cleanroom management.docx
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cleanroommanagement
TO:
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1目的和适用范围
2职责
3定义
4参考文件
5洁净室运转及维护管理
6洁净室之工业安全
7培训
8生效日期
9记录
DATE
REV
PAGE
DESCRIPTION
May28,02
A0
ALL
Firstissue
2004-9-16
A1
All
SecondIssue
2005-4-28
A2
All
增加百级无尘室相关文件
2006-1-20
A3
ALL
更新千级无尘室湿度参数、无尘室照度参数；更新进出无尘室及穿衣程序
2006-7-07
A4
ALL
更新进出程序、更新着装指示、更新清洁频率、故障处理程序等
REVISION/AMENDMENTHISTORY
1．目的和适用范围
1.1为避免集成电路（LSI,LargeScaleIntegratedCircuit）及Sensor表面受空气中的浮游粒子，粉尘的污染,
保证LSI/Sensor在良好的洁净室内生产使用，以保证产品的品质，增加可靠性，降低不良率，节省
产品工时成本，降低维修费用，特建立《洁净室运转及维护管理》。
1.2提高员工对洁净室作用的认识，加强员工自觉维持高洁净度标准之观念，促进生产管理水平的提高。
1.2适合南太电子（深圳）有限公司之洁净室生产车间的管理及维护。
2．职责
2.1洁净室车间生产经理，主管，科文等管理人员。
其职责包括：
☆负责做好作业员及物料出入管理，维持良好的洁净度。
☆负责做好作业员清洁，卫生管理，减少污染源的产生。
☆负责做好洁净室及更衣室日常清洁管理工作，维持良好的清洁环境。
☆监督外来人员在洁净室行为、穿着等。
2.2洁净室车间PE工程师/技术员。
其职责包括：
☆负责做好设备出入管理及设备清洁保养。
2.3洁净室车间IPQC。
其职责包括：
☆负责做好环境测定与监督。
☆负责监督净化间内所有人员的行为均按照要求。
2.4行政部/维修部。
其职责包括：
☆维修部负责做好空调设备之清洁工作。
☆维修部负责做好空调设备之维护管理。
3．洁净室定义与等级
3.1洁净室定义：
洁净室[CleanRoom]，亦名无尘室或洁净室，是将一定空间范围内之空气中的微尘粒
子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、
噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之房间。
3.2100级洁净室/洁净棚：
表示每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm（10-6m）之灰尘粒子的和不超过100颗，大于或等于0.3μm（10-6m）之灰尘粒子的和不超过300颗，大于或等于1.0μm（10-6m）之灰尘粒子的和不超过24颗。
3.35000级洁净室：
表示每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm（10-6m）之灰尘粒子不超
过5000颗。
4.参考文件
☆颜登通编著的《洁净室设计与管理》
☆南太MSP-008-004文件《化学品的管理》
☆[英]怀特教授编著的《洁净室技术–设计、测试和运行的基本知识》
5.洁净室运转及维护管理
5.1洁净室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及洁净室内所用东西等加以探讨，并依计划（Planning）、
实施（Doing），追踪（Checking）、动作（Action）之PDCA循环步骤执行。
5.1.1作业人员之管理
由于在洁净室内污染来源80%是作业人员，因此若能使作业人员依洁净室管理办法确实执行管理，而所有
人员也均能配合实施，则污染的产生可减少大半。
现就进入洁净室的作业人员之管理项目说明如下：
1）作业人员进出管理：
作业人员进入洁净室数目以维持最小限度为原则，并须依洁净室进出标准流程进出洁净室，如下图所示。
出则相反方向进行，唯不须经风浴室之脱尘处理，而从风闸室出来。
图A-----5000级洁净室进出标准流程
图A
图B-----100级洁净室进出标准流程
图B
☆作业人员经过附有粘尘垫通道时，必须双脚踏上粘尘垫，不得跨过粘尘垫。
☆将工鞋放入鞋柜时应将二次工鞋放在上层。
☆进入AL-BONDING车间者可将二次工鞋放入其更衣室内鞋架上。
☆进入百级时不可穿过AL-BONDING区域。
☆更鞋室内不可穿鞋，进入车间须经由更鞋室进入车间专用门进入更衣室；不进入车间者应在更鞋
室外穿二次工鞋。
☆作业人员不要用手去推拉更衣室的自动感应门。
☆每班同时进入class5000的人数不能超过612人，进入Class100的不能超过80人。
每平方米内人
员数目以维持最小限度为原则，最多不超过3人。
☆人员的控制方法如下：
1、所有无尘工衣都应存放在相应的更衣室内，并由无尘室监控员统一管理、送洗；
2、各部门将各自使用的无尘工衣数量及即时变化情况呈报给生产部统一管理；
3、无尘室监控员应保证每次送洗、发放的千级用无尘衣服不超过612件，百级用无尘衣服不超过80件；
4、所有进入百级无尘室的工作人员需在无尘室监控员处领取号牌后方可进入，离开时将号牌交还无尘室监控员；
☆进入风浴室吹尘处理时，必须注意：
1不可斜靠风口上。
2使用时人员应垂直站立，举起双手并缓慢转动3圈以使全身上下都能接受冲洗的效果。
3风浴完成后须在报警声停止后停留约5秒钟待风机完全停止后方可出去风浴室。
4进入千级风浴室一次使用人员不可超过8名，出风闸室一次使用人员不可超过14名。
5进入百级风浴室一次使用人员不可超过2名，出风闸室一次使用人员不可超过4名。
6不可转动出风口的方向。
☹下列所述者不能进入洁净室：
1非作业人员或事先未得许可者。
2未照规定穿著防静电工衣者。
3刚做激烈运动流汗者。
4吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者。
☹如有下列健康状态或体质者原则上不能进入洁净室：
1因日晒、湿疹而皮肤有问题者。
2对化学织维或有机溶剂等化学药品有过敏性之体质者。
3比一般人皮肤表皮容易剥离、头皮或体毛容易掉落者。
4因哮喘常咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者
2）更衣流程管理：
A.进入百级无尘室更衣程序：
B.进入5000级无尘室更衣程序：
C.穿衣注意事项：
1戴上头罩（披肩帽）后，头发必须包在里边不得露出来。
2在穿连体服之前，宜先将手洗干净，且不能再接触身体有污染的部分，如头发和脸。
3取连体服并将其打开时应小心不要使之触及地面。
4现有几种方法穿上连体服又不使之触及地面，这些方法如下：
☆可以抓住连体服的4个角，即两个袖口和两个裤脚。
只穿进一条腿，再穿进另一条腿，这样服
装的裤腿不会触及地面。
☆抓住服装腰部里侧，同时抓住部分服装，先将一条腿，然后再将另一条腿穿进裤腿。
再将肩膀
套进服装的上半部。
☆左手抓住衣服的左袖口和左拉链，右手抓住衣服的右袖口和右拉链，将服装折叠至腰部。
先将
一条腿伸入裤腿中，再将另一条腿伸入另一裤腿中。
然后放开一侧衣服并套入一条胳膊，再放
开另一侧衣服套入另一条胳膊。
5服装拉链一直拉到顶头，并将披肩帽塞入衣领内，若服装在腰部和裤脚带有按扣，则将其扣紧。
6口罩要紧贴鼻梁并盖住鼻子和下巴。
7手套与无尘衣连接处不可有皮肤露出。
8AL-BOND工序由手指套取代丁晴手套。
D.走出洁净室的更衣程序：
㈠5000级无尘室内的工作人员
㈡ 100级无尘室内的工作人员
E.脱衣注意事项：
1脱无尘鞋时手套不得接触鞋面和鞋底。
2防静电手腕带可放于工位位置，若带出，需装入工衣袋。
3脱下的一次性纸口罩可扣于披肩帽上，废弃的应放入专用的垃圾箱内。
4脱衣时应避免袖子和裤腿触及地面。
5可以用搭扣将披肩帽附在连体服的外面，连体服的拉链要拉到颈部并扣好扣子，再挂在不锈钢衣架内。
6发罩夹在净化服衣架上，并放在净化服里面。
3）作业人员个人操行管理：
☆作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁：
☆作业人员须经常保持干净之手，除了常洗手、剪指甲外，手并应保养，以预防皮肤之剥离，
男性不得留长须，女性不化妆，不涂口红。
☆作业人员须整齐穿戴防静电工衣，除露出眼睛或脸表面部位外，其它部位必须包覆：
1头发不得外露（长发需用发夹，发网夹起）。
② 口罩必须盖住鼻孔，避免呼出气体直接进入空气。
③颈部粘贴部分必须扣好，不留空隙，不得露出内部衣物。
④禁止在洁净室内卷起衣袖，裤腿。
⑤禁止在洁净室内脱掉防静电工鞋。
☆作业员应尽量减少工作交谈，谈话时至少距离一块砖的距离；拿产品时不可讲话；禁止与作业无
关的私人谈话，更不得大声喧哗。
☆人员步行及作业要静静地进行，禁止在洁净室内跑动及作大幅度动作，以控制发尘量。
☆门不得敞开，关门、开门动作要慢。
4）作业人员作业管理：
☆无尘室作业人员应受过洁净室行为规范的培训。
☆作业人员作业时要按规定戴好静电带，静电带每日检查一次，由拉长填写“静电带检查记录表”。
检查不合格时应交修理检修，不能修时，应及时更换。
☆作业人员进入车间作业时要按作业指示要求戴好手套，在五千级无尘室内使用的丁睛洁净手套一个星期更换一次，在百级无尘室内使用的丁睛洁净手套一天更换一次，平时如有污迹应由作业员自已用清洁水擦洗干净。
☆不要让任何东西在产品的上方或者横过产品。
☆作业时避免倾身在产品上方，否则从其身上散落的粒子、纤维或者带有微生物的粒子就会掉落在
产品上。
☆人员在单向流中工作时，必须保证未处在产品和空气过滤器之间。
☆为防止戴有手套的手将污染传到产品上，建议采用“无接触”方式抓起产品。
☆人员不应靠身体来搬运材料。
☆在咳嗽或打喷嚏时，必须将头从产品移开。
打喷嚏后都要更换口罩。
☆拿放工具、工装、笔记本等物件时要小心、避免有产生脏污的动作。
☆掉在地面的部件、工具、笔、纸不要使用。
操作员拾起它们后，应尽快更换手套或用DI水清洗
戴手套的手。
掉在地上的部件要再次清洗后再使用。
☆作业人员要时常注意保持工具、工装、作业区域的干净。
☆绝对不能触碰净化间天花板的过滤器，（搬运设备时特别要注意）。
发现过滤器破损，要立即与
维修组联系。
☆作业人员不得触碰调整气流用的任何气闸；若发现气管有漏气现象应立即通知PE进行处理。
☆绝对禁止触摸地板、洁净室表面及室内设备的表面，如作业员触摸地板，必须立即更换手套或
用DI水清洗戴在手上的手套。
☆如手套破损，立即停止工作并更换手套。
☆不要放工具、设备说明书、胶纸等在产品上方。
（离子发生器悬挂在产品的上方）
☆不要用戴净化手套的手摸口罩靠近嘴、鼻子部位。
☆在日常使用的办公用品中，燕尾夹、打孔机、涂改液在净化间是严禁使用的。
☆严禁在净化间剪、撕净化纸，以免产生毛丝和脏污。
☆在净化间使用的净化纸都必须是新的净化纸，尽量不使用已用过的背面净化纸。
如果新的净化
纸的两面都要使用，请一面接着一面马上用完。
使用过的净化纸请及时拿出净化间或放到柜子
里，不要放在产品附近。
（最好每天清理一次）
☆维修和工程人员的工具箱不能拿到生产现场，要放在规定的地方且最好放到地面上。
☆净化间长期使用的离产品很近的表格不能使用复印的，只能使用指定工厂铅印的。
☆不可以斜躺或靠着桌子，椅子，墙和机器。
☆在生产区域禁止翘腳或双脚交叉。
☆不可两手交握。
☆原则上净化间禁止坐或站到工作台上。
但如果因特殊情况（如维修）需站在工作台上，必须穿着
净化鞋站在工作台上，不能脱掉净化鞋。
从工作台下来以后必须用净化布沾清洁水将工作台和其
他相关设备（比如椅子、凳子等）上的脏污擦拭干净方可。
☆作业员要按作业指示要求进行作业，如有问题及时通知管理人员。
5）维修人员和服务人员作业管理：
☆维修人员和服务人员只有得到许可后才可进入洁净室。
☆维修人员和服务人员应受过洁净室技术的培训。
☆维修人员和服务人员必须穿着与洁净室工作人员一样的或相同效率的洁净服。
当他们进出洁净室
时，也使用与洁净室工作人员相同的方式更衣。
☆维修人员和服务人员要先在非无尘区域脱下其原来脏的工作服，换上干净的工作服且要洗手。
☆洁净室维修用的一般工具要保持洁净。
要把这些工具保管好，仅供洁净室内使用。
☆若维修人员和服务人员或者承包商将其工具带入洁净室，这些工具必须经过清洁。
只能将那些洁
净室所需要的工具和仪器挑选出来，进行去污处理，并放入洁净室兼容的袋子或容器中。
☆一些产生粒子的作业，象钻孔、修理吊顶和地面，应与洁净室的其余部分隔离开进行。
可以采用
局部排风或真空吸尘器，清除所产生的粒子。
至少两人配合作业，一人操作另一人用真空吸尘器
吸走粒子。
☆维修人员和服务人员在工作完成之后必须清理现场，并通知具有适当专业知识的人员将该区域
按“洁净室清洁方式”进行清洁，且只能使用那些经批准可用于洁净室的清洁剂、清洁材料和清
洁设备。
5.1.2原物料、设备、治具进出管理
除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原物料及设备之进出也必须经过洁净程序，方不致于影响
洁净室之洁净度。
其进出洁净室之流程如下图所示。
☆
设备进出流程（设备暂存区暂定电梯口旁边，洁净室暂存区设在百级无尘室门口）：
☆
CameraModuleAssy物料进出流程：
☆
治具进出流程
1）工作人员于其室内清洁设备或原物料时必须穿着洁净衣服，所使用之擦拭纸为无尘纸或无尘布，清洁
剂按要求使用纯水，清洁水，酒精或丙酮。
2）搬迁设备时为避免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的钢板，作为辅助。
3）物品在经过风浴室时,严禁将风浴室门对开。
4）物品及工作台摆放不可堵住回风口，以免影响气流流动。
5）各工序生产中周转使用的容器，必须设置清洁点，清洁后的容器方可进入无尘室投入使用。
6）清洁度检查请使用《清洁点检记录表》。
7）ESD性能测试请参照《MSP-028-003ESD车间运转及维护管理》。
5.1.3洁净室内用品管理
洁净室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张、文具、
桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空吸尘器等。
1）洁净衣、鞋、帽子、ESD手套等须定期做清洗。
5000级无尘室的衣服1星期洗1次；100级无尘室的衣服1星期洗2次，外发给专业清洗公司清洗。
无尘室内作业人员的口罩、发罩应一天一换。
2）在洁净室内使用的纸张应为无尘纸/无尘笔记本（作业指示可以不用无尘纸，但必须得用ESD文件胶套
套好），书写笔适宜使用无尘笔，存放文件的快劳应使用ESD文件快劳。
3）桌、椅一般以不锈钢材质，并须表面加工处理为之，若不得不使用木制品或镀锌品，其表面须施环
氧树脂（Epoxy）加工以防止表面发尘。
4）搬运车则以构造简单为原则，并忌使用折叠式，材质采用不锈钢为宜，车轮为耐磨性高之橡胶轮胎，
车轮轴承采用双密封式滚珠轴承。
推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。
5）使用影印资料，则须将文件放在透明之塑胶套内或加覆背，同时不可于室内撕破或将纸柔成一团，
避免造成环境之污染。
6）普通黑板，粉笔及白板不能在洁净室内使用。
7）洁净室内不得放置清洁用具，垃圾桶宜使用塑胶制品或不锈钢，且置于维修区中的固定位置，桶尽
可能覆盖，以利管制，并定期清理。
8）真空吸尘器因属洁净室内专用，故不可移至洁净室外使用，若不用时应置放较低等级的洁净室中，
且每次使用后应清扫吸管、收尘箱等吸气系统。
9）存放零部件/产品时的注意点
1部件/产品的上层不要放置工具、工装、纸类。
2工具、工装、纸类要收集保管在专用的架子上，不要与放置部件/产品的地方共用。
3在离地面500mm高以下的空间内不要放置清洗过的产品/部件。
4在5000级净化间，架子、工作台、柜子和设备离墙5cm以上，100级离墙至少10cm以上，对100级净
化间离风淋出口2米的区域内不得放任何部件和产品，如是5000级净化间在离风淋室1米的区域内
不得放任何部件和产品。
5尽量减少在制品在净化间的存放时间，如果存放时间超过24小时，这些在制品必须重新进行脏污检
查，方能出货。
☹以下之物品不能带进洁净室：
1没有经过清洁过程之器材、零件备品、测定器等各种物品。
2用木头、橡胶、纸张、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破损物品。
3用低碳钢或其他会生锈、会磨损、会氧化的材料制成的物品。
4用机器加工或处理时会发生问题（例如冒烟或破损）的物品。
5非洁净室专用纸（如果一定要使用普通纸，应将其放入ESD胶袋中或采用双面热塑）。
6报纸、杂志、书籍、纸手巾，纸箱及各种包装箱。
7铅笔、橡皮擦、墨水、修改液等。
8打火机、香烟、化妆品、装饰品、手表、首饰、食品、酒、糖果、口香糖、罐类或瓶装饮料、收音机、CD机、随身听、呼机、手袋等个人物品。
9不适合于在洁净室中使用的一次性物品，如棉签、胶带、标签等。
10在洁净室工作时，不能取出任何私人物品（如手机、钱包等）。
以下之物品可以进入洁净室：
1评估可在无尘室使用并清洁合格的设备、拉线、工装、治具、灯箱、测试工具等生产用品。
2无尘纸打印的文件。
3不锈钢桌椅和小推车、防静电椅子。
4不发尘的办公用品，如塑料文件架、计算器、电话机等。
5生产用物料。
6经评估可在无尘室使用的手套、无尘衣、口罩、发罩、无尘布等防尘物品。
7经评估可在无尘室使用的专用清洁用具，如无尘拖把、无尘吸尘器等。
8其它经过评估、认证可在无尘室使用的物品。
5.1.4化学用品之管理
1洁净室内化学用品如酒精，丙酮，黑胶等领用，储存应按照MSP008-004的要求。
2洁净室内易挥发性化学用品如酒精，丙酮等使用时，应置放于限量瓶中，其中丙酮使用不得超过5天。
5.2洁净室各系统维护保养管理
洁净室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包含在内，本节将对该二系统之运转维护及保养，
清洁做一概略性说明。
5.2.1洁净室之清洁管理：
1清洁工作可以分为“关键”区、“普通”区、“外”区范畴。
其中“关键”区即生产区，在那里污
染有机会直接接触产品。
对这些关键区的清洁要达到最高的水准。
而位于洁净室内的“普通”区
中，污染物无法直接接触产品，但却可以转移到“关键”区，这是指墙面、地面等。
对普通区的
清洁要求的严格性要低些。
所谓的“外区”是指气闸室、更衣区及其他辅助区。
对这里的清洁方
法要求严格性较低，但由于这里的所进行的活动更多，所以对其清洁的频度要更高。
2清洁方法：
☆对“外区”与“普通区”地面的例行清洁
☆对“关键区”的清洁
3清洁要求：
●用过的净化布不要再使用
●净化布沿中心线折叠两次使用，每个面的擦拭长度要低于200cm。
●当8个面都使用完后或净化布特别脏时请报废净化布.尽量一次将一张净化布使用完，不要
分成几次使用。
用清洁水和DI水浸湿净化布，但不要过湿.
●棉签只能往一个方向擦洗一次，然后扔掉。
●擦洗时有系统的从上往下和从后往前清洗，防止颗粒落入已清洗区域。
●擦洗或拖地时只能往一个方向擦；每次擦时要将上一次擦过的地方再擦10%~25%以使脏污被净
化布卷起。
●擦洗离子发生器时先擦上面、接着擦周边、再擦底面，不要碰到里面的电扇。
●擦工作台面时请朝着自己的方向擦。
●使用吸尘器时，不要让吸头在被清洗工具表面或尖锐表面摩擦，同时不要让吸头碰到产品。
●不要用溶液清洗显微镜镜头。
因为这样会损坏镜头的防护层。
●在对设备进行定期擦拭时，要对工作台上的产品和工装用盒盖盖住以免污染。
（定期大扫除时，
按大扫除的要求屏蔽）
☆拖地方法描述如下：
①拖把尽量从干净的地方向脏的地方拖。
②在拖地时只能向一个方向拖，不能来回拖，以免脏污来回污染。
（如下所示）。
同时拖地时
尽量不要让拖把头停下来，因为这样会产生脏污堆积，同时让直线拖的距离尽量长。
在比较宽敞的地方按下图方法拖地：
在比较狭窄的地方时按如下方向拖地：
但当一个地方特别脏时（比如地上有胶时）可用拖把来回将它拖干净，但拖完后要及时更
换拖把。
③在拖地时每一次必须与上一次拖过的地方重叠一部分（10%~25%）。
④每个拖把的清洁面积为120平方米。
⑤所有拖把的清洁都必须在净化间外即更衣室进行，不能在净化间内清洁。
⑥拖把不能倒拿在手上，防止拖把上的脏水倒流到手上、机器及其它产品上。
⑦干净和脏的拖把拿进出净化间时都要用桶盛放。
☆对百级无尘室的墙壁的清洁
a.用粘尘滚轮稍用力顺次在墙上和天花上滚过。
b.每次滚过的区域必须与上一次滚过的地方重叠一部分（10%~25%）。
c.当滚轮表面有明显可见物时应撕去此层。
☆清洁频率：
清洗项目
次数
方法
硬地板（5000级净化间）
1次/天
用洁净吸尘器+湿的净化间拖把
更衣室地面
1次/天
用洁净吸尘器+湿的净化间拖把
100级无尘室高架地板
1次/班
用洁净吸尘器+无尘布+湿的净化间拖把
100级无尘室高架地板下地面
1次/6个月
用洁净吸尘器+湿的净化间拖把
墙面
1次/周
粘尘滚轮
工作台面
2次/班
带清洁水的无尘布
洗手器
1次/天
沾DI水的无尘布
风淋室
1次/天
与地面的清洗相同
烘手机
1次/天
沾DI水的无尘布
风淋室门和门把手
1次/天
沾DI水的无尘布
回风口
1次/天
沾DI水的无尘布
工装、传送带
1次/天
用沾有清洁水的无尘布
设备、储物柜
1次/天
用沾有清洁水的无尘布
小推车/货架
1次/2周
用沾有清洁水的无尘布
离子发生器
1次/班
带清洁水的无尘布、棉签
净化帘
1次/周
用沾有DI水的无尘布或净化间拖把
工具、托盘
1次/天
超声波清洗机
铝盒
1次/周
超声波清洗机
☆大规模清扫：
每月按如下指示清洗净化间，大规模清洗时生产应停止。
清洗方法：
清洗从高处到低处。
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