，硅块表面要平整除了尺寸要符合标准外，硅块表面要平整没有锯痕。

没有锯痕。

156mm0.5mm250mm156mm0.5mm900.3156mm0.5mm156mm0.5mm利用红外扫描设备，探测不易发现的杂质、内部的杂质和隐性裂纹硅块放到检测台上，旋转台面可以扫描四个面。

根据不同材料颜色的变化（硅是银白色），判定是否为杂质：

局部小范围内颜色较深呈黑色的大多数为杂质，扫描时用记号笔圈出该区域。

扫描一圈后用酒精擦拭，着重检查。

分布较广，颜色较深且阴影呈连续状的，杂质的可能性较小。

详细参考杂质及阴影硅块判定方法2.红外检测用酒精擦拭硅块四周，用酒精擦拭硅块四周，检查杂质和裂纹。

硅检查杂质和裂纹。

硅块顶部一般为杂质聚块顶部一般为杂质聚集区，杂质呈黑色点集区，杂质呈黑色点儿状，多为局部团聚，儿状，多为局部团聚，酒精擦不掉；裂纹呈酒精擦不掉；裂纹呈长条状，多为自顶部长条状，多为自顶部到底部纵向延伸，分到底部纵向延伸，分布在硅块四周，中间布在硅块四周，中间偶尔出现，用酒精、偶尔出现，用酒精、水、洗涤灵均擦不掉。

水、洗涤灵均擦不掉。

3.周边杂质检查5.顶底杂质检查l用酒精擦拭硅块顶、底，检查杂质，用带锯将用酒精擦拭硅块顶、底，检查杂质，用带锯将杂质和裂纹去掉。

杂质和裂纹去掉。

带锯工序作业指导书一、目的：

倒角、去除硅块头尾缺陷一、目的：

倒角、去除硅块头尾缺陷1）.画线画线156x156规格从底部起量取223mm长度，用记号笔细线细线画线作为带锯切割线。

需要去底的情况有：

底部杂质、底部崩边，底部未切透，底部裂纹，底部部分尺寸小于155mm。

做好切割记录。

22）切割）切割l台钳开口至最大，硅台钳开口至最大，硅块切割线与带锯条对块切割线与带锯条对正，夹紧硅块，确保正，夹紧硅块，确保硅块与锯条相互垂直。

硅块与锯条相互垂直。

打开电机驱动电源、打开电机驱动电源、冷却水的开关，确保冷却水的开关，确保冷却水浇在砂带上，冷却水浇在砂带上，且三路水流量充分且三路水流量充分.l新锯条的切割速度为新锯条的切割速度为15-17mm/min15-17mm/min。

入刀边。

入刀边缘切割速度缘切割速度6-8mm/min6-8mm/min，入刀和出刀需减速，入刀和出刀需减速，点击屏幕上的点击屏幕上的“等速切割等速切割”，开始切割。

，开始切割。

当切割结束时，点击当切割结束时，点击“自动退回自动退回”，退回速，退回速度设置成度设置成300mm/min300mm/min。

退出后及时停止工作。

退出后及时停止工作台。

台。

工作台退到位后，松开台钳至最大位置。

工作台退到位后，松开台钳至最大位置。

尾部需要切割时，同样方法划线进行去底。

尾部需要切割时，同样方法划线进行去底。

硅块的去头尾工作完成，放到检查杂质地点。

硅块的去头尾工作完成，放到检查杂质地点。

3.带锯操作必备的劳保用品必备的劳保用品一次性医用手套一次性医用手套防滑工作鞋防滑工作鞋防水套袖防水套袖围裙围裙口罩口罩使用的主要的原材料使用的主要的原材料磨砂玻璃磨砂玻璃环氧树脂环氧树脂无水乙醇无水乙醇木纹胶带木纹胶带盘纸盘纸刀片刀片粘接工序作业指导书粘接工序作业指导书目的：

为线锯机床准备晶棒目的：

为线锯机床准备晶棒把手把手浆料挡浆料挡块块托盘托盘Ingotholder粘接板粘接板Gluingplate工艺流程工艺流程硅块分选托盘准备玻璃准备清洁玻璃、托盘AB胶准备粘接玻璃粘接硅块粘导向条固化1.分选硅块分选硅块1.1.分选原则：

从硅块放置台选出所分选原则：

从硅块放置台选出所要粘接的硅块。

一次粘接的块数要粘接的硅块。

一次粘接的块数是是88块（块（44或或22块块），并且尽量保），并且尽量保证一个硅锭的硅块切割完后，再证一个硅锭的硅块切割完后，再选用下一硅锭的硅块。

选用下一硅锭的硅块。

2.2.长度分选：

分成四组，每两个硅长度分选：

分成四组，每两个硅块一组，块一组，11、22组，组，33、44组定位位组定位位置的硅块长度要尽量相同（长度置的硅块长度要尽量相同（长度差不能大于差不能大于2mm2mm），并且硅块间），并且硅块间的缝隙大小也要相同的缝隙大小也要相同,从而减少从而减少由于不同组间的缝隙误差造成的由于不同组间的缝隙误差造成的薄厚片，提高出片率。

把手侧相薄厚片，提高出片率。

把手侧相对应硅块长度差不要超过对应硅块长度差不要超过2mm2mm。

33、尺寸和表面质量控制：

、尺寸和表面质量控制：

尺寸公差：

尺寸公差：

1561560.5mm0.5mm;倒角倒角1.51.50.5mm0.5mm,倒角角度倒角角度45451010度；度；尺寸二级范围为尺寸二级范围为155.2-155.5mm155.2-155.5mm，在此范围以内的在，在此范围以内的在粘接记录粘接记录上应注明尺寸小在硅块那个位置；尺寸大的退回带锯研磨；上应注明尺寸小在硅块那个位置；尺寸大的退回带锯研磨；表面质量：

四周表面存在锯痕时，需先把表面研磨平滑后才表面质量：

四周表面存在锯痕时，需先把表面研磨平滑后才能使用，锯痕块退给带锯人员研磨；能使用，锯痕块退给带锯人员研磨；大小面测量：

带锯切斜造成四个面长度不一致，偏斜允许公大小面测量：

带锯切斜造成四个面长度不一致，偏斜允许公差差1mm1mm，测量如果不合格的，退回带锯返修，合格的要把最长的，测量如果不合格的，退回带锯返修，合格的要把最长的面贴近线网（作为入刀面），粘接用小面；面贴近线网（作为入刀面），粘接用小面；崩边处理崩边处理:

在头尾部的崩边，大于在头尾部的崩边，大于3mm3mm的返回带锯处切掉，的返回带锯处切掉，中间崩边小于中间崩边小于2mm2mm，不需处理，大于，不需处理，大于2mm2mm视具体情况由班长确定。

视具体情况由班长确定。

44、对硅块进行编号：

、对硅块进行编号：

以以11号位置晶棒为例，号位置晶棒为例，托盘托盘“把手测把手测”1-11-1，托盘，托盘“机床侧机床侧”1-2.1-2.其它其它33个位个位置编号类推。

硅块如有崩置编号类推。

硅块如有崩边在边在线锯生产记录表线锯生产记录表如实记录。

定位硅块侧为如实记录。

定位硅块侧为22位置位置.55、清洁硅块：

、清洁硅块：

用酒精和用酒精和纸彻底清洁要粘接的那个纸彻底清洁要粘接的那个面，用纸和酒精擦拭的时面，用纸和酒精擦拭的时候