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项目废气监测结果与评价表

建设项目竣工环境保护

验收监测报告表

（2015）宁高环监（验）字第（024）号

项目名称：

传感器芯片设计服务平台技术改造项目

委托单位：

江苏英特神斯科技有限公司

南京高新环境监测站有限公司

2015年8月

承担单位：

南京高新环境监测站有限公司

站长：

杨秀怡

项目负责人：

万忠伟

方案编写人：

万忠伟

复核：

钱晨

审核：

刘岩

签发：

张有瑜签发人职务：

技术负责人

南京高新环境监测站有限公司

电话：

（025）

传真：

（025）

邮编：

210061

地址：

江苏省南京市高新区星火路10号

表一

建设项目名称

传感器芯片设计服务平台技术改造项目

建设单位名称

江苏英特神斯科技有限公司

建设单位地址

南京高新技术产业开发区丽新路19号

建设项目性质

新建改扩建技改√迁建

主要产品名称

设计生产能力

实际生产能力

于现有办公大楼内安装成套设备，建设研发实验室，从事MEMS软件研究开发和硬件设计制造

环评报告表

编制单位

江苏南大环保科技有限公司

环评时间

2015年1月

环评报告表

审批部门

南京高新技术产业开发区管委会

批复时间

2015年1月23日

开工日期

2014年1月

全面建成时间

2014年6月

投入试生产时间

2015年4月22日

现场勘查时间

2015年6月4日

投资总概算

4500万元

环保投资总概算

50万元

比例

1.1%

实际总投资

4500万元

实际环保投资

50万元

比例

1.1%

验收监测依据

1、《建设项目竣工环境保护验收管理办法》（原国家环保总局第13号令，2010年12月）

2、《关于建设项目环境保护设施竣工验收监测管理有关问题的通知》（原国家环保总局，环发[2000]38号）

3、《江苏省排污口设置及规范化整治管理办法》（原江苏省环境保护局，苏环控[1997]122号）

4、《江苏省排放污染物总量控制暂行规定》（江苏省政府[1993]第38号令）

5、《江苏英特神斯科技有限公司传感器芯片设计服务平台技术改造项目环境影响报告表》（江苏南大环保科技有限公司，2015年1月）

6、《关于江苏英特神斯科技有限公司传感器芯片设计服务平台技术改造项目环境影响报告表的批复》（南京高新技术产业开发区管委会，宁高管环表复[2015]5号，2015年1月23日，见附页）

7、建设项目试生产（运行）环境保护核准通知（南京高新技术产业开发区管委会，宁高管环试[2015]10号，2015年4月22日，见附页）

验收监测标准

标号、级别

《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准

《污水排入城镇下水道水质标准》（CJ343-2010）B等级标准

《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4三级标准

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类标准

表二

主要生产工艺及污染物产出流程：

一、工程内容及建设规模

本项目主要从事MEMS（MicroelectronicMechanicalSystem微电子机械系统）软件研究开发和硬件设计制造。

针对物联网应用对高端微纳器件与系统的批量化需求，研究硅基MEMS制造工艺相对偏差较大导致的器件成品率较低问题，突破制造工艺模拟、制造过程可测试性、考虑工艺偏差的微纳器件设计与优化等关键技术，开发出商用设计软件模块并在生产线应用。

江苏英特神斯科技有限公司投资4500万元于现有厂内新建传感器芯片设计服务平台技术改造项目。

技改项目建设内容主要包括MEMS系列软件开发及与之配套的MEMS传感器芯片研发。

新建的工艺验证实验室为软件设计工具中的工艺仿真软件模块提供实验数据，同时为客户提供传感器芯片设计样片服务（部分工艺外协），设计服务的工作成果转移到上海中芯国际、无锡华润上华等代工晶圆厂批量生产。

技改项目不新增用地，于现有办公大楼内安装成套设备，建设研发实验室。

该研

发实验室占地面积为200m2，建于办公楼一层。

项目不新增员工，全部从现有员工中调剂。

年工作250天，每天5.2小时。

二、主要污染工序

MEMS系列软件研发包括工艺级、建模、器件级、系统级四个部分。

其中工艺级的研发主要为芯片的实验、测试（在新建的实验室内完成），在芯片实验研发的基础上将实验数据编程为系统软件。

整个研发工艺流程详见下图1：

本项目对于MEMS压力传感器芯片研发，根据客户生产要求的不同，采用两条不同研发路线，详见下图2及图3，本次验收期间两条研发路线同时进行。

（1）研发工艺流程一

1酸洗\水洗

酸洗：

外购的硅片，需先经用酸清洗，除去沾污的硅片表面的金属与油污。

清洗的方法是：

将外购的硅片依次泡在酸液（磷酸、硫酸、盐酸）、双氧水中，用以去除硅片表面的杂质，以得到洁净的硅片表面。

磷酸、硫酸、双氧水、盐酸等清洗过程产生的废酸液作为危险固废，委托有资质单位处置。

同时，酸洗工段产生少量的酸性气体。

水洗：

酸洗后的硅片，再用纯水进行清洗,，去除硅片表面残留的酸液。

水洗工段产生少量的酸性废水。

2氧化

原料硅片经清洗后，放入氧化扩散炉，在高温条件下，与氧气发生硅氧化反应，硅片表面形成氧化硅保护层，其化学反应式为：

Si+O2→SiO2

3光刻

光刻是在芯片的表面覆上一层感光材料后，以平行光经过光罩，照射在片上，从而在芯片上印上几何图样。

首先需要用涂布机内在硅片上旋转涂上光刻胶，使光刻胶在其表面形成均匀薄层。

旋转涂胶过程，大量的光刻胶被离心力带出硅片，该工段将产生废光刻胶。

而后将硅片送入光刻机，在110℃的温度下烘干，光刻胶中的挥发性有机废气，经收集后进行处理；光刻胶中的高分子聚合物等作为涂层牢固地附着在基质表面。

光刻工段将产生少量的有机废气。

最后，以平行光经过光罩，照射在芯片上，在芯片上形成几何图样，而后在显影台中显影，感光的光刻胶溶解在显影剂中，使下面的氧化层暴露出来，以便于下一道工序；而没有感光的光刻胶则不会溶解，从而使下面的氧化层得到保护。

该工段产生废显影液以及碱性废气。

4溅射：

磁控溅射：

在真空室内使微量氩气电离，电离后的离子在电场的作用下向阴极靶（铝、铜、金等）加速运动并轰击靶，将阴极靶原子溅射出来，沉积在硅片上形成相应的金属薄膜。

5脱胶：

溅射工艺完成后，根据光刻胶的种类，将硅片浸泡至有机溶剂（丙酮、异丙醇等）等液体中，去除硅片表面的光刻胶、废金属。

脱胶过程产生有机气体、废有机溶剂。

（2）研发工艺流程二

1化学气相沉积

在一定的温度条件下，30Pa~133Pa反应条件下，依靠反应气体与芯片表面处的浓度差，以扩散方式，被芯片表面吸收，并沉积出薄膜（氮化硅、二氧化硅膜）。

在反应器中，反应气体（SiH4、N2O、NH3）和携带气体（Ar等）不断流过反应室而产生气态副产物，随后通入CF4清洗反应腔体，随后所有气体连同未反应的气体一起排出反应室。

SiH4+N2O→SiO2+NH3

SiH4+NH3→SiN4+H2

化学气相沉积过程产生混合气废气（主要含氟化物、氢气、氨、硅烷、氩气等）。

2蚀刻

腐蚀的目的是将光刻后暴露出的氧化层及不需要的材质自晶圆表面上去除，在全密闭设备的化学清洗槽内利用氢氧化钾、蚀刻缓冲洗剂、氨水等溶液浸泡芯片，将不需要的物质、曝光后的光刻胶等去除。

化学腐蚀过程产生碱性气体、废碱液。

3清洗

利用已制备好的纯水、氨水对芯片进行清洗。

清洗过程产生的碱性废水。

4键合：

腐蚀后的芯片在芯片Wirebond引线键合机内直接结合，通过范德华力、分子力或原子力使晶片键合成为一体。

表三

主要污染源、污染物处理和排放流程（附示意图、标出废水、废气监测点位）：

主要污染物的产生、处理和排放情况

生产设备

/排放源

主要污染物

排放规律

处理设施

去向

“环评”/初步设计要求

实际

建设

废水

酸碱废水

pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷

连续

中和沉定池

高新区污水处理厂

生活污水

pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷

连续

化粪池

废气

硫酸雾、氯化氢、H3PO4、CF4、SiH4、NH3、丙酮、异丙醇

间歇

碱液洗涤塔、Scrubber尾气处理、活性炭吸附，排气筒高度20米

大气

噪声

设备

噪声

连续

隔声、消声等措施

隔声、减震措施

自然衰减

固体废物

实验室废液、废料

间歇

安全处置

委托有资质

单位处置

委托有资质

单位处置

生活垃圾

间歇

环卫处理

环卫

表四

验收监测评价标准：

1、本项目硫酸雾、氯化氢的排放标准执行GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》中（表2）新污染源二级标准，氨执行GB14554-93《恶臭污染物排放标准》中氨的限值，H3PO4采用《荷兰排放导则》中的标准，丙酮根据《制定地方大气污染物的技术方法》计算而得，异丙醇参照前苏联标准。

废气排放标准

污染源

项目

排放浓度

mg/m3

排放速率

Kg/h

排放标准

实验废气

硫酸雾

2.6

《大气污染物综合排放标准》

（GB16297-1996）表2二级

氯化氢

100

0.43

氨

8.7

《恶臭污染物排放标准》

（GB14554-93）

H3PO4

5.0

0.05

《荷兰排放导则》

丙酮

9.6

《制定地方大气污染物的技术方法》

异丙醇

0.6

参照前苏联标准

备注：

排气筒高度20米。

验收监测内容：

监测点位、项目、频次

污染种类

测点位置

监测项

布点

个数

监测频次

废水

总排口

pH、化学需氧量（CODCr）、

悬浮物（SS）、氨氮、总磷

4次/天，共2天

废气

实验室废气

排气筒

废气参数、硫酸雾、氯化氢、磷酸、氨、丙酮、异丙醇

4次/天，共2天

备注：

所有项目的采样按相应标准及规范执行。

表五

监测分析方法与质量保证措施：

本次监测的质量保证严格按照南京高新区环境监测站有限公司编制的质量体系文件要求，实施全过程质量控制。

监测人员经过考核并持有江苏省环境监测上岗证合格证书；所有监测仪器经过计量部门检定/校准并在有效期内；现场监测仪器使用前后经过校准。

监测数据和报告实行三级审核。

监测分析方法

项目名称

分析方法及依据

检出限

便携式pH计法

《水和废水监测分析方法》（第四版）国家

环保总局（2002）3.1.6.2

化学需氧量

水质化学需氧量的测定重铬酸钾法GB/T11914-1989

10mg/L

悬浮物

水质悬浮物的测定重量法GB/T11901—1989

4mg/L

氨氮

水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法HJ535

2009

0.025mg/L

总磷

水质总磷的测定钼酸铵分光光度法GB/T11893-1989

0.01mg/L

硫酸雾

离子色谱法固定污染源废气硫酸雾的测定HJ/544-2009

0.12μg/ml

氯化氢

环境空气和废气氯化氢的测定离子色谱法（暂行）HJ549-2009

0.5mg/m3

磷酸

参考工作场所空气有毒物质测定无机含磷化合物GBZ/T160.30-2004

0.26mg/m3

氨

环境空气氨的测定次氯酸钠-水杨酸分光光度法HJ549-2009

0.002mg/m3

丙酮

气相色谱法《空气和废气监测分析方法》（第四版）国家环保总局

0.01mg/m3

异丙醇

参考工作场所空气有毒物质测定醇类化合物GBZ/T160.48-2007

0.3mg/m3

表六验收监测结果及评价

监测工况：

本项目不新增用地，于现有办公大楼内安装成套设备，建设研发实验室。

该研发实验室占地面积为200m2，建于办公楼一层。

项目不新增员工，全部从现有员工中调剂。

年工作250天，每天5.2小时。

验收监测期间，项目新增实验室正常工作，各类环保设施正常运行。

废气监测结果与评价

2015年7月15-16日废气监测结果表明，实验室废气排放口硫酸雾最大小时排放浓度和最大小时排放速率分别为0.52mg/m3和0.002kg/h；氯化氢、丙酮、异丙醇未检出；磷酸最大小时排放浓度和最大小时排放速率分别为0.46mg/m3和0.0019kg/h；氨最大小时排放浓度和最大小时排放速率分别为0.10mg/m3和0.0004kg/h。

各污染物排放浓度及排放速率均符合标准。

项目废气监测结果与评价表

日期

点位

测试项目

单位

均值

限值

评价

2015年7月

15日

实验室废气排放口

硫酸雾排放浓度

mg/m3

0.57

达标

硫酸雾排放速率

kg/h

0.0024

2.6

达标

氯化氢排放浓度

mg/m3

100

达标

氯化氢排放速率

kg/h

0.43

磷酸排放浓度

mg/m3

0.78

5.0

达标

磷酸排放速率

kg/h

0.0033

0.05

达标

氨排放浓度

mg/m3

0.14

氨排放速率

kg/h

0.0006

8.7

达标

丙酮排放浓度

mg/m3

达标

丙酮排放速率

kg/h

9.6

异丙醇

放浓度

mg/m3

0.6

达标

异丙醇排放速率

kg/

2015年7月

16日

硫酸雾排放浓度

mg/m3

0.46

达标

硫酸雾排放速率

kg/h

0.0015

2.6

达标

氯化氢排放浓度

mg/m3

100

达标

氯化氢排放速率

kg/h

0.43

磷酸排放浓度

mg/m3

0.14

5.0

达标

磷酸排放速率

kg/h

0.0004

0.05

达标

氨排放浓度

mg/m3

0.06

氨排放速率

kg/h

0.0002

8.7

达标

丙酮排放浓度

mg/m3

达标

丙酮排放速率

kg/h

9.6

异丙醇排放浓度

mg/m3

0.6

达标

异丙醇排放速率

kg/h

备注：

氯化氢、磷酸、丙酮、异丙醇为分包项目。

废水监测结果与评价

2015年7月15-16日废水监测结果表明，该公司废水总排口废水中pH值范围8.02～8.06，化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷最大日均排放浓度分别为64.0mg/L、22.5mg/L、26.4mg/L、1.98mg/L，氨氮、总磷最大日均排放浓度符合《污水排入城镇下水道水质标准》（CJ343-2010）表1中B等级标准，其它指标最大日均排放浓度符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准。

该项目雨排口监测期间无水，符合要求。

项目废水监测结果与评价表

点位名称

日期

测试名称

单位

均值

评价值

评价

总排口

2015年7月

15日

无量纲

8.02

6-9

达标

化学需氧量

mg/L

49.4

500

达标

悬浮物

mg/L

200

达标

氨氮

mg/L

20.7

达标

总磷

mg/L

1.51

达标

2015年7月

16日

无量纲

8.06

6-9

达标

化学需氧量

mg/L

78.7

500

达标

悬浮物

mg/L

200

达标

氨氮

mg/L

32.2

达标

总磷

mg/L

2.45

达标

噪声监测结果与评价

厂界环境噪声监测结果与评价

测点

名称

监测日期

时段

标准值

dB（A）

声级值dB（A）

评价

主要噪声源

厂东界

7月15日

昼

46.6

达标

昼

49.8

达标

7月16日

昼

51.6

达标

昼

51.4

达标

厂南界

7月15日

昼

42.3

达标

昼

42.7

达标

7月16日

昼

51.2

达标

昼

52.3

达标

厂西界

7月15日

昼

45.3

达标

昼

45.0

达标

7月16日

昼

51.3

达标

昼

49.4

达标

厂北界

7月15日

昼

55.0

达标

昼

55.2

达标

7月16日

昼

47.4

达标

昼

44.1

达标

验收监测期间，7月15日天气晴，昼间风速1.6m/s，7月16日天气晴，昼间风速1.5m/s。

生产正常，各噪声源运行正常。

该项目2015年7月15-16日噪声监测结果表明：

各测点昼间厂界环境噪声监测值范围44.1dB（A）-55.2dB（A），均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类标准。

总量核算

根据2015年7月15-16日监测结果，本项目年排放废气污染物总量为硫酸雾2.60kg/a、磷酸2.47kg/a、氨0.52kg/a，均达标。

项目废气总量核算表

类别

排口

位置

污染物

排放速率

（kg/h）

年工作时间（h）

核定结果

（kg/a）

（吨/年）

废气

废气排

放口

硫酸雾

0.002

1300

2.60

氯化氢

磷酸

0.0019

1300

2.47

氨

0.0004

1300

0.52

丙酮

异丙醇

备注：

年工作时间由企业提供。

根据2015年7月15-16日监测结果，本项目年排放废水污染物总量为化学需氧量677.34kg/a、悬浮物238.14kg/a、氨氮279.41kg/a、总磷20.96kg/a，均达标。

项目废水总量核算表

类别

排口

位置

污染物

排放浓度

（mg/L）

核定结果

（kg/a）

（吨/年）

废水

总排口

化学需氧量

64.0

677.34

悬浮物

22.5

238.14

氨氮

26.4

279.41

总磷

1.98

20.96

备注：

废水排放量为10584吨/年，数据由企业提供。

表七环保检查结果

“三同时”执行情况：

本项目属未批先建，高新区环保局已进行处罚，并补办了环境影响评价手续，工程相应的环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用，基本符合“三同时”的要求。

污染处理设施建设管理及运行情况：

本项目各污染处理设施均正常运行。

环保管理制度及人员责任分工：

该项目环保工作由公司硬件部和基建部2人负责。

排污口规范化、污染源在线监测仪的安装、测试情况检查：

废气排气筒、废水排口均设置明显标识。

试运行期扰民情况：

无。

其它（根据行业特点，开展清洁生产情况，生态保护措施等特殊内容）：

无。

存在的问题及整改要求：

无。

表八“环评批复”落实情况检查

“环评批复”落实情况检查

环境影响报告表批复要求

批复落实情况

排水系统实施雨污分流，雨污排口各设一个。

项目工艺废水（芯片及设备清洗废水、废气处理设施排水、纯水站再生废水）经自建污水预处理设施处理达接管标准后排入市政污水管网，入高新区污水处理厂集中处理。

本项目排水系统实施雨污分流，雨污排口各设一个。

项目工艺废水（芯片及设备清洗废水、废气处理设施排水、纯水站再生废水）经中和池处理、生活污水经化粪池处理后一起接入市政污水管网，符合环评批复要求。

废水监测结果达标。

落实大气污染防治措施。

酸性气体收集后经碱液洗涤塔处理后由排气筒排放；特殊气体（SiH4、CF4）、碱性气体收集送入Scrubber尾气处理设备处理后由排气筒排放；有机废气收集经活性炭吸附处理后由排气筒排放。

工艺废气排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB19297-1996）表2中二级标准及《报告表》推荐标准。

恶臭污染物排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14553-93）要求。

该项目酸性气体收集后经碱液洗涤塔处理；特殊气体（SiH4、CF4）、碱性气体收集送入Scrubber尾气处理设备处理；有机废气收集经活性炭吸附处理。

共同由1根20米高排气筒排放。

废气监测结果达标。

合理布局噪声源位置，选用低噪声设备，采取隔声降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准。

该项目噪声主要来自中央空调外机组及排风扇，均选用低噪声型设备，空调外机组置于6层楼顶，并采取建筑隔声、减震等措施。

噪声监测结果达标。

按“资源化、减量化、无害化”处置原则落实固废处理措施。

固体废物分类收集、安全贮存、处置。

废光刻胶、废显影液、废有机溶剂、废活性炭、废酸、废碱等危险废物委托有资质单位处理。

废包装材料由厂家回收。

危险废物暂存场所应符合《危险废物贮存污染控制》（GB18597-2001）要求，确保不对周围环境和地下水造成影响。

该项目固体废弃物主要为废光刻胶、废显影液、废有机溶剂、废活性炭、废酸、废碱等，所有危险废弃物均委托有资质单位安全处置。

废包装材料由厂家回收。

生活垃圾由环卫部门负责清运。

表九监测结论与建议

1、监测结论

本项目属未批先建，并已处罚。

本项目不新增用地，于现有办公大楼内安装成套设备，建设研发实验室。

该研发实验室占地面积为200m2，建于办公楼一层。

项目不新增员工，全部从现有员工中调剂。

年工作250天，每天5.2小时。

验收监测期间，项目新增实验室正常工作，各类环保设施正常运行。

（1）、废水：

该项目雨排口监测期间无水，符合要求。

（2）、废气：

各污染物排放浓度及排放速率均符合标准。

（3）、噪声

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